用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备，所述SIC桨包括桨叶和桨柄，桨叶的一端与桨柄连接；所述桨叶包括桨叶腹板和两块桨叶翼板，桨叶翼板的一侧或两侧高于桨叶腹板。传统SIC桨的桨叶在使用过程中易断裂，本实用新型专利技术SIC桨的桨叶设置了桨叶翼板，可以减少桨叶的弯曲，有效防止桨叶断裂。本实用新型专利技术应用于镀膜设备，一方面可以降低桨叶的弯曲度，防止SIC桨断裂，降低成本，另一方面本实用新型专利技术的SIC桨稳定性好，桨柄固定性好，不易晃动，减少载具脱落的风险，使均匀镀膜，提高产能。产能。产能。

【技术实现步骤摘要】
用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备


[0001]本技术涉及SIC桨领域，尤其是涉及一种用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着光伏产业的不断发展，降本节能的要求越来越迫切，已经关乎到企业是否能继续生存。因此，提升产能能够给企业较大降低生产制造成本，然而随着产能的进一步提升，同一炉管生产的硅片数量越来越多，SIC桨结构也设计的越来越长， SIC桨承载的重量也越来越大，但随着长度的增加和重量的加大，导致SIC桨更容易断裂和脱落，因此也进一步加大了企业的成本损失。
[0003]相关技术中，SIC承重方式主要是单支桨承重，桨柄部分为方型，桨叶部分为单层或双层，而桨大多断裂在桨叶部分，因此，如何在增加桨长的基础上还能提高桨的承重能力是亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种用于扩散设备的SIC桨，能够减少桨叶的弯曲、增加SIC桨的承重能力，防止SIC桨断裂。
[0005]本技术还提出了一种镀膜设备，包括所述的SIC桨。
[0006]根据本技术第一方面实施例的一种用于扩散设备的SIC桨，包括桨叶和桨柄，所述桨叶的一端与桨柄连接，包括桨叶腹板和两块桨叶翼板，两所述桨叶翼板分别设置于所述桨叶腹板的一侧，所述桨叶翼板远离所述桨叶翼板与所述桨叶腹板的连接处的一侧或两侧高于所述桨叶腹板。
[0007]根据本技术实施例的一种用于扩散设备的SIC桨，至少具有如下有益效果：本技术的SIC桨的桨叶包括腹板和两块翼板，由于SIC桨的桨叶在使用过程中易断裂，设置翼板可以减少腹板的弯曲，使得腹板不易断裂，进而有效防止桨叶断裂。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述桨叶的横截面为工字形。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述桨叶和所述桨柄一体制成,所述桨柄包括桨柄腹板和两块桨柄翼板，两所述桨柄翼板分别设置于所述桨柄腹板的一侧，所述桨柄翼板远离所述桨柄翼板与所述桨柄腹板的连接处的一侧或两侧高于所述桨柄腹板。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述桨柄的横截面为工字形。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述桨柄横截面为中空多边形，所述中空多边形包括正方形。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述桨叶腹板上设有若干个通孔，所述通孔的轴线平行于桨叶翼板。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述通孔为腰形孔。
[0014]根据本技术第二方面实施例的一种镀膜设备，包括所述SIC桨。
[0015]根据本技术实施例的一种镀膜设备，至少具有如下有益效果：采用含有本技术SIC桨的镀膜设备，一方面可以防止SIC桨断裂，降低成本，另一方面可以降低桨叶的弯曲度，减少硅片载具脱落的风险，均匀镀膜，提高产能。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述镀膜设备还包括硅片载具、推舟组件和若干SIC桨组，所述SIC桨组包括两相对设置的所述SIC桨，所述硅片载具用于托设在所述SIC桨组上，所述SIC桨组的一端与所述推舟组件相连，在所述推舟组件的带动下运动。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1为本技术实施例提出的一种用于扩散设备的SIC桨结构主视图；
[0020]图2是图1中SIC桨桨叶的A
‑
A横截面图；
[0021]图3是图1中SIC桨桨柄的B
‑
B横截面图；
[0022]图4是本技术实施例提出的一种用于扩散设备的SIC桨结构主视图；
[0023]图5是图4中SIC桨桨叶的C
‑
C横截面图；
[0024]图6是图4中SIC桨桨柄的D
‑
D横截面图；
[0025]图7是图4中SIC桨的俯视图；
[0026]图8是本技术实施例提出的一种用于扩散设备的SIC桨结构主视图；
[0027]图9是图8中SIC桨桨叶的E
‑
E横截面图；
[0028]图10是图8中SIC桨桨柄的F
‑
F横截面图；
[0029]图11是本技术实施例提出的一种用于扩散设备的SIC桨结构主视图；
[0030]图12是图11中SIC桨桨叶的G
‑
G横截面图；
[0031]图13是图11中SIC桨桨柄的H
‑
H横截面图；
[0032]图14是本技术实施例提出的一种镀膜设备的载舟装置结构图。
[0033]附图标记：SIC桨1、桨叶11、桨叶翼板111、桨叶腹板112、通孔113、长条腰形通孔114、桨柄12、桨柄翼板121、桨柄腹板122、硅片载具2、推舟组件3、第一高出部分a、第二高出部分b、第三高出部分c、第四高出部分d、桨叶腹板宽度e、桨叶翼板宽度f、桨叶腹板厚度g、第五高出部分a
’
、第六高出部分b
’
、第七高出部分c
’
、第八高出部分d
’
、桨柄腹板宽度e
’
、桨柄翼板宽度f
’
、桨柄腹板厚度g
’
。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个。
[0035]另外，本技术各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领
域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0036]参照图1至图3，本技术的一种用于扩散设备的SIC桨1，包括桨叶11 和桨柄12，桨叶11的一端与桨柄12连接，桨叶11包括桨叶腹板112和两块桨叶翼板111，两桨叶翼板111分别设置于桨叶腹板112的一侧，桨叶翼板111远离桨叶翼板111与桨叶腹板112的连接处的一侧或两侧高于桨叶腹板112，可以有效避免SIC桨1承重时导致的横向断裂问题，解决了SIC桨1易断问题。
[0037]具体的，桨叶11横截面为“凵”字形时，其中一块桨叶翼板111远离桨叶翼板111与桨叶腹板112的连接处的一侧高于桨叶腹板112，另一块相对设置的桨叶翼板111远离桨叶翼板111与桨叶腹板112的连接处的一侧也高于桨叶腹板112，且两块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散设备的SIC桨，其特征在于，包括：桨叶(11)和桨柄(12)，所述桨叶(11)的一端与所述桨柄(12)连接，所述桨叶(11)包括桨叶腹板(112)和两块桨叶翼板(111)，两所述桨叶翼板(111)分别设置于所述桨叶腹板(112)的一侧，所述桨叶翼板(111)远离所述桨叶翼板(111)与所述桨叶腹板(112)的连接处的一侧或两侧高于所述桨叶腹板(112)。2.根据权利要求1所述的SIC桨，其特征在于：所述桨叶(11)的横截面为工字形。3.根据权利要求1所述的SIC桨，其特征在于：所述桨柄(12)包括桨柄腹板(122)和两块桨柄翼板(121)，两所述桨柄翼板(121)分别设置于所述桨柄腹板(122)的一侧，所述桨柄翼板(121)远离所述桨柄翼板(121)与所述桨柄腹板(122)的连接处的一侧或两侧高于所述桨柄腹板(122)。4.根据权利要求3所述的SIC桨，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，张数俊，罗伟斌，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：