微调装置调整精度控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了微调装置调整精度控制方法，至少包括如下步骤：S1，将晶圆置于载物台上；S2，微调装置移动至与载物台共轴的位置；S3，微调装置将晶圆调整至与载物台共轴的位置；S4，通过视觉检测确定晶圆与载物台的位置关系，在确定晶圆与载物台的位置关系不满足要求时，确定晶圆的轴线与载物台的轴线之间的第一距离及晶圆的轴线相对于载物台的轴线的偏移方向；S5，确定微调装置进行后续晶圆调整时所要移动到的调整位置，调整位置是微调装置的轴线由与载物台共轴的位置向纠偏方向移动所述第一距离后所处的位置，纠偏方向与偏移方向相反。本方案能够在后续进行晶圆调整时保证晶圆的位置精度，有利于保证后续加工的稳定实现。有利于保证后续加工的稳定实现。有利于保证后续加工的稳定实现。

【技术实现步骤摘要】
微调装置调整精度控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体加工领域，尤其是用于晶圆位置调整的微调装置调整精度控制方法。

技术介绍

[0002]在晶圆环切、去环过程中，需要使晶圆与载物台保持共轴状态，才能保证后续加工的稳定实现。
[0003]因此，在进行环切或去环动作之前，需要通过微调装置对载物台上的晶圆进行位置调整，以使它们达到共轴状态。但是在微调装置调整后，还是会存在晶圆与载物台之间存在位置偏差的情况，这就给后续的晶圆加工带来极大地不确定因素。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种微调装置调整精度控制方法。
[0005]本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：微调装置调整精度控制方法，至少包括如下步骤：S1，将晶圆置于载物台上；S2，微调装置移动至与载物台共轴的位置；S3，微调装置将所述晶圆调整至与载物台尽可能共轴的位置；S4，通过视觉检测确定所述晶圆与载物台的位置关系，在确定晶圆与载物台的位置关系不满足要求时，确定所述晶圆的轴线与载物台的轴线之间的第一距离及晶圆的轴线相对于载物台的轴线的偏移方向；S5，确定微调装置进行后续晶圆调整时所要移动到的调整位置，所述调整位置是所述微调装置的轴线由与载物台共轴的位置向纠偏方向移动所述第一距离后所处的位置，所述纠偏方向与所述偏移方向相反。
[0006]优选的，所述微调装置为一个动力源驱动的三爪定心装置或四爪定心装置，所述微调装置的微调爪的内切圆的圆心保持在所述微调装置的轴线上。
>[0007]优选的，在晶圆调整过程中，对所述晶圆的底部进行吹气。
[0008]优选的，当再次确认晶圆与载物台的位置不满足要求时，执行S2
‑
S5步骤。
[0009]优选的，在确定所述调整位置后，使微调装置的轴线移动到所述调整位置后，再次进行载物台上晶圆的调整，调整后，通过视觉检测再次确认晶圆与载物台的位置是否满足要求，当满足要求时，在后续进行晶圆调整时，使所述微调机构调整至所述调整位置后再进行晶圆调整。
[0010]优选的，在再次确定所述晶圆与载物台的位置是否满足要求时，通过拍照装置观察所述载物台上的一组检测孔，当一个检测孔处未获得满足要求的图像时，确定晶圆与载物台的位置不满足要求；当一个检测孔处获取到一满足要求的图像时，获取该图像拍摄时
的镜头中心坐标；在每个检测孔处均获得一个镜头中心坐标后，核对几个所述镜头中心坐标是否满足要求，若符合，则确定晶圆与载物台位置满足要求；反之，确定晶圆与载物台位置不满足要求。
[0011]微调装置调整精度控制方法，至少包括如下步骤：S1，将晶圆置于载物台上；S2，微调装置移动至与载物台共轴的位置；S3，微调装置将所述晶圆调整至与载物台尽可能共轴的位置；S4，通过视觉检测确定所述晶圆与载物台的位置关系，在确定晶圆与载物台的位置关系不满足要求时，确定所述晶圆的轴线与载物台的轴线之间的第一距离及晶圆的轴线相对于载物台的轴线的偏移方向；S5，确定微调装置进行后续晶圆调整时所要移动到的调整位置，所述调整位置是使微调装置的轴线与载物台共轴时，所述微调装置的一组微调爪的内切圆的圆心由所述载物台的轴线处沿纠偏方向移动所述第一距离后所处的位置，所述纠偏方向与所述偏移方向相反。
[0012]优选的，所述微调装置为三爪定心卡盘或四爪定心卡盘，每个微调爪连接一个直线移动装置。
[0013]优选的，在确定所述调整位置后，使微调装置的轴线移动到所述调整位置后，再次进行载物台上晶圆的调整，调整后，通过视觉检测再次确认晶圆与载物台的位置是否满足要求，当满足要求时，在后续进行晶圆调整时，使所述微调机构调整至所述调整位置后再进行晶圆调整。
[0014]优选的，当再次确认晶圆与载物台的位置不满足要求时，执行S20
‑
S50步骤。
[0015]本专利技术技术方案的优点主要体现在：本方案在微调装置调整后，确定微调装置调整的有效性，在确定微调装置的调整存在偏差后，根据晶圆与载物台之间的位置偏差来调整微调装置的位置，从而能够在后续进行晶圆调整时保证晶圆的位置精度，有利于保证后续加工的稳定实现。
[0016]本方案在确定调整位置后，使微调装置微调位置进行调整后并再次确认调整的有效性，从而充分保证微调装置调整的精确性，保证后续使用时的稳定性。
[0017]本方案确定圆心坐标的方法精确性高，同时在采集图像时使镜头移动与检测孔共轴的位置，然后进行图像采集，便于尽快地找到相应的图像，有利于提高工作效率。在确定4个检测坐标后对4个检测坐标进行核算，从而能够有效地保证最终计算的圆心坐标的精度。
附图说明
[0018]图1是本专利技术的流程示意图；图2是本专利技术中，晶圆位于带四个检测孔的载物台上的俯视图；图3是本专利技术中，晶圆的太鼓环区域共轴设置在载物台的俯视图；图4是图3中A区域的放大图；图5是本专利技术的过程带调整后核对过程的流程示意图；图6是本专利技术的实施例2的流程示意图。
具体实施方式
[0019]本专利技术的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本专利技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本专利技术要求保护的范围之内。
[0020]在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。
[0021]下面结合附图对本专利技术揭示的微调装置调整精度控制方法进行阐述，如附图1所示，其至少包括如下步骤：S1，将晶圆1置于载物台4上；具体实施时，可通过上料机械手将料盒内的晶圆1移动至载物台4上；当然，在其他实施例中，也可以采用人工上料的方式，将晶圆1放置到载物台4上。
[0022]S2，微调装置移动至与载物台4共轴的位置；S3，微调装置将所述晶圆1调整至与载物台4尽可能共轴的位置；S4，通过视觉检测确定所述晶圆1与载物台4的位置关系，在确定晶圆1与载物台4的位置关系不满足要求时，确定所述晶圆1的轴线与载物台4的轴线之间的第一距离及晶圆1的轴线相对于载物台4轴线的偏移方向；S5，确定微调装置进行后续晶圆1调整时所要移动到的调整位置，所述调整位置是所述微调装置的轴线由与载物台4共轴的位置向纠偏方向移动所述第一距离后所处的位置，所述纠偏方向与所述偏移方向相反。
[0023]采用这种方式，能够有效地确定微调装置调整的有效性，在确定微调装置的调整存在偏差后，根据晶圆1与载物台4之间的位置偏差来调整微调装置的位置，从而能够在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.微调装置调整精度控制方法，其特征在于：至少包括如下步骤：S1，将晶圆置于载物台上；S2，微调装置移动至与载物台共轴的位置；S3，微调装置将所述晶圆调整至与载物台尽可能共轴的位置；S4，通过视觉检测确定所述晶圆与载物台的位置关系，在确定晶圆与载物台的位置关系不满足要求时，确定所述晶圆的轴线与载物台的轴线之间的第一距离及晶圆的轴线相对于载物台的轴线的偏移方向；S5，确定微调装置进行后续晶圆调整时所要移动到的调整位置，所述调整位置是所述微调装置的轴线由与载物台共轴的位置向纠偏方向移动所述第一距离后所处的位置，所述纠偏方向与所述偏移方向相反。2.根据权利要求1所述的微调装置调整精度控制方法，其特征在于：所述微调装置为一个动力源驱动的三爪定心装置或四爪定心装置，所述微调装置的微调爪的内切圆的圆心保持在所述微调装置的轴线上。3.根据权利要求1所述的微调装置调整精度控制方法，其特征在于：在晶圆调整过程中，对所述晶圆的底部进行吹气。4.根据权利要求1所述的微调装置调整精度控制方法，其特征在于：在确定所述调整位置后，使微调装置的轴线移动到所述调整位置后，再次进行载物台上晶圆的调整，调整后，通过视觉检测再次确认晶圆与载物台的位置是否满足要求，当满足要求时，在后续进行晶圆调整时，使所述微调机构调整至所述调整位置后再进行晶圆调整。5.根据权利要求4所述的微调装置调整精度控制方法，其特征在于：当再次确认晶圆与载物台的位置不满足要求时，执行S2
‑
S5步骤。6.根据权利要求4所述的微调装置调整精度控制方法，其特征在于：在再次确定所述晶圆与载物台的位置是否满足要求时，通过拍照装置观察所述载物台上的一组检测孔，当一个检测孔处未获得满足要求的图像时，确定晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：高阳，张宁宁，吕孝袁，葛凡，周鑫，蔡国庆，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：