一种半导体研磨机组件制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体研磨机组件，涉及研磨机技术领域。本发明专利技术包括持组件和半导体本体；半导体本体被夹持固定在夹持组件上；还包括转动架；转动架转动配合有研磨平台件；弧形安装板两端之间固定连接有角板；角板两内侧面对称设置有永磁吸盘；弧形安装孔滑动配合有清理组件；清理组件与弧形安装板内壁滑动配合。本发明专利技术通过夹持组件将半导体本体夹持固定，转动弧形安装板将角板固定，拉动夹持组件将半导体本体拉到永磁吸盘表面，通过永磁吸盘将半导体本体吸住，进行一面的研磨；完成一面的研磨后，反向转动弧形安装板，重复操作，实现对半导体正反面研磨；研磨过程中产生的粉尘通过气泵吸入弧形安装板内部，通过除尘滤布过滤。通过除尘滤布过滤。通过除尘滤布过滤。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体研磨机组件


[0001]本专利技术属于研磨机
，特别是涉及一种半导体研磨机组件。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。
[0003]半导体在研磨过程中，通常需要对正反面进行研磨，目前大多半导体研磨机是通过夹具将半导体本体夹持固定放置在加工台上或通过永磁吸盘将半导体本体吸附在加工台上，不具备翻转机构，在完成半导体本体一面研磨加工后，需要取下半导体本体进行人为翻面，重复进行夹持固定操作，增加了工作量，降低了工作效率，同时，刚完成一面研磨的半导体本身温度较高，人为取下、翻面后进行夹持固定的过程中，不仅存在安全隐患，而且容易对半导体本体表面造成损伤；现有的研磨机在研磨的过程中会产生较多的灰尘和粉尘，从而污染工作台面。因此，针对上述问题提出一种半导体研磨机组件。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种半导体研磨机组件，通过夹持组件将半导体本体夹持固定，转动弧形安装板将角板固定，拉动夹持组件将半导体本体拉到永磁吸盘表面，通过永磁吸盘将半导体本体吸住，进行一面的研磨；完成一面的研磨后，永磁吸盘消磁后，反向转动弧形安装板，重复操作，实现对半导体正反面研磨；研磨过程中产生的粉尘通过气泵吸入弧形安装板内部，通过除尘滤布过滤。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]本专利技术为一种半导体研磨机组件，包括夹持组件和半导体本体；所述半导体本体被夹持固定在夹持组件上；还包括转动架；所述转动架转动配合有研磨平台件；
[0007]所述研磨平台件包括弧形安装板；所述弧形安装板两侧面对称固定连接有密封板；所述弧形安装板两端之间固定连接有角板；所述角板弯折位置处开有转动孔；所述转动孔与弧形安装板同轴心设置；
[0008]所述角板两内侧面对称设置有永磁吸盘；所述角板侧面位于永磁吸盘两侧对称开有弧形安装孔；所述弧形安装孔滑动配合有清理组件；所述清理组件与弧形安装板内壁滑动配合；
[0009]所述夹持组件包括夹持框；所述夹持框两侧面对称固定连接有弧形滑动管；所述弧形滑动管与清理组件滑动配合；所述夹持框厚度不大于半导体本体厚度。
[0010]进一步地，所述转动架包括支撑底座；所述支撑底座表面对称固定连接有承重杆；
两所述承重杆之间固定连接有转轴；所述转轴与转动孔转动配合。
[0011]进一步地，所述支撑底座两侧面与转轴长度相垂直方向对称固定连接有承重板；所述承重板表面固定连接有滑动套筒；所述滑动套筒滑动配合有滑杆。
[0012]进一步地，两所述限位板之间形成第一滑动槽道；所述第一滑动槽道滑动配合有滑板；所述滑板与C形安装板内侧面之间固定连接有复位弹簧；
[0013]所述滑板表面固定连接有C形卡板；所述角板端部固定连接有连接板；所述连接板表面对称固定连接有挡板；两所述挡板之间形成第二滑动槽道；所述C形卡板与第二滑动槽道滑动配合。
[0014]进一步地，所述弧形安装板周侧面位于内底面设置有锥形出料口；所述锥形出料口周侧面设置有控制阀；所述弧形安装板周侧面位于锥形出料口两侧呈线性阵列分布对称开有安装槽；所述安装槽内壁之间密封设置有除尘滤布。
[0015]进一步地，所述角板侧面位于永磁吸盘下方开有进料口；所述进料口处设置有气泵；所述气泵输出端设置有出料管；所述出料管一端设置有弧形腔；所述弧形腔周侧面呈圆周阵列分布设置有出气管。
[0016]进一步地，所述清理组件包括弧形板；所述弧形板周侧面对称固定连接有滑环；所述滑环与弧形安装孔滑动配合；
[0017]所述弧形板两侧面对称固定连接有若干弧形刷板；所述弧形刷板周侧面呈圆周阵列分布固定连接有毛刷；
[0018]所述弧形板、滑环以及弧形刷板均与弧形安装板同轴心设置，且弧形板与弧形安装板内壁滑动配合。
[0019]进一步地，所述清理组件包括弧形板；所述弧形板周侧面对称固定连接有滑环；所述滑环与弧形安装孔滑动配合；
[0020]所述弧形板两侧面对称固定连接有若干弧形刷板；所述弧形刷板周侧面呈圆周阵列分布固定连接有毛刷；
[0021]所述弧形板、滑环以及弧形刷板均与弧形安装板同轴心设置，且弧形板与弧形安装板内壁滑动配合。
[0022]本专利技术具有以下有益效果：
[0023]1、本专利技术通过夹持组件对不同尺寸的半导体本体进行夹持，通过启动对应的永磁吸盘将半导体本体吸住，通过转动弧形安装板，实现对半导体本体的翻转，避免人为进行翻面，降低了工作量、提高了工作效率，同时避免半导体本体因人为因素导致损坏。
[0024]2、本专利技术在研磨过程中启动气泵，将研磨过程中产生的粉尘吸入弧形腔，通过各出气管吹向弧形安装板内部，通过除尘滤布对粉尘进行拦截，保持工作台面的洁净。
[0025]3、本专利技术通过转动滑环，带动清理组件在弧形安装板内壁进行转动，使得毛刷对除尘滤布上的粉尘进行清理，带动粉尘进入锥形出料口后排出，提高了除尘滤布的使用寿命。
[0026]4、本专利技术通过滑杆与滑动套筒的滑动配合，以及减震弹簧的设置，降低研磨过程产生的震动，起到减震作用，避免淹没过程中，过大的震动损坏半导体本体。
[0027]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本专利技术的一种半导体研磨机组件的结构示意图。
[0030]图2为本专利技术的一种半导体研磨机组件另一角度的结构示意图。
[0031]图3为本专利技术的图2的A处结构放大示意图。
[0032]图4为本专利技术的转动架的结构示意图。
[0033]图5为本专利技术的滑板的结构示意图。
[0034]图6为本专利技术的弧形安装板的结构示意图。
[0035]图7为本专利技术的弧形安装板另一角度的结构示意图。
[0036]图8为本专利技术的清理组件的结构示意图。
[0037]图9为本专利技术的夹持组件的结构示意图。
[0038]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0039]1‑
夹持组件，2
‑
半导体本体，3
‑
转动架，4
‑
研磨平台件，5
‑
弧形安装板，6
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体研磨机组件，包括夹持组件(1)和半导体本体(2)；所述半导体本体(2)被夹持固定在夹持组件(1)上；其特征在于：还包括转动架(3)；所述转动架(3)转动配合有研磨平台件(4)；所述研磨平台件(4)包括弧形安装板(5)；所述弧形安装板(5)两侧面对称固定连接有密封板(6)；所述弧形安装板(5)两端之间固定连接有角板(7)；所述角板(7)弯折位置处开有转动孔(8)；所述转动孔(8)与弧形安装板(5)同轴心设置；所述角板(7)两内侧面对称设置有永磁吸盘(9)；所述角板(7)侧面位于永磁吸盘(9)两侧对称开有弧形安装孔(10)；所述弧形安装孔(10)滑动配合有清理组件(11)；所述清理组件(11)与弧形安装板(5)内壁滑动配合；所述夹持组件(1)包括夹持框(12)；所述夹持框(12)两侧面对称固定连接有弧形滑动管(13)；所述弧形滑动管(13)与清理组件(11)滑动配合；所述夹持框(12)厚度不大于半导体本体(2)厚度。2.根据权利要求1所述的一种半导体研磨机组件，其特征在于，所述转动架(3)包括支撑底座(14)；所述支撑底座(14)表面对称固定连接有承重杆(15)；两所述承重杆(15)之间固定连接有转轴(16)；所述转轴(16)与转动孔(8)转动配合。3.根据权利要求2所述的一种半导体研磨机组件，其特征在于，所述支撑底座(14)两侧面与转轴(16)长度相垂直方向对称固定连接有承重板(17)；所述承重板(17)表面固定连接有滑动套筒(18)；所述滑动套筒(18)滑动配合有滑杆(19)；所述滑杆(19)一端固定连接有C形安装板(20)；所述C形安装板(20)内底面对称固定连接有限位板(21)；所述C形安装板(20)与承重板(17)之间位于滑动套筒(18)两侧对称固定连接有减震弹簧(44)。4.根据权利要求3所述的一种半导体研磨机组件，其特征在于，两所述限位板(21)之间形成第一滑动槽道(22)；所述第一滑动槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：刁立军，
申请(专利权)人：刁立军，
类型：发明
国别省市：