一种溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术提供一种溅射镀膜机，包括：镀膜腔体；靶材机台；靶材机台设置于镀膜腔体下部；溅射基板；溅射基板设置于镀膜腔体上部，与靶材机台相对；第一隔板；第一隔板水平设置；第二隔板；第二隔板水平设置；第一隔板和第二隔板共同形成靶材机台至溅射基板的曲折通道。本实用新型专利技术提供的溅射镀膜机，可有效降低溅射镀膜工艺中有机发光结构的损伤。膜工艺中有机发光结构的损伤。膜工艺中有机发光结构的损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜机


[0001]本技术涉及OLED制造
，具体涉及一种溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]在OLED制造工艺中，通常使用ITO作为OLED的阳极。制作OLED的阳极通常使用溅射镀膜的方法在有机发光结构上形成ITO膜层。溅射镀膜工艺通常使用溅射镀膜机来进行。通常的溅射镀膜机如图1所示：包括镀膜腔室101。镀膜腔室101上部设置有溅射基板102，溅射基板102用于放置待镀膜的有机发光结构103；镀膜腔室101下部设置有靶材机台，靶材机台用于放置靶材。作业时，向镀膜腔室101中通入氩气，氩气在外加电场作用下产生辉光放电现象产生带电粒子，带电粒子经电场加速后，高速轰击靶材表面，溅射出组成ITO的氧化铟和氧化锡的分子、氧原子、铟原子、锡原子和二次电子；二次电子可再次撞击氩原子，产生更多的带电粒子。进而更多的带电粒子继续轰击靶材表面，溅射出的分子和原子获得大量动能后向有机发光结构103运动，在有机发光结构103表面积累形成ITO层104。溅射出的ITO分子由于携带较高的能量，通常容易对有机发光结构造成损伤，影响OLED器件的显示性能。因此需要一种方案减少溅射镀膜工艺中对有机发光结构103的损伤。

技术实现思路

[0003]因此，本技术提供一种溅射镀膜机，可有效降低溅射镀膜工艺中有机发光结构的损伤。
[0004]本技术提供一种溅射镀膜机，包括：镀膜腔体；靶材机台；靶材机台设置于镀膜腔体下部；溅射基板；溅射基板设置于镀膜腔体上部，与靶材机台相对；第一隔板；第一隔板水平设置；第二隔板；第二隔板水平设置；第一隔板和第二隔板共同形成靶材机台至溅射基板的曲折通道。
[0005]可选的，第一隔板位于靶材机台和溅射基板之间，第一隔板水平方向上的长度小于镀膜腔体水平方向上的长度；第二隔板位于靶材机台和溅射基板之间，第二隔板水平方向上的长度小于镀膜腔体水平方向上的长度；第二隔板的位置高于第一隔板；第二隔板与第一隔板分别设置于镀膜腔体的相对两侧，且水平相对延伸。
[0006]可选的，第一隔板水平方向上的长度小于第二隔板水平方向上的长度。
[0007]可选的，第一隔板与第二隔板水平方向上间隔距离4cm～6cm；第一隔板与第二隔板竖直方向上间隔18cm～22cm。
[0008]可选的，溅射镀膜机还包括：第三隔板；第三隔板水平设置且位于第二隔板和溅射基板之间；第三隔板、第二隔板和第一隔板共同构成靶材机台至溅射基板的曲折通道。
[0009]可选的，第三隔板包括水平方向上相对的两块隔板，两块隔板之间存在间隔。
[0010]可选的，第三隔板的两块隔板之间的间隔水平方向上位于第三隔板的正中。
[0011]可选的，第三隔板的两块隔板之间间隔16cm～24cm。
[0012]可选的，溅射镀膜机还包括：第四隔板；第四隔板上设置有竖直方向上贯通第四隔
板的多个通孔，多个通孔均匀排布。
[0013]可选的，相邻的通孔之间间隔18cm～22cm。
[0014]本技术技术方案，具有如下优点：
[0015]1.本技术的溅射镀膜机通过位于靶材机台和溅射基板之间设置的第一隔板和第二隔板，形成曲折通道，使得轰击出的靶材分子不能直接射向设置在溅射基板的有机发光结构，绝大部分直射的靶材分子被第一隔板和第二隔板阻挡，其余的靶材分子经过相互碰撞不断改变路径，最终通过曲折通道达到溅射基板，而在有机发光结构表面形成镀膜层。这样经过曲折通道到达溅射基板的靶材分子，在曲折路径中经过碰撞和摩擦消耗了部分能量，因而到达有机发光结构表面时的能量相比于直接发射达到有机发光结构表面分子的能量被降低，从而能够减少对有机发光结构的冲击损伤。
[0016]2.进一步的，本技术的溅射镀膜机，通过增设第三隔板，将曲折通道进一步复杂化，可进一步消耗靶材分子的能量，进一步减少对有机发光结构的冲击损伤。
[0017]3.进一步的，第三隔板的间隔设置于水平方向上的正中，这样从曲折通道中射出的靶材分子相对分布较正，可保证形成的镀膜层不会发生位置偏移。
[0018]4.进一步的，通过设置具有均匀分布的通孔的第四隔板，可使得从曲折通道中射出的靶材分子分布相对均匀，可保证形成的镀膜层厚度相对均匀。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为一种溅射镀膜机的结构示意图；
[0021]图2为本技术的一实施例的溅射镀膜机的结构示意图。
具体实施方式
[0022]本技术提供一种溅射镀膜机，包括：镀膜腔体；靶材机台；靶材机台设置于镀膜腔体下部；溅射基板；溅射基板设置于镀膜腔体上部，与靶材机台相对；第一隔板；第一隔板水平设置；第二隔板；第二隔板水平设置；第一隔板和第二隔板共同形成靶材机台至溅射基板的曲折通道。以减少溅射镀膜工艺中对有机发光结构造成的损伤。
[0023]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0027]实施例1
[0028]参考图2，本实施例提供一种溅射镀膜机，包括：
[0029]镀膜腔体201；
[0030]靶材机台205；靶材机台205设置于镀膜腔体201下部；
[0031]溅射基板202；溅射基板202设置于镀膜腔体上部，与靶材机台205相对；
[0032]第一隔板206；第一隔板206水平设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜机，其特征在于，包括：镀膜腔体；靶材机台；所述靶材机台设置于镀膜腔体下部；溅射基板；所述溅射基板设置于所述镀膜腔体上部，与所述靶材机台相对；第一隔板；所述第一隔板水平设置；第二隔板；所述第二隔板水平设置；所述第一隔板和所述第二隔板共同形成所述靶材机台至所述溅射基板的曲折通道。2.根据权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述第一隔板位于所述靶材机台和所述溅射基板之间，所述第一隔板水平方向上的长度小于所述镀膜腔体水平方向上的长度；所述第二隔板位于所述靶材机台和所述溅射基板之间，所述第二隔板水平方向上的长度小于所述镀膜腔体水平方向上的长度；所述第二隔板的位置高于所述第一隔板；所述第二隔板与所述第一隔板分别设置于所述镀膜腔体的相对两侧，且水平相对延伸。3.根据权利要求2所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述第一隔板水平方向上的长度小于所述第二隔板水平方向上的长度。4.根据权利要求3所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述第一隔板与所述第二隔板水平方向上间...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴磊，郝力强，贾振，马中生，
申请(专利权)人：苏州清越光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：