一种二维运动平台制造技术

本发明专利技术涉及半导体封装制造技术领域，提供了一种二维运动平台，包括底座、X向运动平台、Y向运动平台、工作运动平台、X向驱动直线电机以及Y向驱动直线电机。X向及Y向驱动直线电机可分别驱动X向运动平台及Y向运动平台线性运动，并最终驱动工作运动平台在XY平面内做二维线性运动,本发明专利技术的二维线性平台的直线电机定子通过柔性装置安装到运动平台底座上，从而减小了直线电机定子对运动平台底座的冲击力，减小运动平台的振动，提升了运动平台运行的稳定性和定位精度；本发明专利技术可明显降低电机定子对运动平台底座的冲击，减小运动平台及底座的振动，使得运动平台运行更加稳定，停止时稳定时间明显加快，振动时间缩短，定位精度提高。定位精度提高。定位精度提高。

【技术实现步骤摘要】
一种二维运动平台


[0001]本专利技术涉及半导体封装制造
，特别是涉及到一种引线键合设备运动平台，具体涉及一种二维运动平台。

技术介绍

[0002]由于机械加工特别是半导体封装领域对加工速度和精度的要求不断提高，目前高速二维运动平台普遍采用大推力直线电机驱动及较轻的运动部件实现高速高加速运动。但是当运动平台的速度及加速度提高到一定程度时，运动平台的机械振动开始变得明显。特别是在半导体封装领域使用的二维线性运动平台，往往需要高加速、频繁启停换向、短行程往复运动，此时运动平台振动显著，直接影响了平台的定位精度和平台定位进入稳定的时间。
[0003]通过分析这是由于电机施加动力驱动运动平台运动时，运动平台对电机定子产生反作用力。而目前的二维运动平台电机定子普遍采用刚性连接直接固定在运动平台底座上，电机定子受到的反作用力会直接传递给运动平台底座，使运动平台底座产生振动，运动平台底座的振动又会传递到运动平台，使运动平台振动，最后影响运动平台的定位精度和稳定速度。特别是要继续提高运动平台速度和加速度时，电机传递给运动平台底座的反作用力也会加大，振动会变得更加剧烈，使运动平台的定位精度进一步下降。
[0004]因此，电机对运动平台底座的反作用力引起的振动严重制约了运动平台进一步的提速，需要开发高速高加速运动平台必须要解决电机传递给运动平台底座的反作用力引起的平台振动。

技术实现思路

[0005]针对上述现有技术的不足，本专利技术提供一种二维运动平台，减小了电机定子对底座的冲击引起的振动，底座及整个运动平台运动时更加稳定，使运动平台振动时间缩短，定位精度提高。
[0006]本专利技术采用的技术方案如下：
[0007]第一方面，在本专利技术提供的一个实施例中，提供了一种二维运动平台，包括底座、X向运动平台、Y向运动平台、工作运动平台、X向驱动直线电机以及Y向驱动直线电机；所述X向运动平台通过X向导轨安装在底座上，所述X向运动平台用于相对底座沿着X向线性运动；所述Y向运动平台通过Y向导轨安装在底座上，所述Y向运动平台用于相对底座沿着Y向线性运动；所述工作运动平台通过运动平台导轨安装在X向运动平台上，所述工作运动平台通过解耦导轨与Y向运动平台相连接，工作运动平台用于在X向运动平台和Y向运动平台的带动下在XY平面内做线性运动；所述X向驱动直线电机，用于驱动X向运动平台运动；所述Y向驱动直线电机用于驱动Y向运动平台运动，所述二维线性平台还包括位置反馈装置，所述位置反馈装置包括光栅尺和读数头。
[0008]作为本专利技术的进一步方案，所述X向驱动直线电机包括X向直线电机定子和X向直
线电机动子，X向直线电机动子通过X向电机安装夹爪安装在X向运动平台上。
[0009]作为本专利技术的进一步方案，所述X向直线电机定子两端还安装有X向驱动配重块。
[0010]作为本专利技术的进一步方案，所述Y向驱动直线电机包括Y向直线电机定子和Y向直线电机动子，Y向直线电机动子通过Y向电机安装夹爪安装在Y向运动平台上。
[0011]作为本专利技术的进一步方案，所述X向直线电机定子通过X向电机安装板及X向驱动导轨安装在底座上，Y向直线电机定子通过Y向电机安装板及Y向驱动导轨安装在底座上。
[0012]作为本专利技术的进一步方案，所述二维线性平台还包括:一对第一弹簧X向布置安装在X向直线电机定子两端面与底座之间；以及一对第一缓冲器，X向布置安装在X向直线电机定子两端面与底座之间。
[0013]作为本专利技术的进一步方案，所述二维线性平台还包括：第二弹簧，第二弹簧安装在Y向直线电机定子后端面与底座之间，用于对Y向直线电机定子施加向前的推力；第二缓冲器，第二缓冲器安装在Y向直线电机定子后端面与底座之间，用于在Y向直线电机定子向后运动时对Y向直线电机定子施加向前的阻尼力；第三弹簧，第三弹簧安装在Y向直线电机定子后端面与底座之间，用于对Y向直线电机定子施加向后的推力；以及第三缓冲器，第三缓冲器安装在Y向直线电机定子后端面与底座之间，用于在Y向直线电机定子向前运动时对Y向直线电机定子施加向后的阻尼力。
[0014]作为本专利技术的进一步方案，所述X向直线电机定子通过X向柔性橡胶减振装置安装在底座上，Y向直线电机定子通过Y向柔性橡胶减振装置安装在底座上。
[0015]作为本专利技术的进一步方案，所述X向柔性橡胶减振装置包括上层钢板、减振橡胶和底层钢板，所述上层钢板上设有与X向驱动直线电机安装连接的孔位，底层钢板上设有与运动平台底座安装的孔位，所述上层钢板及底层钢板与减振橡胶相连接，钢板与橡胶粘接面采用相互嵌入齿形连接，所述减振橡胶内部沿横截面垂直的方向设置有孔洞。
[0016]作为本专利技术的进一步方案，所述位置反馈装置包括：X向位置反馈装置，X向位置反馈装置包括X向光栅尺和X向读数头，X向光栅尺安装在X向运动平台上，X向读数头安装在底座上；以及运动平台位置反馈装置，运动平台位置反馈装置包括运动平台光栅尺和运动平台读数头，运动平台光栅尺安装在工作运动平台上，运动平台读数头安装在X向运动平台上。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]本专利技术的二维线性平台与现有层叠式二维运动平台相比，驱动运动平台运动的直线电机定子通过柔性装置安装在运动平台底座上，当电机定子受到运动平台的反作用力时，电机定子不会直接把反作用力传递到运动平台底座上，而是通过安装在电机定子与运动平台底座之间的柔性装置将反作用力柔性的传递到运动平台底座。由于采用了柔性连接，当电机定子受到反作用力时，一方面柔性装置内部及电机定子会有能量消耗吸收一部分反作用力，使得传递到运动平台底座的反作用力大小减小，另一方面柔性装置会对反作用力的急剧变化进行均化，使得传递到运动平台底座的反作用大小波动明显平滑。因此可明显降低电机定子对运动平台底座的冲击，减小运动平台及底座的振动，使得运动平台运行更加稳定，停止时稳定时间明显加快，振动时间缩短，定位精度提高。
[0019]本专利技术的这些方面或其他方面在以下实施例的描述中会更加简明易懂。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例。
[0021]图1为本专利技术优选实施例一的一种二维运动平台的立体结构示意图；
[0022]图2为本专利技术优选实施例一的一种二维运动平台的爆炸图；
[0023]图3为本专利技术优选实施例一的一种二维运动平台的俯视图；
[0024]图4为本专利技术优选实施例一的一种二维运动平台沿X方向的一个剖面图；
[0025]图5为本专利技术优选实施例一的一种二维运动平台沿Y方向的一个剖面图；
[0026]图6为本专利技术优选实施例二的一种二维运动平台的立体结构示意图；
[0027]图7为本专利技术优选实施例二的一种二维运动平台的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二维运动平台，其特征在于，包括底座(10)、X向运动平台(20)、Y向运动平台(30)、工作运动平台(40)、X向驱动直线电机(50)以及Y向驱动直线电机(60)；所述X向运动平台(20)通过X向导轨(21)安装在底座(10)上，所述X向运动平台(20)用于相对底座(10)沿着X向线性运动；所述Y向运动平台(30)通过Y向导轨(31)安装在底座(10)上，所述Y向运动平台(30)用于相对底座(10)沿着Y向线性运动；所述工作运动平台(40)通过运动平台导轨(41)安装在X向运动平台(20)上，所述工作运动平台(40)通过解耦导轨(32)与Y向运动平台上(30)连接，工作运动平台(40)用于在X向运动平台(20)和Y向运动平台(30)的带动下在XY平面内做线性运动；所述X向驱动直线电机(50)，用于驱动X向运动平台(20)运动；所述Y向驱动直线电机(60)用于驱动Y向运动平台(30)运动；所述二维线性平台还包括位置反馈装置，所述位置反馈装置包括光栅尺和读数头。2.如权利要求1所述的一种二维运动平台，其特征在于：所述X向驱动直线电机(50)包括X向直线电机定子(500)和X向直线电机动子(501)，X向直线电机动子(501)通过X向电机安装夹爪(53)安装在X向运动平台(20)上。3.如权利要求2所述的一种二维运动平台，其特征在于：所述X向直线电机定子(500)两端还安装有X向驱动配重块(54)。4.如权利要求3所述的一种二维运动平台，其特征在于：所述Y向驱动直线电机(60)包括Y向直线电机定子(600)和Y向直线电机动子(601)，Y向直线电机动子(601)通过Y向电机安装夹爪(63)安装在Y向运动平台(30)上。5.如权利要求4所述的一种二维运动平台，其特征在于：所述X向直线电机定子(500)通过X向电机安装板(52)及X向驱动导轨(51)安装在底座(10)上，Y向直线电机定子(600)通过Y向电机安装板(62)及Y向驱动导轨(61)安装在底座(10)上。6.如权利要求5所述的一种二维运动平台，其特征在于：所述二维线性平台还包括：一对第一弹簧(70)，X向布置安装在X向直线电机定子(500)两端面与底座(10)之间；以及一对第一缓冲器(71)，X向布置安装在X向直线电机定子...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振夺，陈强，刘鑫，
申请(专利权)人：深圳市德沃先进自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：