本发明专利技术提供的一种具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；旋转轴连接在第二盘体上，用于驱动抛光盘旋转；冷却回路呈螺旋状盘布在第一盘体与第二盘体之间,冷却回路中适于流通冷却液；冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；冷却回路对避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在避让孔周向的冷却回路；驱动组件至少部分设于旋转轴上，用于驱动旋转轴转动。本发明专利技术的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题。致的散热不均问题。致的散热不均问题。
【技术实现步骤摘要】
一种具有冷却功能的抛光装置
[0001]本专利技术涉及抛光机
，具体涉及一种具有冷却功能的抛光装置。
技术介绍
[0002]在化学机械抛光
，晶圆夹持在旋转的抛光头下端，旋转的抛光盘上端设置有抛光垫，抛光头上的晶圆与抛光垫之间设置有抛光液，在化学和机械的共同作用下，晶圆实现全局平坦化。
[0003]在抛光过程中，抛光盘及带动抛光盘旋转的驱动电机会产生大量的热量；热量一方面会引起工件的热变形，进而影响晶圆的抛光质量，另一方面热量一定程度上影响抛光液的化学反应，从而影响晶圆的抛光效果，故必须采取制冷措施、控制住抛光盘温度。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术提供一种具有冷却功能的抛光盘及其抛光机。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供的具有冷却功能的抛光装置，包括：
[0006]抛光盘，具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，所述第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；
[0007]旋转轴，连接在所述第二盘体上，用于驱动所述抛光盘旋转；
[0008]冷却回路，呈螺旋状盘布在所述第一盘体与所述第二盘体之间,所述冷却回路中适于流通冷却液；所述冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过所述旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；其中，所述冷却回路对所述避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在所述避让孔周向的冷却回路；
[0009]驱动组件，至少部分设于所述旋转轴上，用于驱动所述旋转轴转动。
[0010]进一步地，所述冷却回路的进/回液口均设置在所述第二盘体中心部位；冷却液流经所述避让孔的周向后，沿所述冷却回路的外圈逐渐向内圈循环流通。
[0011]进一步地，所述冷却回路为开设在所述第二盘体上的凹槽，所述凹槽的开口朝向所述第一盘体。
[0012]进一步地，所述第二盘体可拆卸的连接在所述旋转轴上。
[0013]进一步地，所述旋转轴通过第一连接件与所述第二盘体进行可拆卸连接，所述第一连接件上具有开口朝向所述第二盘体的第一容纳槽，所述第一容纳槽用于容纳预留的软管。
[0014]进一步地，所述旋转轴的背离所述第二盘体的一端连接有旋转接头，穿过所述旋转轴的软管与所述旋转接头连通，所述旋转接头适于与冷却液箱连通。
[0015]进一步地，所述旋转接头通过第二连接件与所述旋转轴可拆卸连接，所述第二连接件上具有开口朝向所述旋转轴的第二容纳槽，所述第二容纳槽用于容纳预留的软管。
[0016]进一步地，所述旋转轴上连接有导电滑环，与传感器连接的数据线穿过旋转轴的穿轴孔后、与所述导电滑环电连接。
[0017]进一步地，所述冷却回路的进/回液口均为开设有在所述第二盘体上的螺纹孔。
[0018]进一步地，所述驱动组件包括：
[0019]从动轮，固定套设有所述旋转轴上；
[0020]主动轮，通过传送带与所述从动轮绕接；
[0021]驱动电机，其驱动轴连接在所述主动轮的轴心处，用于驱动所述主动轮旋转。
[0022]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0023]1.本专利技术提供的具有冷却功能的抛光装置，盘布在第一盘体与第二盘体之间的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题；由于第一盘体在避让孔处的温度较其他部位高，冷却液从绕包在避让孔处的冷却回路侧进入，有助于增加避让孔处的冷却力度，尽可能地使第一盘体各部均匀冷却；另外，与冷却回路连通的软管穿设在旋转轴的轴孔内，避免管路与其他部分发现缠绕现象。
[0024]2.本专利技术提供的具有冷却功能的抛光装置，抛光盘以及旋转接头均与旋转轴可拆卸连接，均可单独拆卸进行更换维修；另外，旋转接头的设置，避免抛光盘在旋转过程中、软管因过度扭转而发生损伤。
[0025]3.本专利技术提供的具有冷却功能的抛光装置，与第二盘体连接的第一连接件以及与旋转接头连接的第二连接件上均设有容纳槽，将预留长度的软管盘布在容纳槽内，避免在抛光盘以及旋转接头拆卸过程中、对软管造成抻拽损伤。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为抛光装置的示意图。
[0028]图2为第二盘体的立体示意图。
[0029]图3为第二盘体的主视示意图。
[0030]图4为抛光装置的拆装状态示意图。
[0031]附图标记说明：
[0032]1、第一盘体；2、第二盘体；3、旋转轴；4、冷却回路；5、避让孔；6、传感器；7、安装孔；8、进液口；9、回液口；10、软管；11、折回段；12、外圈段；13过渡段；14、第一连接件；15、第一容纳槽；16、旋转接头；17、第二连接件；18、第二容纳槽；19、导电滑环；20、从动轮；21、穿轴孔。
具体实施方式
[0033]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0034]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、
“
水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0035]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0036]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0037]本实施例提供的具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘、旋转轴3、冷却回路4以及驱动组件。
[0038]如图1所示，在本实施例中，所述抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体1和第二盘体2，通过第一盘体1对抛光头上的晶圆进行抛光操作；所述第二盘体2上开设有避让孔5，传感器6穿过该避让孔5来检测晶圆的位置；旋转轴3连接在所述第二盘体2上，驱动组件的至少部分连接在旋转轴3上、来驱动旋转轴3转动，使旋转轴3带动所述抛光盘旋转、对晶圆进行抛光。在抛光过程中，抛光盘上会产生大本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有冷却功能的抛光装置，其特征在于，包括：抛光盘，具有上下贴合连接的第一盘体(1)和第二盘体(2)，所述第二盘体(2)上开设有用于传感器(6)穿过的避让孔(5)；旋转轴(3)，连接在所述第二盘体(2)上，用于驱动所述抛光盘旋转；冷却回路(4)，呈螺旋状盘布在所述第一盘体(1)与所述第二盘体(2)之间,所述冷却回路(4)中适于流通冷却液；所述冷却回路(4)的进/回液口(9)均连通有软管(10)，该软管(10)穿过所述旋转轴(3)的穿轴孔(21)后、适于与冷却液箱连通；其中，所述冷却回路(4)对所述避让孔(5)进行绕包，冷却液先流经绕包在所述避让孔(5)周向的冷却回路(4)；驱动组件，至少部分设于所述旋转轴(3)上，用于驱动所述旋转轴(3)转动。2.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置，其特征在于，所述冷却回路(4)的进/回液口(9)均设置在所述第二盘体(2)中心部位；冷却液流经所述避让孔(5)的周向后，沿所述冷却回路(4)的外圈逐渐向内圈循环流通。3.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置，其特征在于，所述冷却回路(4)为开设在所述第二盘体(2)上的凹槽，所述凹槽的开口朝向所述第一盘体(1)。4.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置，其特征在于，所述第二盘体(2)可拆卸的连接在所述旋转轴(3)上。5.根据权利要求4所述的具有冷却功能的抛光装置，其特征在于，所述旋转轴(3)通过第一连接件(13过渡段；14)...
【专利技术属性】
技术研发人员：周博伦，刘福强，李伟，史霄，
申请(专利权)人：北京烁科精微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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