一种混合光生成系统技术方案

一种混合光生成系统，包括直流光模组、调制光模组、复眼匀光组件、第一透镜和第二透镜，直流光模组发出直流光，直流光经复眼匀光组件生成第一直流光，复眼匀光组件用于对射入的直流光进行均匀处理，第一直流光经第一透镜生成第二直流光，第二直流光经第二透镜生成直流光光斑，调制光模组发出调制光，调制光经第一透镜生成第一调制光，第一调制光经第二透镜生成调制光光斑。本发明专利技术的直流光模组发出直流光，经复眼匀光组件和第一透镜、第二透镜后，形成直流光光斑，调制光模组发出调制光，调制光经第一透镜和第二透镜后，形成调制光光斑，且调制光和直流光的波长可调，使其可以同时产生直流光和调制光，解决了传统光源只能提供一种光的技术问题。的技术问题。的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种混合光生成系统


[0001]本专利技术涉及芯片测试
，尤其是一种混合光生成系统。

技术介绍

[0002]TOF芯片(Time Of Flight)是近年兴起的激光测距和成像类芯片，在汽车及工业领域应用广泛，比如车用TOF芯片可对行车环境周围进行感知，从而获取环境信息以增加行车的安全性，还可用于驾驶员状态监测与提醒及其他车内辅助应用。在消费电子领域，TOF深度传感技术依靠体积小、误差低、直接输出深度数据与抗干扰性强等优势，成为智能手机虚拟现实、人脸识别、体感交互等应用领域首选技术方案。在智能安防领域，能够直接获得深度信息，实现场景分割并准确呈现拍摄对象，因此可以进行人流统计、轨迹跟踪、姿态识别等功能以完成抓取、运送和装配的任务。在工业领域，由于具有不易受外界光干扰、体积小巧、响应速度快以及识别精度高等多重优势，使得激光雷达芯片日渐成为3D视觉的首选技术方案。其应用领域包括：智能机器人、AR/VR、智慧家居、智慧工业、智慧物流等领域。对TOF芯片的测试有两种，一种是晶圆测试，另一种是封装测试，晶圆测试在整个芯片制作流程中处于晶圆制造和封装之间，晶圆(Wafer)制作完成后，成千上万的裸晶粒(Die)规则的分布满整个晶圆，由于尚未进行划片封装，芯片的管脚全部裸露在外，这些极微小的管脚需要通过更细的探针来与测试机台连接，而探针则需要测试探针卡来实现数据的传输，测试探针卡起到夹具作用，对待测芯片进行夹持，并通过探针将待测芯片和测试机台构成数据传输通道，晶圆测试一般是将晶圆放在测试探针卡上，并对晶圆进行光照，测试其电气特性，如消耗功率、运行速度、图像采集，激光控制等。
[0003]传统的TOF芯片测试方法是通过给芯片施加直流光源来测试其性能，TOF芯片核心功能的调制光部分一般没有测试，或者将其分成2个工序，先测直流光再测试调制光，另外，调制光动态性能的测试均为串行测试，测试效率低下，在TOF芯片测试领域中，多种测试场景需要芯片测试机提供直流光和调制光，以满足芯片的测试要求，而传统的芯片测试机，单台只能提供一种光，即使有能同时提供此两种光的光源，其调制光的波长也是固定的，不支持多种波长的切换，且价格昂贵，交期时间长，提供的光源的尺寸较大，不能满足对芯片测试速度的要求，而且还影响了其他功能的测试。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可以同时提供直流光和调制光的混合光生成系统。
[0005]本专利技术解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：
[0006]一种混合光生成系统，包括直流光模组、调制光模组、复眼匀光组件、第一透镜和第二透镜；
[0007]所述直流光模组发出直流光，所述直流光经所述复眼匀光组件生成第一直流光，所述第一直流光经所述第一透镜生成第二直流光，所述第二直流光经所述第二透镜生成直
流光光斑；
[0008]所述调制光模组发出调制光，所述调制光经所述第一透镜生成第一调制光，所述第一调制光经所述第二透镜生成调制光光斑；
[0009]生成的直流光光斑和调制光光斑可以用于对芯片的功能检测，通过直流光模组和调制光模组，可以实现同时生成两种光源的效果，解决了传统的光源只能发射单一光源的问题。
[0010]优选的，所述直流光模组包括直流光控制模块、直流光源和直流光准直透镜，所述直流光控制模块控制所述直流光源发出直流光，所述直流光源发出的直流光经所述直流光准直透镜射出，通过配置所述直流光控制模块，使所述直流光源发出的直流光的波长改变，通过生成不同波长的直流光，来实现对不同芯片的功能测试。
[0011]优选的，所述调制光模组包括调制光源和调制光准直透镜，所述调制光源用于发射调制光，所述调制光由所述调制光准直透镜射出，调制光源的作用与直流光源的作用相同，均是用于发射光，调制光源发射调制光，其调制光的波长也可进行不同配置，使其符合不同芯片的测试。
[0012]而所述直流光准直透镜和调制光准直透镜，两者的作用也相同，即处理射到直流光准直透镜的直流光和射到调制光准直透镜的调制光，使其由直流光准直透镜和调制光准直透镜射出的直流光和调制光的光路均匀，由所述第二透镜射出而形成的直流光光斑的面积最大可达100*100mm。
[0013]优选的，所述复眼匀光组件为蝇眼匀光透镜，所述复眼匀光组件用于对射入的直流光进行均匀处理，使其可以直射到第一透镜上。
[0014]优选的，所述调制光源由调制光控制模块配置，所述调制光控制模块控制调制光的输出波长，所述调制光源为激光器，由激光器发出的调制光通过调制光控制模块配置不同的波长，使其满足不同芯片的测试要求。
[0015]优选的，所述调制光控制模块为第一驱动芯片和第二驱动芯片进行级联的组合电路，通过SPI和I2C通讯对调制光源进行控制，输出的调制光的频率为0
‑
200MHz，占空比为0
‑
100％，脉宽最小可达1ns，且上升沿小于0.2ns，同时还支持通过外部LVDS信号直接控制输出光源并同步输出。
[0016]优选的，所述直流光源发出的直流光的波长配置为940nm或850nm。
[0017]优选的，所述调制光源发出的调制光的波长配置为940nm或850nm。
[0018]优选的，所述调制光源发出的调制光经所述第一透镜、第二透镜生成的调制光光斑为四个。
[0019]优选的，所述直流光控制模块和调制光控制模块连接有通讯接口，由所述通讯接口对所述直流光控制模块和调制光控制模块的光源波长进行配置。
[0020]本专利技术的优点和积极效果是：
[0021]1、本专利技术的直流光模组发出直流光，经复眼匀光组件和第一透镜、第二透镜后，形成直流光光斑，调制光模组发出调制光，调制光经第一透镜和第二透镜后，形成调制光光斑，且调制光和直流光的波长可调，使其可以同时产生直流光和调制光，解决了传统光源只能提供一种光的技术问题。
[0022]2、本专利技术的调制光控制模块由两个芯片级联而成，通过SPI和I2C通讯对调制光源
进行控制，输出的调制光的频率为0
‑
200MHz，占空比为0
‑
100％，脉宽最小可达1ns，且上升沿小于0.2ns，直流光源发出的直流光通过复眼匀光组件和第一透镜、第二透镜的处理后，形成的直流光光斑的面积最大可达100*100mm。
附图说明
[0023]图1是本专利技术的系统结构示意图；
[0024]图2是本专利技术的直流光控制模块和调制光控制模块的信号控制示意图；
[0025]图3是不同波长的调制光的光斑布局示意图。
[0026]图中：
[0027]1、直流光模组；11、直流光控制模块；12、直流光源；13、直流光准直透镜；
[0028]2、调制光模组；21、调制光源；22、调制光准直透镜；
[0029]3、复眼匀光组件；4、第一透镜；5、第二透镜；6、调制光光斑；7、直流光光斑。
具体实施方式
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混合光生成系统，其特征在于：包括直流光模组(1)、调制光模组(2)、复眼匀光组件(3)、第一透镜(4)和第二透镜(5)；所述直流光模组(1)发出直流光，所述直流光经所述复眼匀光组件(3)生成第一直流光，所述第一直流光经所述第一透镜(4)生成第二直流光，所述第二直流光经所述第二透镜(5)生成直流光光斑(7)；所述调制光模组(2)发出调制光，所述调制光经所述第一透镜(4)生成第一调制光，所述第一调制光经所述第二透镜(5)生成调制光光斑(6)。2.根据权利要求1所述的一种混合光生成系统，其特征在于：所述直流光模组(1)包括直流光控制模块(11)、直流光源(12)和直流光准直透镜(13)，所述直流光控制模块(11)控制所述直流光源(12)发出直流光，所述直流光源(12)发出的直流光经所述直流光准直透镜(13)射出。3.根据权利要求2所述的一种混合光生成系统，其特征在于：所述调制光模组(2)包括调制光源(21)和调制光准直透镜(22)，所述调制光源(21)用于发射调制光，所述调制光由所述调制光准直透镜(22)射出。4.根据权利要求1所述的一种混合光...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯龙，王丽国，柴国占，
申请(专利权)人：深钛智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：