一种吸热管热屏制造技术

本实用新型专利技术提供一种吸热管热屏，所述热屏包括呈紧密排列的吸热管，所述吸热管内通有冷却剂，所述热屏通过所述吸热管表面吸收热辐射。所述吸热管包括外层螺旋吸热管、设置在所述外层螺旋吸热管所围空间内的内层螺旋吸热管和水平设置的底部吸热环；所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管的底部分别与所述底部吸热环连通，且所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管的顶部分别具有连接口。通过采用吸热管阵列热屏取代原有的水冷壁结构热屏，大幅增加表面吸热面积与水的换热面积，提高水冷屏的散热能力，进一步强化单晶生长过程中的散热，进一步提高长晶速度的上限。是现有水冷屏技术的进一步发展。技术的进一步发展。技术的进一步发展。

【技术实现步骤摘要】
一种吸热管热屏


[0001]本技术涉及单晶硅生产
，具体而言是单晶生长炉中的热屏，尤其涉及一种吸热管热屏。

技术介绍

[0002]热屏在直拉单晶硅生长炉中起到将高温区与单晶棒隔离开的热屏障的作用，为单晶棒的生长提供了稳定的热场环境。在此之后经过改进升级的水冷热屏技术不但起到了热屏障的作用，还有着环绕单晶棒的水冷散热的作用。但目前水冷热屏的设计也存在不足之处。
[0003]要提高水冷热屏的性能，就需要提高其散热能力，而散热能力取决于热屏冷却剂带走热量的快慢。
[0004]根据总传热计算公式：Q＝k
·
S
·
ΔT
[0005]其中k为总传热系数，S为换热面积，ΔT为水冷屏外部与内部冷却剂的平均温差。分析可知，要想提高总传热能力，可以分别提高k、S、ΔT或者同时提高。行业目前所采用的热屏设计或存在热屏表面吸热面积有限或有效换热面积偏低的种种不足。

技术实现思路

[0006]根据上述技术问题，而提供一种吸热管热屏。
[0007]本技术采用的技术手段如下：
[0008]一种吸热管热屏，所述热屏包括呈紧密排列的吸热管，所述吸热管内通有冷却剂，所述热屏通过吸热管的表面吸收热辐射热量，并将该热量传递给管内冷却剂并通过冷却剂的流动将热量带出。
[0009]所述吸热管包括外层螺旋吸热管、设置在所述外层螺旋吸热管所围空间内的内层螺旋吸热管和水平设置的底部吸热环；
[0010]所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管的底部分别与所述底部吸热环连通，且所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管的顶部分别具有连接口。
[0011]进步一地，所述外层螺旋吸热管外具有外侧壳体，且所述外侧壳体的侧壁与所述外层螺旋吸热管相匹配。
[0012]进步一地，所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管均为吸热管由上至下螺旋环绕形成，且所围成的形状均为圆台状，所述圆台的横截面由上至下依次减小，所述外层螺旋吸热管所围成的圆台的底部外径与所述底部吸热环外径相匹配。
[0013]进步一地，所述外层螺旋吸热管的所述连接口用于循环介质出口，所述内层螺旋吸热管的所述连接口用于循环介质入口。
[0014]进步一地，所述外层螺旋吸热管和所述内侧螺旋吸热管的顶部均竖直向上延伸。
[0015]进步一地，所述吸热管为耐高温金属管制成，如304不锈钢、钼板、合金类耐高温金属等。
[0016]较现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0017]通过采用吸热管阵列热屏取代原有的水冷壁结构热屏，大幅增加表面吸热面积与水的换热面积，提高水冷屏的散热能力，进一步强化单晶生长过程中的散热，进一步提高长晶速度的上限。是现有水冷屏技术的进一步发展。
[0018]基于上述理由本技术可在单晶硅生产等领域广泛推广。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术具体实施方式中一种吸热管热屏结构示意图。
[0021]图2为本技术具体实施方式中一种吸热管热屏半剖图。
[0022]图3为本技术具体实施方式中一种吸热管热屏去除外侧壳体结构示意图。
[0023]图4为本技术具体实施方式中一种吸热管热屏设置在直拉单晶生长炉中结构示意图。
具体实施方式
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0027]除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。同时，应当清楚，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员己知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任向具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、
竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制：方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
[0029]为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其位器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
[0030]此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸热管热屏，其特征在于，所述热屏包括呈紧密排列的吸热管，所述吸热管内通有冷却剂，所述热屏通过所述吸热管表面吸收热辐射；所述吸热管包括外层螺旋吸热管、设置在所述外层螺旋吸热管所围空间内的内层螺旋吸热管和水平设置的底部吸热环；所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管的底部分别与所述底部吸热环连通，且所述外层螺旋吸热管和所述内层螺旋吸热管的顶部分别具有连接口。2.根据权利要求1所述的一种吸热管热屏，其特征在于，所述外层螺旋吸热管外具有外侧壳体，且所述外侧壳体的侧壁与所述外层螺旋吸热管相匹配。3.根据权利要求1所述的一种吸热管热屏，其特征在于，所述外层螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利伟，李万朋，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：