芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置，在腐蚀液输送的圆形管道上的后端连接转接头，转接头的一个侧面是矩形面，矩形面上具有两排平行设置的多个细小的出液孔，每个出液孔上连接有锥形喷头。本实用新型专利技术采用化学腐蚀技术和机械切割技术相结合的组合技术，化学药剂的使用量较少，去除芯片毛刺的效率高。的效率高。的效率高。

【技术实现步骤摘要】
芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置


[0001]本技术涉及一种液体喷头的结构形状。

技术介绍

[0002]多只芯片与同一根铜质的引线框架键合以后，经过塑封和分切，成为一个个具有引脚的独立电子元件，这些电子元件的引脚在分切的时候容易产生毛刺，需要去除，通常机械去除毛刺的办法不适合精密的芯片使用，而普通的化学腐蚀采用酸性或碱性的溶液，去除毛刺的同时，会过量腐蚀电子元件的其它部位，导致外观或电性能的下降，引起次品率上升。
[0003]水刀，即以水为刀，本名高压水射流切割技术，这项技术最早起源于美国。用于航空航天军事工业。以其冷切割不会改变材料的物理化学性质而备受青睐。后经技术不断改进，在高压水中混入石榴砂、金刚砂等磨料辅助切割，极大的提高了水刀的切割速度和切割厚度。现在水刀已经广泛应用于陶瓷、石材、玻璃、金属、复合材料等众多行业。水切割是目前适用性较好的成熟切割工艺方法，但是在芯片的引线框架及其毛刺的切割去除中尚未使用。
[0004]申请号：201811622360X的铜质同步器齿环锻件毛坯冲模，包括：上模组件，包括上模外套环、套设在外套环内的上模飞边切除套管、套装在上模飞边切除套管内的打料棒、打料杆，上模飞边切除套的下端为阶梯管结构，外壁具有上模外飞边刃口，内壁具有上模内飞边刃口；压板，和上模外套环连接；该专利技术采用冲剪的机械方法去除毛刺，模具的费用较高，加工时噪音较大。
[0005]申请号：2016108126647专利技术公开了一种金属毛刺的去除方法和装置，所述金属毛刺的去除方法包括以下步骤：S1：提供金属电极以及高压脉冲电源；S2：将含有金属毛刺的待处理面接地并将所述金属电极与所述高压脉冲电源电连接；S3：将所述金属电极靠近所述待处理面的金属毛刺，以击穿位于所述金属毛刺处的空气以产生空气等离子体。该专利技术的高压电脉冲加工效率不够高，对尺寸较小的芯片工件困难。

技术实现思路

[0006]技术目的：
[0007]提供一种依靠化学腐蚀技术和机械切割技术相结合、去除毛刺效率高效果好的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置。
[0008]技术方案：
[0009]芯片毛边蚀刻机的流水线上依次具有水洗、酸洗、水洗、烘干等工序，在酸洗和水洗之间或者水洗之后还有碱洗、水洗的更多工序。
[0010]而本专利技术的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置采用下述特殊的结构、形状和连接方式：
[0011]在腐蚀液输送的圆形管道上的后端（腐蚀液流动方向）连接转接头的一个侧面（前
侧面）；转接头的另一个侧面（后侧面）是矩形面，矩形面上具有两排平行设置的多个细小的出液孔（两排出液孔的间距为去除毛刺后的芯片宽度，便于精确喷射腐蚀和切割芯片两侧的毛刺）；每个出液孔上连接有喷头，喷头为管径由粗变细的锥形喷头。通过转接头和喷头的传输，对芯片的毛刺进行化学腐蚀溶解。
[0012]将圆形管道通过具有矩形截面的转接头的转接，连接到两排平行设置的多个锥形喷头。
[0013]前端管路的外壁上还可设置伴热带，给管路中腐蚀液加热升温，获得芯片毛刺腐蚀需要的合适腐蚀液温度，通过管路上设置的温度计测定腐蚀液的温度，温度计的温度信号传送给控制器，控制器连接控制电热器（伴热带）的加热状态。
[0014]转接头的内腔截面面积大于圆形管路截面面积，使得腐蚀液暂时储放缓冲，通过两排多只管径细小的喷头均匀分配腐蚀液的流量，同时多只喷头的管径截面积小于圆形管路截面面积，使得其中液体的流速加快。
[0015]从多个喷头产生细小的高压高速液体射流，对芯片毛刺产生高速水流的机械切割作用，成为类似水刀切割的作用。
[0016]优选矩形面上除了长边方向（两侧）具有两排平行设置的多个细小的出液孔之外，在两侧的短边方向（两端）也分别具有平行排列的数个细小的出液孔（间距为芯片的长度），便于腐蚀切割芯片长度方向的另两个侧边的毛刺，使得芯片的四边的毛刺都被除去或者清洗干净。
[0017]如果芯片的形状比较复杂或者不规则，出液孔的排列形式可以做对应的设计变化。
[0018]有益效果：
[0019]本技术采用化学腐蚀技术和机械切割技术相结合的组合技术，化学药剂的使用量较少，节约成本和减少废液的后处理难度。去除毛刺效率高、效果好。在水洗、酸洗、碱洗工序中均可以采用这样的喷头，结合自动化控制器件和控制软件，能够大规模的去除加工芯片毛刺，而且切口边缘平整光滑，去除毛刺质量好，芯片的合格率高。通过加压加温的辅助工艺，能够更好地控制腐蚀液的腐蚀切割效率；后续的腐蚀液尾液能够通过固液分离，获得废铜渣回收，废液经过后处理后排放，回收无机盐，排放的废水不破坏环境。如加之采用电化学腐蚀的功能部件的使用，去除毛刺的效率更高。
附图说明
[0020]图1是本技术的一种纵向剖面结构示意图；
[0021]图2是图1中转接头的正面示意图。
[0022]图中，1
‑
圆形管道；2
‑
输送泵（增压泵）；3
‑
控制器；5
‑
温度计；6
‑
伴热带（电热器）；7
‑
转接头；8
‑
喷头；70
‑
出液孔（两侧）；71
‑
出液孔（两端）。
具体实施方式
[0023]如图1所示的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置，在腐蚀液输送的圆形管道1上后端连接转接头7的一个侧面，转接头7的另一个侧面是矩形面；如图2所示，矩形面长边方向上具有两排平行设置的多个细小的出液孔（两侧）70，在短边方向也具有两排平行排列的数
个细小的出液孔（两端）71；每个出液孔上连接有喷头8，喷头8为管径由粗变细的锥形喷头。
[0024]前端管路的外壁上设置伴热带，管路上设置的温度计5测定腐蚀液的温度，温度计5的温度信号传送给控制器3，控制器3连接控制电热器的加热状态。
[0025]圆形管道1的前端管路上连接有增压泵，管路上设置压力计，压力计的压力信号传送给控制器3，控制器3连接控制增压泵的加压状态。
[0026]转接头7的内腔截面面积大于圆形管路1截面面积，同时多只喷头8的管径截面积小于圆形管路1截面面积：喷头8的轴向截面的外侧边与转接头7的侧面成锐角，轴向截面的内测边垂直于转接头7的矩形平面。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置，其特征在于：在腐蚀液输送的圆形管道上后端连接转接头的一个侧面，转接头的另一个侧面是矩形面，矩形面上具有两排平行设置的多个细小的出液孔，每个出液孔上连接有喷头，喷头为管径由粗变细的锥形喷头。2.如权利要求1所述的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置，其特征在于：两排出液孔的间距为去除毛刺后的芯片宽度。3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王锦敏，孙一军，周毅锋，李超，
申请(专利权)人：新恒通江苏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：