片盒洁净度检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种片盒洁净度检测系统，包括片盒清洗机台、废水槽、液体颗粒检测仪、控制器和终端机；片盒清洗机台的废水排放口通过废水排放管路与废水槽内部连通；废水槽内部通过抽检管路与液体颗粒检测仪进口相连，抽检管路上连接有抽水泵，液体颗粒检测仪出口端通过废水排放管路与废水排放系统相连；废水槽内安装有液位传感器，用于检测废水槽中的水位信息；废水槽排水口通过废水排放管路与废水排放系统相连，废水槽与废水排放系统之间的废水排放管路上连接有排水阀；所述片盒清洗机台、液位传感器、排水阀、抽水泵、液体颗粒检测仪和终端机分别与控制器相连。本实用新型专利技术能够缩短工艺流程，减少工作量，实现片盒无损且全检，检测准确率高。准确率高。准确率高。

【技术实现步骤摘要】
片盒洁净度检测系统


[0001]本技术涉及一种检测系统，具体是一种片盒洁净度检测系统，属于片盒检测


技术介绍

[0002]随着国内半导体行业的不断发展，目前市场对于芯片的需求不断增加，而作为芯片制造的原材料——硅片，进几年在国家的扶持下其发展也越发迅猛。硅片的加工流程一般包括长晶、滚圆、线切、双面减薄、边缘倒角、表面腐蚀、热处理、抛光、清洗、外延、检测、包装等主要步骤。硅片在检测合格后就需要装入对的应片盒，并送至客户手中，因此,片盒能够直接影响硅片表面质量，针对其洁净度的把控至关重要。
[0003]目前现有的片盒清洗及检测流程为：将片盒放入对应清洗机台清洗，清洗完成后抽取部分片盒向内部注水，达到预期水量后停止注水，并震荡片盒令水与片盒内壁充分接触，使用颗粒量测机台量测水中颗粒状况，以达到检测片盒内部洁净度的目的。但是上述方案具有以下缺陷：
[0004]1.现有片盒因注水震荡的检测方式，故需额外采购相关片盒震荡设备，增加设备成本。
[0005]2.片盒清洗完成后，另需抽取片盒进行专门的量测，增加了工艺流程及复杂性。
[0006]3.现有方式检测后的片盒，因其内部存在水珠，故无法继续使用，需重新清洗，造成产能浪费，清洗成本的上升，增加了工作量。
[0007]4.因其破坏性的量测方式，故无法做到100％量测，而抽检的片盒本身可能存在的个体差异，又增加了一定程度的漏放风险。同样，因其注水震荡的检测方式，存在水流无法充分接触片盒内部而造成的内部死角风险，无法量测片盒外部而可能导致的片盒外部洁净度较差风险。
[0008]5.现有片盒注水震荡量测，因其注水、震荡、量测过程较为繁杂，易对量测结果造成干扰。

技术实现思路

[0009]针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种片盒洁净度检测系统，能够缩短工艺流程，减少工作量，实现片盒无损且全检，检测准确率高。
[0010]本技术一种片盒洁净度检测系统，包括片盒清洗机台、废水槽、液体颗粒检测仪、控制器和终端机；片盒清洗机台的废水排放口通过废水排放管路与废水槽内部连通；废水槽内部通过抽检管路与液体颗粒检测仪进口相连，抽检管路上连接有抽水泵，液体颗粒检测仪出口端通过废水排放管路与废水排放系统相连；
[0011]废水槽内安装有液位传感器，用于检测废水槽中的水位信息；废水槽排水口通过废水排放管路与废水排放系统相连，废水槽与废水排放系统之间的废水排放管路上连接有排水阀；所述片盒清洗机台、液位传感器、排水阀、抽水泵、液体颗粒检测仪和终端机分别与
控制器相连。
[0012]进一步，还包括流量控制阀，流量控制阀连接在抽水泵与液体颗粒检测仪之间的抽检管路上，流量控制阀用于控制进入液体颗粒检测仪中的水流量。
[0013]优选地，废水槽包括内槽和外槽，内槽设置在外槽内，且内槽与外槽共同限定出一个溢流空间，液位传感器置于内槽中，片盒清洗机台的废水排放口通过废水管路与内槽连通，内槽底部排水口通过管路与废水排放系统相连，排水阀连接在内槽与废水排放系统之间的废水排放管路上，溢流空间底部的排水口通过废水排放管路与废水排放系统相连。
[0014]优选地，废水槽侧壁上部开设溢流孔，溢流孔通过溢流管路与废水排放系统相连。
[0015]上述废水槽内废水溢流处理的两种方案，有效地防止了废水槽内的废水直接溢流至废水槽外部，从而对废水槽周边的环境造成污染，较好的保护了环境。
[0016]优选地，废水槽上部敞开设置，便于观察废水槽内部的情况，同时便于清洗废水槽，所述抽检管路的进口位于废水槽内底部位置，便于抽水泵抽取足够多的废水送至液体颗粒检测仪进行颗粒检测。
[0017]进一步，还包括与终端机相连的信号接收模块，与控制器相连的信号发送模块，安装在片盒上的电子标签以及用于采集电子标签中ID编号的扫描仪，信号发送模块和信号接收模块通过无线或有线信号相连。增加信号接收模块和信号发送模块实现了将片盒ID编号及其对应的检测结果远程传送至终端机，即使工作人员不在操作车间，也可通过传送至终端机上的数据查看清洗后的片盒洁净度的情况。
[0018]优选地，电子标签为RFID射频标签，扫描仪为RFID阅读器，或者电子标签为条形码，扫描仪为条形码扫描器。
[0019]优选地，终端机为平板电脑、笔记本电脑、台式机或手机。
[0020]优选地，控制器为STM32系列单片机。
[0021]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0022]1)本技术通过检测片盒清洗最后几分钟的废水中的颗粒来检测片盒的清洁度，无需再专门购置片盒震荡仪对片盒进行量测，减少了相关量测设备的购置，节约了设备成本，从而降低了企业的生产成本。
[0023]2)本技术由现有的清洗后对片盒的清洁度进行量测，变更为清洗时量测片盒清洗机台最后几分钟的废水，减少了工艺步骤，缩短了工艺流程，从而节省了人力成本，减低了企业的生产成本。
[0024]3)本技术由现有的清洗后需抽取部分片盒量测，变更为清洗时量测片盒清洗机台最后几分钟的废水，减少了片盒的损耗，从而增加了产能，减少了工作量，提高了工作效率。
[0025]4)本技术提高了片盒检出率，由现有的抽检部分片盒量测，变更为每组清洗片盒废水均量测，即由抽检变更为全检，提高了检出率，减少了因检出率较低而产生的异常片盒后流。另一方面，由现有仅量测片盒内部改善为量测清洗片盒所产生废水，实现了对片盒内外部全部检测的目的，提高了片盒外部洁净度异常检出率。
[0026]5)本技术提高了制程稳定性，由现有的片盒注水震荡量测方式，变更为清洗时量测机台废水，规避了注水、震荡过程对量测结果的干扰，增加了检测结果稳定性，检测结果更加准确。
附图说明
[0027]图1是本技术一实施例结构示意图；
[0028]图2是本技术一实施例结构示意图；
[0029]图3是本技术一实施例结构示意图；
[0030]图4是本技术一实施例结构示意图；
[0031]图5是本技术一实施例电原理框图；
[0032]图6是本技术一实施例电原理框图。
[0033]图中：1.片盒清洗机台，2.废水排放管路，3.废水槽，31.外槽，32.内槽，33.溢流空间，4.排水阀，5.废水排放系统，6.液位传感器，7.抽水泵，8.抽检管路，9.流量控制阀，10.液体颗粒检测仪，12.溢流管路。
具体实施方式
[0034]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0035]如图1和图5所示，本技术一种片盒洁净度检测系统，包括
[0036]片盒清洗机台1，用于清洗片盒；
[0037]废水槽3，用于盛放片盒清洗机台1排放的废水，片盒清洗机台1的废水排放口通过废水排放管路2与废水槽3内部连通；废水槽3内安装有液位传感器6，用于检测废水槽3内的水位信息；废水槽3底部排水口通过废水排放管路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片盒洁净度检测系统，其特征在于，包括片盒清洗机台、废水槽、液体颗粒检测仪、控制器和终端机；片盒清洗机台的废水排放口通过废水排放管路与废水槽内部连通；废水槽内部通过抽检管路与液体颗粒检测仪进口相连，抽检管路上连接有抽水泵，液体颗粒检测仪出口端通过废水排放管路与废水排放系统相连；废水槽内安装有液位传感器，废水槽排水口通过废水排放管路与废水排放系统相连，废水槽与废水排放系统之间的废水排放管路上连接有排水阀；所述片盒清洗机台、液位传感器、排水阀、抽水泵、液体颗粒检测仪和终端机分别与控制器相连。2.根据权利要求1所述的一种片盒洁净度检测系统，其特征在于，还包括流量控制阀，流量控制阀连接在抽水泵与液体颗粒检测仪之间的抽检管路上。3.根据权利要求2所述的一种片盒洁净度检测系统，其特征在于，废水槽包括内槽和外槽，内槽设置在外槽内，且内槽与外槽共同限定出一个溢流空间，液位传感器置于内槽中，片盒清洗机台的废水排放口通过废水管路与内槽连通，内槽底部排水口通过管路与废水排放系统相连，排水阀连接在内槽与废水排放系统之间的废水排放管路上，溢...

【专利技术属性】
技术研发人员：李迎辉，徐晨歌，翟浩天，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：