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样品分析方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:33407328 阅读:15 留言:0更新日期:2022-05-11 23:31
本发明专利技术属于物质检测技术领域,公开了一种样品分析方法、装置、设备及存储介质。该方法包括:根据获取到的X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量;根据相对原子百分含量确定目标元素对应的综合灵敏度因子;根据获取到的反射电子能量损失谱图确定目标元素的非弹性损失峰总面积和氢元素的弹性损失峰面积;基于目标元素的综合灵敏度因子、该非弹性损失峰总面积、氢元素的灵敏度因子以及该弹性损失峰面积确定待测试样品对应的氢元素含量;根据氢元素含量对待测试样品进行样品分析。通过上述方式,利用XPS谱图和REELS谱图结合分析,准确测定待测试样品中的氢元素含量,进一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析结果的准确性。的准确性。的准确性。

【技术实现步骤摘要】
样品分析方法、装置、设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及物质检测
,尤其涉及一种样品分析方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]由于氢(H)元素含量会显著影响聚合物薄膜材料性能,包括水解性能、耐老化性能、耐热性能、强度、热稳定性、燃烧性能等,因此H元素相对含量的准确测定在聚合物薄膜材料研究中非常重要。X射线光电子能谱仪(XPS)无法测量材料表面的H元素含量,而REELS测试中由于H元素对应的灵敏度因子极小,实际测试谱图中H元素引起的损失峰相对H元素以外其余元素产生的弹性损失峰较弱,常规数据处理操作易导致H元素引起的损失峰的错误拟合结果,进而掩盖H元素引起的损失峰信号,无法准确测定聚合物薄膜材料中H元素含量,导致聚合物薄膜材料的性能分析结果不准确。
[0003]上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案,并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种样品分析方法、装置、设备及存储介质,旨在解决无法准确测定聚合物薄膜材料中氢元素含量,导致聚合物薄膜材料的性能分析结果不准确的技术问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供了一种样品分析方法,所述方法包括以下步骤:获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图;根据所述X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量,其中,所述目标元素为所述待测试样品中除氢元素外的其他元素;根据所述相对原子百分含量确定所述目标元素对应的综合灵敏度因子;根据所述反射电子能量损失谱图确定所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积,并根据所述反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积;基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量;根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。
[0006]可选地,所述基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量,包括:基于所述综合灵敏度因子对所述目标非弹性损失峰总面积进行修正,得到修正后的目标非弹性损失峰总面积;基于氢元素对应的灵敏度因子对所述弹性损失峰面积进行修正,得到修正后的弹
性损失峰面积;根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量。
[0007]可选地,所述根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量之后,所述方法还包括:根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述目标元素对应的相对含量;根据所述目标元素对应的相对含量和所述相对原子百分含量确定所述待测试样品中除氢元素外的其他元素分别对应的元素含量;根据所述元素含量对所述待测试样品进行样品分析。
[0008]可选地,所述根据所述反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积,包括:利用预设谱峰强度范围对所述反射电子能量损失谱图进行放大;利用预设能量范围从放大处理后的所述反射电子能量损失谱图中截取目标曲线;对所述目标曲线进行拟合,得到氢元素对应的弹性损失峰面积。
[0009]可选地,所述根据所述反射电子能量损失谱图确定所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积,包括:根据所述反射电子能量损失谱图确定全部元素对应的总面积;将所述总面积作为所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积。
[0010]可选地,所述根据所述相对原子百分含量确定所述目标元素对应的综合灵敏度因子,包括:获取所述目标元素对应的灵敏度因子;根据所述相对原子百分含量和所述目标元素对应的灵敏度因子确定所述目标元素对应的综合灵敏度因子。
[0011]可选地,所述根据所述X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量,包括:对所述X射线光电子能谱图进行分析,确定多个波峰位置;基于所述多个波峰位置分别对应的能量确定所述待测试样品包含的目标元素;对所述X射线光电子能谱图中所述目标元素对应的曲线段进行背底扣除、分峰拟合,确定目标元素对应的相对原子百分含量。
[0012]此外,为实现上述目的,本专利技术还提出一种样品分析装置,所述样品分析装置包括:获取模块,用于获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图;第一谱图分析模块,用于根据所述X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量,其中,所述目标元素为所述待测试样品中除氢元素外的其他元素;确定模块,用于根据所述相对原子百分含量确定所述目标元素对应的综合灵敏度因子;第二谱图分析模块,用于根据所述反射电子能量损失谱图确定所述目标元素对应
的非弹性损失峰总面积,并根据所述反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积;含量确定模块,用于基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量;样品分析模块,用于根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。
[0013]此外,为实现上述目的,本专利技术还提出一种样品分析设备,所述样品分析设备包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的样品分析程序,所述样品分析程序配置为实现如上文所述的样品分析方法。
[0014]此外,为实现上述目的,本专利技术还提出一种存储介质,所述存储介质上存储有样品分析程序,所述样品分析程序被处理器执行时实现如上文所述的样品分析方法。
[0015]本专利技术通过获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图;根据X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量,其中,目标元素为待测试样品中除氢元素外的其他元素;根据相对原子百分含量确定目标元素对应的综合灵敏度因子;根据反射电子能量损失谱图确定目标元素对应的非弹性损失峰总面积,并根据反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积;基于目标元素对应的综合灵敏度因子、目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及氢元素对应的弹性损失峰面积确定待测试样品对应的氢元素含量;根据氢元素含量对待测试样品进行样品分析。通过上述方式,利用XPS谱图和REELS谱图结合分析,准确测定待测试样品表面的氢元素含量,有效避免样品表面不均匀而引起数据结果偏离样品本征表面信息的现象,进一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析结果的准确性,有利于储氢材料或高分子聚合物的元素含量测定及其功能化表面改性研究。
附图说明
[0016]图1是本专利技术实施例方案涉及的硬件运行环境的样品分析设备的结构示意图;图2为本专利技术样品分析方法第一实施例的流程示意图;图3为本专利技术样品分析方法一实施例的PET材料表面C元素、O元素谱图示意图;图4为本专利技术样品分析方法一实施例的PET材料的REELS谱图第一示意图;图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品分析方法,其特征在于,所述样品分析方法包括:获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图;根据所述X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量,其中,所述目标元素为所述待测试样品中除氢元素外的其他元素;根据所述相对原子百分含量确定所述目标元素对应的综合灵敏度因子;根据所述反射电子能量损失谱图确定所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积,并根据所述反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积;基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量;根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。2.如权利要求1所述的样品分析方法,其特征在于,所述基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量,包括:基于所述综合灵敏度因子对所述非弹性损失峰总面积进行修正,得到修正后的目标非弹性损失峰总面积;基于氢元素对应的灵敏度因子对所述弹性损失峰面积进行修正,得到修正后的弹性损失峰面积;根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量。3.如权利要求2所述的样品分析方法,其特征在于,所述根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量之后,所述方法还包括:根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述目标元素对应的相对含量;根据所述目标元素对应的相对含量和所述相对原子百分含量确定所述待测试样品中除氢元素外的其他元素分别对应的元素含量;根据所述元素含量对所述待测试样品进行样品分析。4.如权利要求1所述的样品分析方法,其特征在于,所述根据所述反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积,包括:利用预设谱峰强度范围对所述反射电子能量损失谱图进行放大;利用预设能量范围从放大处理后的所述反射电子能量损失谱图中截取目标曲线;对所述目标曲线进行拟合,得到氢元素对应的弹性损失峰面积。5.如权利要求1所述的样品分析方...

【专利技术属性】
技术研发人员:范燕谭军姜传斌罗明生马永会刘海全冯松浩黄玲李穗敏
申请(专利权)人:季华实验室
类型:发明
国别省市:

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