一种回吸阀安装结构和方法技术

本发明专利技术公开了一种回吸阀安装结构和方法，所述回吸阀安装结构包括：安装面板，所述回吸阀设于所述安装面板；至少一个安装单元，所述安装单元设于所述安装面板，所述安装单元包括：第一限位件，所述第一限位件设于所述安装面板，并限位于所述回吸阀的第一侧面；第二限位件，所述第二限位件设于所述安装面板，并限位于所述回吸阀的第二侧面，所述第一侧面所在平面和所述第二侧面所在平面交叉；盖板组件，覆盖所述回吸阀顶部，所述盖板组件可拆卸连接所述第一限位件、所述第二限位件和所述安装面板中的至少一者，将所述回吸阀压紧在所述安装面板。本发明专利技术解决了回吸阀所处的安装空间有限，难以拆卸回吸阀的所有固定件，难以更换回吸阀的问题。吸阀的问题。吸阀的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种回吸阀安装结构和方法


[0001]本专利技术涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种回吸阀安装结构和方法。

技术介绍

[0002]回吸阀是能够通过负压回吸的方式控制液体，进行灌注、涂抹、喷淋等工艺的设备。而在半导体行业的晶圆的匀胶工艺过程中，回吸阀通过电控，实现可用于胶嘴清洗等工序。
[0003]目前，回吸阀通过固定件安装至安装面板上，回吸阀和安装面板一同放入匀胶显影设备中进行管路的连接，但是匀胶显影设备的安装空间有限，在匀胶显影设备的安装空间内无法进行所有固定件的拆卸和锁定，因此无法直接进行回吸阀的更换和固定。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术提供一种回吸阀安装结构和方法，有效解决回吸阀所处的安装空间有限，难以拆卸回吸阀的所有固定件，难以更换回吸阀的问题。
[0005]一方面，本专利技术提供一种回吸阀安装结构，包括：安装面板，所述回吸阀设于所述安装面板；至少一个安装单元，所述安装单元设于所述安装面板，用于安装所述回吸阀，所述安装单元包括：第一限位件，所述第一限位件设于所述安装面板，并限位于所述回吸阀的第一侧面；第二限位件，所述第二限位件设于所述安装面板，并限位于所述回吸阀的第二侧面，所述第一侧面所在平面和所述第二侧面所在平面交叉；盖板组件，所述盖板组件覆盖所述回吸阀顶部，所述盖板组件可拆卸连接所述第一限位件、所述第二限位件和所述安装面板中的至少一者，所述盖板组件将所述回吸阀压紧在所述安装面板。
[0006]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一限位件和所述第二限位件能够对所述回吸阀的水平位置进行限定，避免所述回吸阀横向松动，从而提高管路的稳定性；所述盖板组件压紧所述回吸阀，进一步提高所述回吸阀的稳定性；其中，所述盖板组件可以与所述第一限位件、所述第二限位件或所述安装面板连接，而拆卸回吸阀时，只需松开所述盖板组件与其他部件的连接，并取下所述盖板组件，即可进行所述回吸阀的拆卸和更换，再次安装所述回吸阀时，只需固定所述盖板组件，因此提高了所述回吸阀的拆装效率，便于所述回吸阀的维修和更换。
[0007]进一步的，所述盖板组件包括：盖板，所述盖板可拆卸连接所述回吸阀顶部；第一挡板和/或第二挡板，所述第一挡板设于第一侧面，并且所述第一挡板可拆卸连接所述第一限位件，所述第二挡板设于第二侧面，并且所述第二挡板可拆卸连接所述第二限位件。
[0008]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一挡板用于进一步对所述回吸阀的第一侧面进行限位，设置所述第一挡板后，所述第一限位件的纵向尺寸无需过高，所述第一限位件和所述第一挡板连接后即可稳定限位所述第一侧面；同样的，所述第二挡板用于进一步对所述回吸阀的第二侧面进行限位，设置所述第二挡板后，所述第二限位件的纵向尺寸无需过高，所述第二限位件和所述第二挡板连接后即可稳定限位所述第二侧面。
[0009]进一步的，所述第一挡板和所述第二挡板相互连接，并且所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者与所述盖板连接；或者，所述第一挡板和所述第二挡板分离，所述第一挡板和所述第二挡板均连接所述盖板。
[0010]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述盖板与所述第一挡板、所述第二挡板中的至少一者连接后，结合所述第一挡板连接所述第一限位件，所述第二挡板连接所述第二限位件，实现了所述盖板的固定；所述第一挡板和所述第二挡板连接后，进一步提高所述盖板的稳定性；此时所述盖板与所述回吸阀顶部通过紧固件连接，即可实现所述回吸阀的固定。
[0011]进一步的，所述回吸阀包括：电控装置、电缆和第一接口，所述电缆和所述第一接口位于所述电控装置的侧面；所述第一挡板位于所述电控装置相对所述电缆的另一侧，并且所述第一挡板包括第一避让位，所述第一避让位用于避让所述第一接口。
[0012]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一挡板对所述回吸阀的第一侧面进行限位后，只要所述盖板压紧所述回吸阀，所述回吸阀相对所述第一侧面的另一侧面无需再进行限位；而所述回吸阀远离所述电缆的一侧能够提供更大的接触面积，便于所述第一挡板进行限位；所述第一避让位便于所述第一接口伸出，并与对应的管路连接，同时，所述第一接口与对应的管路进行连接或拆分时，所述第一避让位能够提供更大的操作空间。
[0013]进一步的，所述回吸阀包括：阀体和第二接口，所述第二接口位于所述阀体相对的两侧；所述第二挡板位于所述第二接口相邻的一侧，所述第二挡板包括第二避让位用于避让第二接口。
[0014]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第二接口相邻的一侧，便于所述第二挡板进行限位；所述第二挡板能够以垂直所述第一挡板的方向同时对所述阀体和所述电控装置进行限位，进一步提高所述回吸阀的稳定性；所述第二避让位在所述第二接口侧面，为所述第二接口的拆装提供更大操作空间。
[0015]进一步的，所述第一限位件包括：第一限位板和第一固定板，所述第一限位板朝向所述第一侧面，所述第一固定板连接所述安装面板；和/或，所述第二限位件包括：第二限位板和第二固定板，所述第二限位板朝向所述第二侧面，所述第二固定板连接所述安装面板。
[0016]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一固定板用于将所述第一限位件固定于所述安装面板，所述第二固定板用于将所述第二限位件固定至所述安装面板；所述第一限位板远离所述第一固定板的一侧，以及所述第二限位板远离所述第二固定板的一侧，形成用于容纳所述回吸阀的安装空间；在所述回吸阀的拆装过程中，回吸阀沿所述第一限位板和所述第二限位板竖直移动即可取放，无需取下所述第一限位件和所述第二限位件，因此拆装方便。
[0017]进一步的，所述第一限位板包括第一固定孔，所述第一挡板包括第一通孔，所述第一固定孔和所述第一通孔通过第一紧固件连接；和/或，所述第二限位板包括第二固定孔，所述第二挡板包括第二通孔，所述第二固定孔和所述第二通孔通过第二紧固件连接。
[0018]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一固定孔和所述第一通孔实现了所述第一挡板和所述第一限位板的快速固定；所述第二固定孔和所述第二通孔实现了所述第二挡板和所述第二限位板的快速固定；同时，保证了第一挡板和所述第一限位板均处于竖直状态。
[0019]进一步的，所述第一固定孔和所述第二固定孔均设有竖直向上的开口。
[0020]采用该技术方案后所达到的技术效果：拆卸所述回吸阀之前，无需取下所述第一紧固件和所述第二紧固件，所述第一紧固件和所述第二紧固件处于放松状态，所述盖板、所述第一挡板、所述第二挡板能够向上取出，所述第一紧固件和所述第二紧固件随之向上移动，从所述开口脱离所述第一固定孔和所述第二固定孔。
[0021]进一步的，多个所述安装单元沿所述第一限位件长度方向设置形成一列安装模组，所述安装模组中的相邻所述安装单元之间形成第一容纳空间。
[0022]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述安装单元以多列排布的形式安装于所述安装面板，能够提高空间利用率；所述第一容纳空间用于容纳相邻的所述安装模组的所述电缆，即相邻的所述安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种回吸阀安装结构，其特征在于，包括：安装面板，所述回吸阀设于所述安装面板；至少一个安装单元，所述安装单元设于所述安装面板，用于安装所述回吸阀，所述安装单元包括：第一限位件，所述第一限位件设于所述安装面板，并限位于所述回吸阀的第一侧面；第二限位件，所述第二限位件设于所述安装面板，并限位于所述回吸阀的第二侧面，所述第一侧面所在平面和所述第二侧面所在平面交叉；盖板组件，所述盖板组件覆盖所述回吸阀顶部，所述盖板组件可拆卸连接所述第一限位件、所述第二限位件和所述安装面板中的至少一者，所述盖板组件将所述回吸阀压紧在所述安装面板。2.根据权利要求1所述的回吸阀安装结构，其特征在于，所述盖板组件包括：盖板，所述盖板可拆卸连接所述回吸阀顶部；第一挡板和/或第二挡板，所述第一挡板设于第一侧面，并且所述第一挡板可拆卸连接所述第一限位件，所述第二挡板设于第二侧面，并且所述第二挡板可拆卸连接所述第二限位件。3.根据权利要求2所述的回吸阀安装结构，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板相互连接，并且所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者与所述盖板连接；或者，所述第一挡板和所述第二挡板分离，所述第一挡板和所述第二挡板均连接所述盖板。4.根据权利要求2
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3任一项所述的回吸阀安装结构，其特征在于，所述回吸阀包括：电控装置、电缆和第一接口，所述电缆和所述第一接口位于所述电控装置的侧面；所述第一挡板位于所述电控装置相对所述电缆的另一侧，并且所述第一挡板包括第一避让位，所述第一避让位用于避让所述第一接口。5.根据权利要求2
‑
3任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘长伟，耿克涛，姜岩松，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：