本申请实施例公开了一种压覆装置，包括：按压体，按压体包括用于对待按压件进行按压的按压面以及按压弧面，按压弧面位于按压体的侧部，且所述按压弧面的一切面与按压面在同一平面内。本申请实施例在压覆装置中设置按压弧面，当压覆装置在使用时，按压弧面接触并挤压待按压件的气泡凸起处，弧面对待按压件的刮蹭损伤较小，可以减少压覆装置对待按压件的损伤。伤。伤。
【技术实现步骤摘要】
一种压覆装置
[0001]本申请涉及到压覆设备技术，具体为一种压覆装置。
技术介绍
[0002]在对晶圆进行化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)的过程中需要更换研磨垫，更换研磨垫后，研磨垫与承载台之间容易出现气泡，导致在研磨垫上形成气泡凸起。
技术实现思路
[0003]本技术提供一种压覆装置，在压覆装置挤压待按压件的气泡凸起处时能够减小对待按压件的损伤。
[0004]具体的，本申请提供一种压覆装置，包括：
[0005]按压体，所述按压体包括用于对待按压件进行按压的按压面以及按压弧面，所述按压弧面位于所述按压体的侧部，且所述按压弧面的一切面与所述按压面在同一平面内。
[0006]在本申请一些实施例中，所述按压体包括：
[0007]主体，所述按压面设置于所述主体上；
[0008]压筒，所述压筒位于所述主体的侧部，且所述压筒绕其轴向与所述主体转动连接，所述压筒的轴向与所述按压面平行，所述按压弧面设置于所述压筒上。
[0009]基于上述实施例，所述压筒在挤压所述待按压件的气泡凸起处时，所述压筒可以绕其轴向转动，减小了所述压筒与所述待按压件发生相对移动时的摩擦力。所述压筒的按压弧面接触并挤压气泡凸起处，弧面对所述待按压件的气泡凸起处的刮蹭损伤较小，故可以减少对所述待按压件的损伤。
[0010]在本申请一些实施例中，所述主体包括靠近所述压筒的第一侧面，所述压筒的轴向与所述第一侧面平行。
[0011]基于上述实施例，所述压筒挤压气泡凸起处后，若是气泡凸起未被完全消除，此时所述主体以所述第一侧面为前端平面移动并接触挤压气泡凸起，可以防止所述待按压件的大气泡凸起被所述主体的边角碾成小气泡凸起分散乱窜。
[0012]在本申请一些实施例中，所述第一侧面沿所述压筒的轴向的长度大于或等于所述压筒的长度。
[0013]基于上述实施例，在所述待按压件上能被所述压筒完全挤压到的气泡凸起处，也能被所述主体完全挤压到，使得当气泡凸起在被所述压筒挤压过后未被完全消除时，所述主体能够完全消除气泡凸起，从而提高了挤压消除气泡凸起的效率。
[0014]在本申请一些实施例中，所述第一侧面上开设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的轴向与所述压筒的轴向平行，所述压筒的部分容纳在所述弧形凹槽中。
[0015]基于上述实施例，所述弧形凹槽挡住了所述压筒的一部分，可以防止所述压筒在挤压所述待按压件时与所述主体发生相对移动，便于所述压筒与所述主体更稳定的同步运
动。
[0016]在本申请一些实施例中，所述压筒包括远离所述按压弧面的第一弧面，所述第一弧面容纳在所述弧形凹槽中。
[0017]基于上述实施例，所述弧形凹槽挡住所述第一弧面，当所述压筒在挤压所述待按压件时，所述弧形凹槽可以防止所述压筒向远离所述待按压件的方向滑动，从而使所述压筒紧贴所述待按压件，可以有效挤压消除气泡凸起。
[0018]在本申请一些实施例中，所述主体的周侧面与所述按压面的连接部分具有第二弧面。
[0019]基于上述实施例，所述按压面在刚接触挤压到气泡凸起处时，所述按压面靠近气泡凸起处的一端会小幅度翘起，此时所述按压面远离气泡凸起的一端会抵接所述待按压件，而与所述待按压件抵接的是所述第二弧面，弧面对所述待按压件的刮蹭损伤较小，可以减少对所述待按压件的损伤。
[0020]在本申请一些实施例中，所述按压体上设置有握持部，所述按压体还包括与所述按压面背向设置的第二侧面，所述握持部位于所述第二侧面远离所述按压面的一侧。
[0021]基于上述实施例，设置所述握持部使压覆装置的使用更方便、稳定。
[0022]在本申请一些实施例中，所述按压面的形状呈方形。
[0023]基于上述实施例，压覆装置中的所述按压体在移动挤压所述待按压件时，可以以平面前端向前移动推进，增大了所述按压体挤压气泡凸起时的接触面积，可以防止所述按压体的边角将所述待按压件的大气泡凸起碾成小气泡凸起分散乱窜，提高了挤压消除气泡凸起的效率。
[0024]在本申请一些实施例中，所述压筒包括硬质支撑部以及套接在所述硬质支撑部上的软质按压部。
[0025]基于上述实施例，所述压筒在挤压所述待按压件的气泡凸起处时，所述软质按压部接触并挤压所述待按压件，所述软质按压部可以减少对所述待按压件的损伤。
[0026]本申请的有益效果为：
[0027]本申请的所述按压体上的所述按压弧面，通过所述按压弧面接触并挤压所述待按压件的气泡凸起处，可以更平缓的压出气泡凸起。而弧面对所述待按压件的刮蹭损伤较小，故可以减少压覆装置对所述待按压件的损伤。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1是本技术一实施例中压覆装置的第一视角的结构示意图；
[0030]图2是本技术一实施例中压覆装置的压筒的结构示意图；
[0031]图3是本技术一实施例中压覆装置的第二视角的结构示意图。
[0032]附图标记：
[0033]1.按压体；101.按压面；102.按压弧面；103.第二侧面；11.主体；111.第一侧面；
111a.弧形凹槽；112.第二弧面；12.压筒；121.第一弧面；122.硬质支撑部；123.软质按压部；2.握持部；3.待按压件。
具体实施方式
[0034]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图来进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0035]对晶圆进行化学机械抛光时需要用到研磨垫，在更换研磨垫的过程中，研磨垫与承载台之间容易出现气泡，导致在研磨垫上形成气泡凸起，因此需要使用压覆装置来挤压消除研磨垫上的气泡凸起，以保证研磨垫的平坦化。
[0036]在相关技术中，压覆装置存在一定的弊端，使用压覆装置来挤压消除气泡凸起时，压覆装置的边角容易刮蹭研磨垫的气泡凸起处，导致研磨垫损伤。
[0037]本申请提供一种压覆装置，在压覆装置挤压待按压件的气泡凸起处时能够减小对待按压件的损伤。
[0038]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0039]压覆装置，包括：按压体1。
[0040]具体的，所述按压体1包括用于对待按压件3进行按压的按压面101以及按压弧面102，所述按压弧面102位于所述按压体1的侧部，且所述按压弧面102的一切面与所述按压面101在同一平面内。
[0041]参考图1，具体的，所述按压面101为所述按压体1与所述待按压件3接触的平面；所述待按本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压覆装置，其特征在于，包括：按压体，所述按压体包括用于对待按压件进行按压的按压面以及按压弧面，所述按压弧面位于所述按压体的侧部，且所述按压弧面的一切面与所述按压面在同一平面内。2.根据权利要求1所述的压覆装置，其特征在于，所述按压体包括：主体，所述按压面设置于所述主体上；压筒，所述压筒位于所述主体的侧部，且所述压筒绕其轴向与所述主体转动连接，所述压筒的轴向与所述按压面平行，所述按压弧面设置于所述压筒上。3.根据权利要求2所述的压覆装置，其特征在于，所述主体包括靠近所述压筒的第一侧面，所述压筒的轴向与所述第一侧面平行。4.根据权利要求3所述的压覆装置，其特征在于，所述第一侧面沿所述压筒的轴向的长度大于或等于所述压筒的长度。5.根据权利要求3所述的压覆装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：田宇石，代宇盛，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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