利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备制造技术

本实用新型专利技术提供了利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备，涉及真空组件领域。该利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，一级腔体和二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，一级腔体和管道腔体的接触面具有间隙，一级腔体靠近于二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，一级腔体设置有抽气腔体，氮气管道与氮气环通槽连通，氮气环通槽通过间隙与抽气腔体连通。其通过在一级腔体上开设氮气环通槽，并将氮气由外部通入氮气环通槽内，并利用干式真空泵本身的余热给氮气加热，达到使最终通入泵腔的氮气拥有较高的温度，无需外加热源给氮气加热，有效降低了整个工厂的用电量，降低成本。低成本。低成本。

【技术实现步骤摘要】
利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备


[0001]本技术涉及真空组件领域，具体而言，涉及利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备。

技术介绍

[0002]随着经济的发展，社会的进步，光伏半导体行业的兴起，国内对干式真空泵的需求量日益增加；为应对光伏和半导体生产工艺经常出现的腐蚀性气体和粉尘，通常在干式真空泵的抽气腔体内通入一定的氮气，用于稀释和吹扫腐蚀性气体和粉尘，避免腔体和转子腐蚀。
[0003]但现有的技术通常通入的氮气是常温氮气，而泵腔的温度较高，如果通入常温的氮气会降低泵腔内所抽气体的温度，使所抽气体和粉尘在泵腔内凝结，造成更加严重的腐蚀，以及造成腔体堵塞，影响抽真空，增加泵的维修成本。市场上现有存在的给氮气加热的干式真空泵，但都是利于电阻丝或外加热源给氮气加热，会消耗额外的功率，增加整个工厂的用电量，增加成本且不利于碳中和。
[0004]鉴于此，特提出本申请。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备，其能够利用干式真空泵本身的余热给氮气加热，达到使最终通入泵腔的氮气拥有较高的温度。
[0006]本技术的实施例是这样实现的：
[0007]第一方面，本技术提供一种利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，所述一级腔体和所述二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，所述一级腔体和所述二级腔体的接触面具有间隙，所述一级腔体靠近于所述二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，所述一级腔体设置有抽气腔体，所述氮气管道与所述氮气环通槽连通，所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。
[0008]在可选的实施方式中，所述一级腔体或所述二级腔体内设置有进气通道，所述一级腔体靠近于所述二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，所述进气通道的一端与所述氮气管道连通，另一端与所述氮气环通槽连通，所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。
[0009]在可选的实施方式中，所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有密封圈和圈槽，所述密封圈容纳于所述圈槽内，所述圈槽设置于所述氮气环通槽的外侧。
[0010]在可选的实施方式中，所述进气通道包括竖直通道和水平通道，所述竖直通道的一端与所述氮气管道连通，另一端与所述水平通道的一端连通，所述水平通道远离所述竖直通道的一端与所述氮气环通槽连通。
[0011]在可选的实施方式中，所述氮气管道设置有氮气接头，所述氮气接头插设于所述
二级腔体内且与所述竖直通道连通，所述氮气接头远离所述进气通道的一端与所述氮气管道连通。
[0012]在可选的实施方式中，所述一级腔体和所述二级腔体之间通过螺栓连接。
[0013]在可选的实施方式中，所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有定位销。
[0014]第二方面，本技术提供一种光伏半导体生产系统，其包括如前述实施方式任一项所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵。
[0015]本技术实施例的有益效果是：
[0016]本申请提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其通过在一级腔体上开设氮气环通槽，并将氮气由外部通入氮气环通槽内，而非直接通入抽气腔体内，本申请中氮气环通槽的设置可以使氮气进入真空泵后延长氮气进入抽气腔体的时间，并随着真空泵的运行，利用真空泵自身产生的热量而对氮气环通槽内的氮气进行加热，经加热后的氮气再进入抽气腔体内，可以保证进入抽气腔体内的氮气为高温氮气，有效避免了常温氮气降低真空泵的抽气腔体内所抽气体的温度，进而避免所抽气体和粉尘在真空泵的抽气腔体内凝结而出现腐蚀的情况，提高了真空泵的使用寿命。此外，本申请直接利用真空泵运行时的余热对氮气进行加热，无需外加热源给氮气加热，因此无需消耗额外的功率，有效降低了整个工厂的用电量，降低成本。进一步地，本技术提供的光伏半导体设备通过自身余热加热氮气的干式真空泵可以实现无需外部热源即可实现对氮气进行加热，有利于减少工厂用电量。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本技术实施例提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵的一级腔体的结构示意图。
[0020]图标：100
‑
利用自身余热加热氮气的干式真空泵；110
‑
一级腔体；111
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间隙；112
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抽气腔体；113
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氮气环通槽；114
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圈槽；120
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二级腔体；121
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进气通道；122
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竖直通道；123
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水平通道；130
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氮气管道；131
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氮气接头。
具体实施方式
[0021]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0022]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的
实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0026]在本技术的描述中，还需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，所述一级腔体和所述二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，所述一级腔体和所述二级腔体的接触面具有间隙，所述一级腔体靠近于所述二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，所述一级腔体设置有抽气腔体，所述氮气管道与所述氮气环通槽连通，所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。2.根据权利要求1所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述一级腔体或所述二级腔体内设置有进气通道，所述进气通道的一端与所述氮气管道连通，另一端与所述氮气环通槽连通，所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。3.根据权利要求2所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有密封圈和圈槽，所述密封圈容纳于所述圈槽内，所述圈槽设置于所述氮气环通槽的外侧。4.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周阳，沈文武，何建修，周贤忠，
申请(专利权)人：四川莱斯特真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：