一种快速清洗的真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术适用于真空镀膜设备技术领域，提供了一种快速清洗的真空镀膜设备，包括：本体，所述本体上设有驱动组件，所述驱动组件活动连接有弧形轮，所述弧形轮活动连接有活塞组件，所述活塞组件连通有水箱和喷头；连接组件，所述连接组件与所述驱动组件活动连接，所述连接组件活动连接有清洗组件；将连接组件安装于所述驱动组件上，驱动组件驱动弧形轮和连接组件旋转，弧形轮驱动活塞组件将水箱中的水送至喷头处喷洒入本体内的清洗组件上，所述连接组件带动若干清洗组件旋转清洗本体内壁，具有良好的清洗效果，清洗完成后可拆卸连接组件，避免影响真空镀膜，拆装方便。拆装方便。拆装方便。

【技术实现步骤摘要】
一种快速清洗的真空镀膜设备


[0001]本专利技术属于真空镀膜设备
，尤其涉及一种快速清洗的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备主要指在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，镀膜后不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强。
[0003]在使用真空镀膜设备镀膜一段时间后，真空室的内壁必须要进行清洗处理，由于真空镀膜设备缺少清洗装置，使得真空镀膜设备在使用后，其内壁会附着一部分电镀液，影响真空镀膜设备的再次使用；虽然有一些镀膜设备内部设置有清洗用的搅拌轴，虽然能起到清洗的作用，但是其占用空间，以及对一些吸附在真空镀膜箱内壁上的电镀液清洗效果差。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例的目的在于提供一种快速清洗的真空镀膜设备，旨在解决
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本专利技术实施例是这样实现的，一种快速清洗的真空镀膜设备，包括：
[0006]本体，所述本体上设有驱动组件，所述驱动组件活动连接有弧形轮，所述弧形轮活动连接有活塞组件，所述活塞组件连通有水箱和喷头；
[0007]连接组件，所述连接组件与所述驱动组件活动连接，所述连接组件活动连接有清洗组件。
[0008]作为本专利技术进一步的方案，所述驱动组件包括电机、驱动轴和连接套，所述电机与所述本体固定连接，所述电机的输出轴与所述驱动轴固定连接，所述驱动轴与所述连接套固定连接，所述驱动轴与所述弧形轮固定连接。
[0009]作为本专利技术进一步的方案，所述活塞组件包括缸体、活塞、移动杆、从动板和弹性件一，所述缸体与所述本体固定连接，所述缸体与所述活塞滑动连接，所述活塞与所述移动杆固定连接，所述移动杆与所述从动板固定连接，所述从动板与所述缸体之间位于移动杆外侧套设有弹性件一，所述从动板与所述弧形轮活动连接。
[0010]作为本专利技术进一步的方案，所述连接组件包括连接杆、夹具、螺栓和螺母，所述连接杆与所述连接套螺纹连接，所述连接杆通过螺栓和螺母配合与所述夹具固定连接，所述夹具与所述清洗组件活动连接。
[0011]作为本专利技术进一步的方案，所述夹具包括板体、弧形槽和螺纹孔，所述弧形槽设置于所述板体上，所述螺纹孔设置于所述板体上。
[0012]作为本专利技术进一步的方案，所述清洗组件包括空心柱、弹性件二、从动杆和清洗刷，所述空心柱于所述连接组件活动连接，所述弹性件二设于所述空心柱内，所述弹性件与
所述从动杆活动连接，所述从动杆与所述清洗刷固定连接。
[0013]将连接组件安装于所述驱动组件上，驱动组件驱动弧形轮和连接组件旋转，弧形轮驱动活塞组件将水箱中的水送至喷头处喷洒入本体内的清洗组件上，所述连接组件带动若干清洗组件旋转清洗本体内壁，具有良好的清洗效果，清洗完成后可拆卸连接组件，避免影响真空镀膜，拆装方便。
附图说明
[0014]图1为本专利技术实施例提供的一种快速清洗的真空镀膜设备的结构示意图；
[0015]图2为本专利技术实施例提供的连接组件和清洗组件的结构俯视示意图；
[0016]图3为本专利技术实施例提供的夹具的结构示意图；
[0017]附图中：1
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本体、2
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驱动组件、21
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电机、22
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驱动轴、23
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连接套、3
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弧形轮、 4
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活塞组件、41
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缸体、42
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活塞、43
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移动杆、44
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从动板、45
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弹性件一、5
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喷头、 6
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连接组件、61
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连接杆、62
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夹具、621
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板体、622
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弧形槽、623
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螺纹孔、63
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螺栓、64
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螺母、7
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清洗组件、71
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空心柱、72
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弹性件二、73
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从动杆、74
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清洗刷。
具体实施方式
[0018]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0019]以下结合具体实施例对本专利技术的具体实现进行详细描述。
[0020]如图1至图3所示，为本专利技术的一个实施例，一种快速清洗的真空镀膜设备，包括：
[0021]本体1，所述本体1上设有驱动组件2，所述驱动组件2活动连接有弧形轮 3，所述弧形轮3活动连接有活塞42组件4，所述活塞42组件4连通有水箱和喷头5；
[0022]连接组件6，所述连接组件6与所述驱动组件2活动连接，所述连接组件6 活动连接有清洗组件7。
[0023]在本实施例中，所述驱动组件2包括电机21、驱动轴22和连接套23，所述电机21与所述本体1固定连接，所述电机21的输出轴与所述驱动轴22固定连接，所述驱动轴22与所述连接套23固定连接，所述驱动轴22与所述弧形轮 3固定连接；所述活塞42组件4包括缸体41、活塞42、移动杆43、从动板44 和弹性件一45，所述弹性件一45可为弹簧，所述弹性件一45处于压缩状态，所述缸体41与所述本体1固定连接，所述缸体41与所述活塞42滑动连接，所述活塞42与所述移动杆43固定连接，所述移动杆43与所述从动板44固定连接，所述从动板44与所述缸体41之间位于移动杆43外侧套设有弹性件一45，所述从动板44与所述弧形轮3活动连接，所述缸体41进水口与所述水箱连通，所述缸体41出水口与所述喷头5连通，所述缸体41的进水口和出水口均设有单向阀；所述电机21通过驱动轴22带动连接套23和弧形轮3旋转，所述弧形轮3配合弹性件一45驱动从动板44往复直线移动，所述从动板44通过移动杆 43和活塞42将水箱中的水抽入缸体41并且排至喷头5处喷出，所述连接套23 带动连接组件6旋转，当连接组件6旋转至预设位置时，喷头5将水喷洒至清洗组件7上，有利于节约水源，所述连接组件6带动清洗组件7旋转清洗本体1 内壁。
[0024]请参阅图1至图3，在本专利技术的一个实施例中，所述连接组件6包括连接杆 61、夹具
62、螺栓63和螺母64，所述连接杆61与所述连接套23螺纹连接，所述连接杆61通过螺栓63和螺母64配合与所述夹具62固定连接，所述夹具62 与所述清洗组件7活动连接。
[0025]在本实施例中，所述夹具62包括板体621、弧形槽622和螺纹孔623，所述弧形槽622设置于所述板体621上，所述螺纹孔623设置于所述板体621上；所述清洗组件7包括空心柱71、弹性件二72、从动杆73和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，包括：本体，所述本体上设有驱动组件，所述驱动组件活动连接有弧形轮，所述弧形轮活动连接有活塞组件，所述活塞组件连通有水箱和喷头；连接组件，所述连接组件与所述驱动组件活动连接，所述连接组件活动连接有清洗组件。2.根据权利要求1所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机、驱动轴和连接套，所述电机与所述本体固定连接，所述电机的输出轴与所述驱动轴固定连接，所述驱动轴与所述连接套固定连接，所述驱动轴与所述弧形轮固定连接。3.根据权利要求2所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述活塞组件包括缸体、活塞、移动杆、从动板和弹性件一，所述缸体与所述本体固定连接，所述缸体与所述活塞滑动连接，所述活塞与所述移动杆固定连接，所述移动杆与所述从动板固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢辉，
申请(专利权)人：苏州赛旺新型材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：