本发明专利技术的光学装置(1)具备镜驱动部(11)、加热部(15)、及加热控制部(4)。在镜驱动部(11)中，在可动部(23)设置有镜面(31a)。支承部(22)经由弹性连结部(24)支承可动部(23)。动力产生部(50)使动力产生于可动部(23)。驱动控制部(3)输出使动力产生部(50)动作的驱动信号。可动部(23)在弹性连结部(24)被加热前的状态下，具有较驱动控制部(3)输出的驱动信号的频率更高的共振频率。可动部(23)通过与动力产生部(50)的动力相应的弹性连结部(24)的弹性变形而摆动。加热控制部(4)取得显示可动部(23)的摆动状态的信号，并基于所取得的信号的相位，反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学装置
[0001]本专利技术关于一种光学装置。
技术介绍
[0002]已知有具备设置有镜面的可动部的光学装置(例如专利文献1)。在专利文献1，记载有以可动部以共振频率摆动的方式通过驱动信号控制可动部的摆动。[现有技术文献][专利文献][0003]专利文献1：日本专利特开2015
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36782号公报
技术实现思路
[0004]存在因制造偏差引起的个体差及环境温度等，可动部的共振频率与期望者不同的情形。在驱动可动部的驱动信号的频率与共振频率不匹配的情形，有无法在可动部中获得期望的摆动角、及上述可动部的动作不稳定的顾虑。若以与共振频率匹配的方式控制驱动信号的频率，则可在镜中获得良好的振幅。然而，在该构成中，较难以期望的频率使镜移动。
[0005]本专利技术的一形态的目的在于提供一种可以期望的频率且期望的摆动角实现稳定的可动部的摆动的光学装置。[解决问题的技术手段][0006]本专利技术的一形态的光学装置具备镜驱动部、驱动控制部、加热部、及加热控制部。镜驱动部具有可动部、弹性连结部、支承部及动力产生部。在可动部设置有镜面。弹性连结部连接于可动部。支承部经由弹性连结部支承可动部。动力产生部使动力产生于可动部。驱动控制部输出使动力产生部动作的驱动信号。加热部加热弹性连结部。加热控制部控制加热部。可动部于弹性连结部被加热前的状态下，具有较驱动控制部输出的驱动信号的频率更高的共振频率。可动部通过与动力产生部的动力相应的弹性连结部的弹性变形而摆动。加热控制部取得显示可动部的摆动状态的信号，并基于所取得的信号的相位，反馈控制加热部对弹性连结部的加热。
[0007]如上述一形态，其中光学装置具备加热弹性连结部的加热部。若通过加热部加热弹性连结部，则弹性连结部的弹性率变化。其结果，可动部的共振频率也变化。因此，上述光学装置可容易使可动部的共振频率变化。其结果，该光学装置可以期望的频率且期望的摆动角稳定地使可动部摆动。在此种构成中，谋求于弹性连结部中进行精密且迅速的温度调整。然而，例如在基于由温度传感器检测出的温度而进行反馈控制的情形，在最有助于共振频率的变化的弹性连结部的温度检测产生时滞。在支承部设置有温度传感器的情形，因检测自弹性连结部传递至支承部的热，故在反馈控制中产生与温度的传递速度相应的时滞。上述加热控制部基于显示可动部的摆动状态的信号的相位，反馈控制加热部对弹性连结部的加热。因此，该光学装置至少基于由温度传感器检测出的温度，实现较反馈控制时更精密且迅速的温度调整。因此，也提高可动部中的共振频率的变更的精度。在弹性连结部被加热
前的状态下，可动部具有较驱动控制部输出的驱动信号的频率更高的共振频率。此时，光学装置可仅通过加热控制部的加热控制，而使可动部的共振频率与驱动信号的频率匹配。上述光学装置与至少使用冷却组件的情形相比，谋求光学装置的小型化。
[0008]如上述一形态，其中可动部也可包含第1可动部与第2可动部。在第1可动部也可设置有镜面。第2可动部也可包围第1可动部。弹性连结部也可包含第1连结部与第2连结部。第1连结部也可弹性连接第1可动部与第2可动部。第2连结部也可弹性连接第2可动部与支承部。
[0009]如上述一形态，其中加热部也可加热第1连结部。
[0010]如上述一形态，其中于弹性连结部被加热前的状态下，可动部也可具有较驱动控制部输出的驱动信号的频率更高的共振频率。此时，光学装置可仅通过加热控制部的加热控制，而使可动部的共振频率与驱动信号的频率匹配。上述光学装置与至少使用冷却组件的情形相比，谋求光学装置的小型化。
[0011]如上述一形态，其中加热控制部也可通过加热部以第一功率加热弹性连结部后，以较第一功率更小的第二功率加热弹性连结部。此时，加热控制部可在大致调整可动部的共振频率后，精细调整可动部的共振频率。其结果，光学装置可更精密且迅速地调整可动部的共振频率。
[0012]如上述一形态，其中加热部也可包含第1加热部与第2加热部。第1加热部也可将第一热量赋予弹性连结部。第2加热部也可将较第一热量更小的第二热量赋予弹性连结部。此时，加热控制部可通过第1加热部大致调整可动部的共振频率，且通过第2加热部精细调整可动部的共振频率。因此，光学装置可更精密且迅速地调整可动部的共振频率。
[0013]如上述一形态，其中第1加热部也可设置于支承部。第2加热部也可设置于第1连结部及可动部的至少1者。此时，光学装置可以小型的构成，更精密且迅速地调整可动部的共振频率。
[0014]如上述一形态，其中加热部也可包含加热弹性连结部的激光照射部。此时，加热部可更迅速地加热弹性连结部。其结果，光学装置可更精密且迅速地使可动部的共振频率变化。
[0015]如上述一形态，其中加热部也可包含加热弹性连结部的电热线。电热线也可以将镜面的重心作为对称点而成为点对称的方式，设置于弹性连结部及可动部的至少1者。此时，加热部可以小型的构成精密地加热弹性连结部。因产生于电热线的洛伦兹力相互抵消，故可抑制可动部的摆动的混乱。
[0016]如上述一形态，其中电热线也可以包围镜面的方式设置于可动部。此时，弹性连结部被更迅速且精密地加热。因产生于电热线的洛伦兹力相互抵消，故抑制可动部的摆动的混乱。
[0017]如上述一形态，其中加热控制部也可以自驱动控制部输出的驱动信号的相位与显示可动部的摆动状态的信号的相位的相位差变小的方式，控制加热部对弹性连结部的加热。此时，比较驱动信号的相位与显示可动部的摆动状态的信号的相位的情形，与比较驱动信号的频率与显示可动部的摆动状态的信号的频率的情形相比，可更精密地控制弹性连结部的加热。因此，光学装置可以期望的频率更准确地获得期望的摆动角。
[0018]如上述一形态，其中也可具备多个镜单元。各镜单元也可包含镜驱动部与加热部。
加热控制部也可控制多个镜单元的各者中的弹性连结部的加热。此时，光学装置可使各可动部的共振频率变化。因此，光学装置可以期望的频率且期望的摆动角使各可动部摆动。
[0019]如上述一形态，其中该光学装置具备的所有镜单元的各者中的可动部也可于加热各可动部所连接的弹性连结部之前的状态下，具有较驱动控制部输出的驱动信号的频率更高的共振频率。加热控制部也可通过加热部加热所有镜单元中的弹性连结部。因冷却组件为相对较大型，故与使用冷却组件的情形相比，谋求光学装置的小型化。[专利技术的效果][0020]本专利技术的一形态提供一种可以期望的频率且期望的摆动角实现稳定的可动部的摆动的光学装置。
附图说明
[0021]图1为本实施方式的光学装置的方块图。图2为镜单元的概略俯视图。图3为本实施方式的变化例的镜单元的概略俯视图。图4为本实施方式的变化例的镜单元的概略俯视图。图5为显示光学装置中的控制方法的流程图。图6为显示可动部的相位稳定处理的流程图。图7为显示各镜单元中的可动部的共振频率与驱动信号的频率的关系的图。
具体实施方式
[0022]以下，参照附加图式，详细说明本专利技术的实施方式。另，在说明中，对同一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学装置，其具备：镜驱动部，具有：可动部，其设置有镜面；弹性连结部，其连接于所述可动部；支承部，其经由所述弹性连结部支承所述可动部；及动力产生部，其使动力产生于所述可动部；驱动控制部，其输出使所述动力产生部动作的驱动信号；加热部，其加热所述弹性连结部；及加热控制部，其控制所述加热部，所述可动部在所述弹性连结部被加热前的状态下，具有较所述驱动控制部输出的所述驱动信号的频率更高的共振频率，且通过与所述动力产生部的动力相应的所述弹性连结部的弹性变形而摆动，所述加热控制部取得显示所述可动部的摆动状态的信号，并基于所取得的信号的相位，反馈控制所述加热部对所述弹性连结部的加热。2.如权利要求1所述的光学装置，其中，所述可动部包含：第1可动部，其设置有所述镜面；及第2可动部，其包围所述第1可动部；且所述弹性连结部包含：第1连结部，其弹性连接所述第1可动部与所述第2可动部；及第2连结部，其弹性连接所述第2可动部与所述支承部。3.如权利要求1或2所述的光学装置，其中，所述加热部加热第1连结部。4.如权利要求1至3中任一项所述的光学装置，其中，所述加热控制部通过所述加热部以第一功率加热所述弹性连结部后，以较第一功率更小的第二功率加热所述弹性连结部。5.如权利要求1至4中任一项所述的光学装置，其中，所述加热部包含：第1加热部，其将第一热量赋予所述弹性连结部；及第2加热部，其将较所述第一热量更小的第...
【专利技术属性】
技术研发人员：岩科进也，中村重幸，樱井直人，森永勇树，铃木大几，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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