本发明专利技术提供一种具有安全装置的化学品喷液设备，化学品喷液设备包括：处理器模块、模拟I/O模块、电信号转气信号模块、流量控制阀门、喷嘴、流量计、常闭阀门及数字I/O模块；常闭阀门连接于药液供应源与喷嘴之间的管路上，并通过数字I/O模块连接处理器模块，常闭阀门未接受到开启信号时，处于常闭状态，当处理器模块给模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给数字I/O模块发出开启信号，使常闭阀门开启而实现药液流通。本发明专利技术的喷液系统中装设有常闭阀门，使得设备中即使此常闭阀门和流量控制阀门有一个出现内漏，药液也不会从喷嘴喷出，从而大大降低工艺隐患及安全隐患，大大提高了设备的安全性。的安全性。的安全性。
【技术实现步骤摘要】
具有安全装置的化学品喷液设备
[0001]本专利技术属于半导体制造设备领域，特别是涉及一种具有安全装置的化学品喷液设备。
技术介绍
[0002]在半导体制造工艺中，经常需要使用具有易挥发、易燃、易爆、有毒、有害特性的液态化学品。比如，批量式晶圆清洗机就需要使用氢氟酸、浓硫酸、浓盐酸、浓硝酸、氨水、双氧水这六种化学品(如表1所示)。
[0003][0004]表1批量式晶圆清洗机所使用化学品特性表
[0005]基于这些特性，批量式晶圆清洗机在存储、使用这些药液时要特别注意安全问题。
技术实现思路
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种具有安全装置的化学品喷液设备，用于解决现有技术中化学品喷液设备存在严重安全隐患的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种具有安全装置的化学品喷液设备，所述化学品喷液设备包括：处理器模块、模拟I/O模块、电信号转气信号模块、流量控制阀门、喷嘴、流量计、常闭阀门及数字I/O模块；所述处理器模块用于将流量的数字信号转为喷液模拟信号并通过电信号转气信号模块向流量控制阀门发送气压信号，所述气压信号用于控制流量控制阀门的开度，从而决定药液流量的大小；所述模拟I/O模块连接于所述处理器模块，用于所述处理器模块交互信号的接收、转换及发送；所述电信号转气信号模块连接于流量控制阀门，用于将接收的喷液模拟信号转换为气压信号；所述流量控制阀门连接于所述电信号转气信号模块，用于依据所述气压信号形成开度，所述开度决定药液流量的大小；所述喷嘴连接于所述流量控制阀门，用于喷射所述流量控制阀门的药液；所述流量计连
接于药液供应源与所述流量控制阀门之间，并与所述模拟I/O模块连接，用于测试所述流量控制阀门的流量，并将测得的流量模拟信号转为数字信号后与处理器模块中设定的流量值进行对比，根据两者相差的比例来调整处理器模块输出的模拟信号大小，最终使实际药液流量稳定到所述设定的流量值；所述常闭阀门连接于药液供应源与喷嘴之间的管路上，并通过所述数字I/O模块连接所述处理器模块，所述常闭阀门未接受到开启信号时，处于常闭状态，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，使所述常闭阀门开启而实现药液流通。
[0008]可选地，所述常闭阀门包括气动阀及电磁阀中的一种。
[0009]可选地，所述常闭阀门包括气动阀，所述化学品喷液设备还包括阀卡，所述气动阀连接于药液供应源与所述流量计之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制阀卡打开相应的控制气管，从而开启对应药液的气动阀。
[0010]可选地，所述常闭阀门包括气动阀，所述化学品喷液设备还包括阀卡，所述气动阀连接于所述流量计与所述流量控制阀门之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制阀卡打开相应的控制气管，从而开启对应药液的气动阀。
[0011]可选地，所述常闭阀门包括气动阀，所述化学品喷液设备还包括阀卡，所述气动阀连接于所述流量控制阀门与所述喷嘴之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制阀卡打开相应的控制气管，从而开启对应药液的气动阀。
[0012]可选地，同一阀卡上接入多个所述化学品喷液设备，形成批量式晶圆清洗的化学品喷液系统。
[0013]可选地，所述批量式晶圆清洗的化学品喷液系统中，各所述化学品喷液设备的药液供应源供应不同的药液。
[0014]可选地，所述常闭阀门包括电磁阀，所述电磁阀连接于药液供应源与所述流量计之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制开启对应药液的电磁阀。
[0015]可选地，所述常闭阀门包括电磁阀，所述电磁阀连接于所述流量计与所述流量控制阀门之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制开启对应药液的电磁阀。
[0016]可选地，所述常闭阀门包括电磁阀，所述电磁阀连接于所述流量控制阀门与所述喷嘴之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制开启对应药液的电磁阀。
[0017]可选地，多个所述化学品喷液设备共同形成批量式晶圆清洗的化学品喷液系统，在所述批量式晶圆清洗的化学品喷液系统中，各所述化学品喷液设备的药液供应源供应不同的药液。
[0018]可选地，所述药液供应源供应的药液包括氢氟酸、浓硫酸、浓盐酸、浓硝酸、氨水及双氧水中的一种或多种。
[0019]如上所述，本专利技术的具有安全装置的化学品喷液设备，具有以下有益效果：
[0020]本专利技术提供了一种具有安全装置的化学品喷液设备，可实现药液供应的自动化，同时兼具较高的安全性。
[0021]本专利技术的喷液系统中装设有常闭阀门，当机台喷液时，自动打开此常闭阀门，结束喷液后自动关闭此常闭阀门，基于此，即使此常闭阀门和流量控制阀门有一个出现内漏，药液也不会从喷嘴喷出，从而大大降低工艺隐患。同时，本专利技术即使流量控制阀有内漏，药液也无法通过常闭阀门，从而不会影响产品，可有效提高产品良率。
[0022]本专利技术只要常闭阀门和流量控制阀门有一个功能正常，即可保证药液不会意外从喷嘴喷出，同时常闭阀门在断电、断气的情况下仍能保证药液无法通过阀门，对操作人员具有双重安全保障，大大提高了设备的安全性。
[0023]本专利技术的常闭阀门的价格大约是流量控制阀门的十分之一左右，采用闭阀门和流量控制阀门的组合，可以有效降低设备成本。
附图说明
[0024]图1显示为本专利技术实施例1的具有安全装置的化学品喷液设备的结构示意图。
[0025]图2显示为本专利技术实施例1的批量式晶圆清洗的化学品喷液系统的结构示意图。
[0026]图3显示为本专利技术实施例2的具有安全装置的化学品喷液设备的结构示意图。
[0027]图4显示为本专利技术实施例3的具有安全装置的化学品喷液设备的结构示意图。
[0028]图5显示为本专利技术实施例4的具有安全装置的化学品喷液设备的结构示意图。
[0029]图6显示为本专利技术实施例5的具有安全装置的化学品喷液设备的结构示意图。
[0030]图7显示为本专利技术实施例6的具有安全装置的化学品喷液设备的结构示意图。
[0031]元件标号说明
[0032]101
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处理器模块
[0033]102
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模拟I/O模块
[0034]103
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有安全装置的化学品喷液设备，其特征在于，所述化学品喷液设备包括：处理器模块、模拟I/O模块、电信号转气信号模块、流量控制阀门、喷嘴、流量计、常闭阀门及数字I/O模块；所述处理器模块用于将流量的数字信号转为喷液模拟信号并通过电信号转气信号模块向流量控制阀门发送气压信号，所述气压信号用于控制流量控制阀门的开度，从而决定药液流量的大小；所述模拟I/O模块连接于所述处理器模块，用于所述处理器模块交互信号的接收、转换及发送；所述电信号转气信号模块连接于流量控制阀门，用于将接收的喷液模拟信号转换为气压信号；所述流量控制阀门连接于所述电信号转气信号模块，用于依据所述气压信号形成开度，所述开度决定药液流量的大小；所述喷嘴连接于所述流量控制阀门，用于喷射所述流量控制阀门的药液；所述流量计连接于药液供应源与所述流量控制阀门之间，并与所述模拟I/O模块连接，用于测试所述流量控制阀门的流量，并将测得的流量模拟信号转为数字信号后与处理器模块中设定的流量值进行对比，根据两者相差的比例来调整处理器模块输出的模拟信号大小，最终使实际药液流量稳定到所述设定的流量值；所述常闭阀门连接于药液供应源与喷嘴之间的管路上，并通过所述数字I/O模块连接所述处理器模块，所述常闭阀门未接受到开启信号时，处于常闭状态，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，使所述常闭阀门开启而实现药液流通。2.根据权利要求1所述的具有安全装置的化学品喷液设备，其特征在于：所述常闭阀门包括气动阀及电磁阀中的一种。3.根据权利要求2所述的具有安全装置的化学品喷液设备，其特征在于：所述常闭阀门包括气动阀，所述化学品喷液设备还包括阀卡，所述气动阀连接于药液供应源与所述流量计之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制阀卡打开相应的控制气管，从而开启对应药液的气动阀。4.根据权利要求2所述的具有安全装置的化学品喷液设备，其特征在于：所述常闭阀门包括气动阀，所述化学品喷液设备还包括阀卡，所述气动阀连接于所述流量计与所述流量控制阀门之间，当所述处理器模块给所述模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字I/O模块发出开启信号，接着所述数字I/O模块控制阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟吉琛，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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