一种四轴中空移载装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种四轴中空移载装置，其技术方案是：包括固定底盘，固定底盘顶部固定连接有连接底座，连接底座内部固定连接有旋转电机，旋转电机输出端固定连接有同步轮，同步轮外部套设有同步带，同步带内侧设有同步轮旋转盘，同步轮旋转盘与固定底盘通过轴承连接，同步轮旋转盘顶部固定嵌设有负载盘，负载盘内部设有产品本体，同步带两侧均设有滑轮，滑轮底端与连接底座通过轴承连接，固定底盘底部两侧均固定连接有X轴滑块，两个X轴滑块底部均设有X轴直线导轨，一种四轴中空移载装置有益效果是：负载盘中间为中空，运动平稳，精度高，结构简单，端搭载产品的部件不需要通电和通气。端搭载产品的部件不需要通电和通气。端搭载产品的部件不需要通电和通气。

【技术实现步骤摘要】
一种四轴中空移载装置


[0001]本专利技术涉及四轴中空移载
，具体涉及一种四轴中空移载装置。

技术介绍

[0002]在电子、半导体、显示面板等高新技术行业，经常需要有水平x、水平y、竖直z、旋转r四维运动的供给移载机构，特别是晶圆排片机及分选机上的晶圆四轴移载单元上，需要对晶圆薄膜上每颗芯片进行移载的场合。
[0003]现有的由于工艺需要，移载单元的正下方还有其他机构来配合移载单元进行动作，所以移载单元需要做成中空形式，常用技术是四轴叠加，如y轴搭载在x轴、或者x轴搭载在y轴上形成xy平台，然后z轴搭载在xy平台上，r轴再搭载在z轴上；或者r轴搭载在xy平台上，然后z轴再搭载在r轴上，导致叠加后，高度太高，结构复杂，z向运行精度不好，以及难以解决z轴搭载在r轴上后的旋转走气和走电的问题。

技术实现思路

[0004]为此，本专利技术提供一种四轴中空移载装置，以解决叠加后，高度太高，结构复杂，z向运行精度不好，以及难以解决z轴搭载在r轴上后的旋转走气和走电的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种四轴中空移载装置，包括固定底盘，所述固定底盘顶部固定连接有连接底座，所述连接底座内部固定连接有旋转电机，所述旋转电机输出端固定连接有同步轮，所述同步轮外部套设有同步带，所述同步带内侧设有同步轮旋转盘，所述同步轮旋转盘与固定底盘通过轴承连接，所述同步轮旋转盘顶部固定嵌设有负载盘，所述负载盘内部设有产品本体，所述同步带两侧均设有滑轮，所述滑轮底端与连接底座通过轴承连接，所述固定底盘底部两侧均固定连接有X轴滑块，两个所述X轴滑块底部均设有X轴直线导轨，两个所述X轴滑块分别与两个所述X轴直线导轨滑动连接，其中一个所述X轴直线导轨一侧固定连接有第二连接块，两个所述X轴直线导轨底部固定连接有支撑立板，所述支撑立板一侧固定连接有第二侧板，所述第二侧板一侧固定连接有X轴电机，所述X轴电机输出端固定连接有X轴，所述X轴一端通过轴承连接有第三侧板，所述第三侧板与支撑立板固定连接，所述X轴外部通过螺纹套设有第二连接块，所述第二连接块与支撑立板固定连接。
[0006]优选的，所述支撑立板底部固定连接有两个Y轴滑块，两个所述Y轴滑块底部分别设有第二Y轴直线导轨和第一Y轴直线导轨，两个所述Y轴滑块分别与第二Y轴直线导轨和第一Y轴直线导轨滑动连接。
[0007]优选的，所述支撑立板一侧固定设有立板。
[0008]优选的，所述第二Y轴直线导轨一侧固定设有第一外罩壳，所述第一外罩壳一侧固定设有Y轴电机，所述Y轴电机输出端固定连接有Y轴，所述Y轴外部套设有减速机，所述Y轴外部通过螺纹套设有第一连接块，所述第一连接块与其中一个Y轴滑块固定连接，所述Y轴一端与第一外罩壳侧壁通过轴承连接。
[0009]优选的，所述第一外罩壳内部固定连接有第一侧板，所述Y轴贯穿第一侧板并与第一侧板通过轴承连接。
[0010]优选的，所述第二侧板一侧固定设有第二外罩壳，所述第二外罩壳另一侧与第三侧板固定连接。
[0011]优选的，所述X轴电机顶部固定设有上撑板。
[0012]本专利技术实施例具有如下优点：
[0013]负载盘中间为中空，中间部位可以设置其他机构，产品可以在中心部位进行工艺动作，且运动平稳，精度高，X、y轴由2组导向部件组成，可以进行分布式承载载荷，结构简单，可根据需要进行设计，全部由常规零件按需要设计组成，端搭载产品的部件不需要通电和通气。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本专利技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
[0015]本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0016]图1为本专利技术提供的整体结构示意图；
[0017]图2为本专利技术提供的俯视图；
[0018]图3为本专利技术提供的Y轴滑块立体图；
[0019]图4为本专利技术提供的支撑立板立体图；
[0020]图5为本专利技术提供的X轴滑块立体图；
[0021]图6为本专利技术提供的固定底盘立体图；
[0022]图7为本专利技术提供的同步轮旋转盘立体图。
[0023]图中：1固定底盘、2X轴直线导轨、3第一Y轴直线导轨、4立板、5第二Y轴直线导轨、6Y轴电机、7第一外罩壳、8第一连接块、9负载盘、10产品本体、11X轴电机、12第二外罩壳、13支撑立板、14第一侧板、15减速机、16Y轴、17Y轴滑块、18第二侧板、19上撑板、20X轴滑块、21X轴、22第二连接块、23第三侧板、24同步带、25同步轮、26滑轮、27连接底座、28旋转电机、29同步轮旋转盘。
具体实施方式
[0024]以下由特定的具体实施例说明本专利技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]参照附图1
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7，本专利技术提供的一种四轴中空移载装置，包括固定底盘1，所述固定底
盘1顶部固定连接有连接底座27，所述连接底座27内部固定连接有旋转电机28，所述旋转电机28输出端固定连接有同步轮25，所述同步轮25外部套设有同步带24，所述同步带24内侧设有同步轮旋转盘29，所述同步轮旋转盘29与固定底盘1通过轴承连接，所述同步轮旋转盘29顶部固定嵌设有负载盘9，所述负载盘9内部设有产品本体10，所述同步带24两侧均设有滑轮26，所述滑轮26底端与连接底座27通过轴承连接，所述固定底盘1底部两侧均固定连接有X轴滑块20，两个所述X轴滑块20底部均设有X轴直线导轨2，两个所述X轴滑块20分别与两个所述X轴直线导轨2滑动连接，其中一个所述X轴直线导轨2一侧固定连接有第二连接块22，两个所述X轴直线导轨2底部固定连接有支撑立板13，所述支撑立板13一侧固定连接有第二侧板18，所述第二侧板18一侧固定连接有X轴电机11，所述X轴电机11输出端固定连接有X轴21，所述X轴21一端通过轴承连接有第三侧板23，所述第三侧板23与支撑立板13固定连接，所述X轴21外部通过螺纹套设有第二连接块22，所述第二连接块22与支撑立板13固定连接，所述第二侧板18一侧固定设有第二外罩壳12，所述第二外罩壳12另一侧与第三侧板23固定连接，所述X轴电机11顶部固定设有上撑板19；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种四轴中空移载装置，包括固定底盘(1)，其特征在于：所述固定底盘(1)顶部固定连接有连接底座(27)，所述连接底座(27)内部固定连接有旋转电机(28)，所述旋转电机(28)输出端固定连接有同步轮(25)，所述同步轮(25)外部套设有同步带(24)，所述同步带(24)内侧设有同步轮旋转盘(29)，所述同步轮旋转盘(29)与固定底盘(1)通过轴承连接，所述同步轮旋转盘(29)顶部固定嵌设有负载盘(9)，所述负载盘(9)内部设有产品本体(10)，所述同步带(24)两侧均设有滑轮(26)，所述滑轮(26)底端与连接底座(27)通过轴承连接，所述固定底盘(1)底部两侧均固定连接有X轴滑块(20)，两个所述X轴滑块(20)底部均设有X轴直线导轨(2)，两个所述X轴滑块(20)分别与两个所述X轴直线导轨(2)滑动连接，其中一个所述X轴直线导轨(2)一侧固定连接有第二连接块(22)，两个所述X轴直线导轨(2)底部固定连接有支撑立板(13)，所述支撑立板(13)一侧固定连接有第二侧板(18)，所述第二侧板(18)一侧固定连接有X轴电机(11)，所述X轴电机(11)输出端固定连接有X轴(21)，所述X轴(21)一端通过轴承连接有第三侧板(23)，所述第三侧板(23)与支撑立板(13)固定连接，所述X轴(21)外部通过螺纹套设有第二连接块(22)，所述第二连接块(22)与支撑立板(13)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种四轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵康，姚秋林，王为新，
申请(专利权)人：苏州思铂创半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：