蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种蒸镀设备，包括蒸镀室、冷却管组、送风装置和位于蒸镀室上方的天线室，天线室内有高温区，送风装置设置于天线室外，冷却管组设置于天线室内并连通送风装置，冷却管组上设置有若干风孔，若干风孔均朝向高温区，天线室的侧壁设置有排风口。通过在天线室内设置冷却管组，并通过送风装置输送冷风至冷却管组内，能够对天线室内的高温区进行冷却，使其内部温度分布均匀，冷却效率较高，蒸镀效果较好。镀效果较好。镀效果较好。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备


[0001]本技术涉及面板制造设备
，尤其涉及一种蒸镀设备。

技术介绍

[0002]蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是制造显示面板过程中的重要环节，蒸镀工艺的好坏往往决定了显示面板的品质。在蒸镀时，蒸镀设备的天线室会出现温度较高的区域，持续攀升的温度容易导致内部零部件损坏以及影响蒸镀效果等，因此，需要对天线室内进行降温。现有技术存在以下缺陷：现有技术中对于天线室的降温大都采用风冷的形式，即在天线室的侧壁设置风机，对天线室内吹风抽风，实现风冷，然后采用这种方法冷却效果有限，且无法使得天线室内的温度均匀，造成蒸镀效果不理想。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种蒸镀设备，结构简单，能够对天线室内的高温区进行针对性冷却，使其内部温度分布均匀，冷却效率较高，蒸镀效果较好。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种蒸镀设备，包括蒸镀室、位于所述蒸镀室上方的天线室、冷却管组和送风装置，所述天线室内有高温区，所述送风装置设置于所述天线室外，所述冷却管组设置于所述天线室内并连通所述送风装置，所述冷却管组上设置有若干风孔，若干所述风孔均朝向所述高温区，所述天线室的侧壁设置有排风口。
[0006]作为蒸镀设备的一种优选方案，还包括：
[0007]送风件，所述送风件包括进风段和出风段，所述进风段连通所述送风装置，所述出风段穿过所述天线室的外壁，所述出风段分别与所述进风段和所述冷却管组连通。
[0008]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述冷却管组包括：
[0009]第一冷却管，沿所述高温区的外周环设，所述第一冷却管与所述出风段连通，所述第一冷却管靠近所述高温区的一侧开设有若干所述风孔，若干所述风孔沿所述第一冷却管的长度方向间隔设置。
[0010]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述第一冷却管和所述出风段均设置有多个，多个所述第一冷却管沿所述高温区的外周间隔环设，多个所述第一冷却管与多个所述出风段一一对应连通。
[0011]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述冷却管组还包括：
[0012]第二冷却管，设置于所述高温区并位于环设的所述第一冷却管之间，所述第二冷却管与所述出风段连通，所述第二冷却管上开设有若干所述风孔，若干所述风孔分别沿所述第二冷却管的长度方向和周向间隔设置。
[0013]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述第二冷却管连通于所述第一冷却管的管壁。
[0014]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述天线室的内壁设置有若干第一连接件，所述
冷却管组上设置有若干第二连接件，每个所述第二连接件能够与一个所述第一连接件连接。
[0015]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述第一连接件为吊环，所述第二连接件为卡钩，所述天线室的顶壁设置有若干所述吊环，所述冷却管组连接有若干所述卡钩，所述卡钩能够与所述吊环连接。
[0016]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述送风装置为压缩空气干燥机。
[0017]作为蒸镀设备的一种优选方案，还包括：
[0018]过滤器，设置于所述送风装置的进风口。
[0019]本技术的有益效果为：通过在天线室内设置冷却管组，并通过送风装置输送冷风至冷却管组内，冷风经由冷却管组上的若干风孔流向天线室内的高温区，带走高温区的热量后从天线室侧壁的排风口排出，使得高温区温度降低。在天线室内设置冷却管组能够根据天线室内的具体空间设计，避免与内部零部件发生干涉；且通过冷风直接带走高温区的热量，能够使得天线室内的温度分布均匀，提高冷却效率，避免天线室内部分区域温度过高导致内部零部件损坏，保证蒸镀设备的正常工作，提高蒸镀效率和蒸镀效果。
附图说明
[0020]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0021]图1为本技术实施例的蒸镀设备的部分结构示意图。
[0022]图2为本技术实施例的冷却管组的结构示意图。
[0023]图3为本技术另一个实施例的蒸镀设备的部分结构示意图。
[0024]图4为本技术另一个实施例的冷却管组的立体结构示意图。
[0025]图1至图4中：
[0026]10、蒸镀室；20、天线室；30、高温区；40、风孔；50、排风口；110、进风口；
[0027]1、冷却管组；11、第一冷却管；12、第二冷却管；2、送风装置；3、送风件；31、进风段；32、出风段；4、第一连接件；5、第二连接件；6、过滤器；7、排风扇；
[0028]100、上部电极；200、下部电极；300、玻璃基板。
具体实施方式
[0029]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0030]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0031]如图1至图4所示，本实施例提供的蒸镀设备包括蒸镀室10、冷却管组1、送风装置2和位于蒸镀室10上方的天线室20。蒸镀设备内设置有下部电极200和上部电极100，上部电极100将蒸镀设备内部空间分为蒸镀室10和天线室20，待蒸镀的玻璃基板300设置在下部电极200上，在天线室20布置由天线等各种零部件，在蒸镀时，将上部电极100和下部电极200通电，在蒸镀设备内使得蒸镀物质附着于玻璃基板300表面。由于天线室20内的天线和其它
零部件在工作过程中会发热导致天线室20内形成高温区30，为了保证蒸镀设备的正常工作，需要对高温区30降温。具体地，送风装置2设置于天线室20外，冷却管组1设置于天线室20内并连通送风装置2，冷却管组1上设置有若干风孔40，若干风孔40均朝向高温区30，天线室20的侧壁设置有排风口50。通过在天线室20内设置冷却管组1，并通过送风装置2输送冷风至冷却管组1内，冷风经由冷却管组1上的若干风孔40流向天线室20内的高温区30，带走高温区30的热量后从天线室20侧壁的排风口50排出，使得高温区30温度降低。在天线室20内设置冷却管组1能够根据天线室20内的具体空间设计，避免与内部零部件发生干涉；且通过冷风直接带走高温区30的热量，能够使得天线室20内的温度分布均匀，提高冷却效率，避免天线室20内部分区域温度过高导致内部零部件损坏，保证蒸镀设备的正常工作，提高蒸镀效率和蒸镀效果。
[0032]优选地，在排风口50处设置有排风扇7，排风扇7抽取天线室20内的气体，使得冷风经过高温区30后能够在排风扇7的引导下排出。更为优选地，排风扇7可以设置有多个，多个排风扇7分别设置于天线室20的四周侧壁，使得气流在天线室20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀室和位于所述蒸镀室上方的天线室，所述天线室内有高温区，其特征在于，还包括冷却管组和送风装置，所述送风装置设置于所述天线室外，所述冷却管组设置于所述天线室内并连通所述送风装置，所述冷却管组上设置有若干风孔，若干所述风孔均朝向所述高温区，所述天线室的侧壁设置有排风口。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：送风件，所述送风件包括进风段和出风段，所述进风段连通所述送风装置，所述出风段穿过所述天线室的外壁，所述出风段分别与所述进风段和所述冷却管组连通。3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述冷却管组包括：第一冷却管，沿所述高温区的外周环设，所述第一冷却管与所述出风段连通，所述第一冷却管靠近所述高温区的一侧开设有若干所述风孔，若干所述风孔沿所述第一冷却管的长度方向间隔设置。4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一冷却管和所述出风段均设置有多个，多个所述第一冷却管沿所述高温区的外周间隔环设，多个所述第一冷却管与多个所述出风段一一对应连通。5.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：金源起，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：