本实用新型专利技术提供一种用于显微镜下检查的光刻版夹具。所述用于显微镜下检查的光刻版夹具包括：输送箱，所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构；所述固定机构包括有电机一、螺纹长杆、移动块、圆柱块一、固定腔、安装槽、电机二、转动杆、锥形齿轮一、四个螺纹短杆一、四个锥形齿轮二、四个夹板、两个支撑板和长板，所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上，本实用新型专利技术解决的技术问题是提供一种通过在码盘底部进行吸附固定的方式来避免与切割刀片发生碰撞，同时能够使得光刻设备和切割设备能够进行位置调整从而保证码盘精度符合标准的用于显微镜下检查的光刻版夹具。于显微镜下检查的光刻版夹具。于显微镜下检查的光刻版夹具。
【技术实现步骤摘要】
一种用于显微镜下检查的光刻版夹具
[0001]本技术属于码盘加工
，尤其涉及一种用于显微镜下检查的光刻版夹具。
技术介绍
[0002]在使用显微镜进行检查测量时，需要使用到码盘，码盘是一种具有强分辨能力、高测量精度和可靠工作性的用来测量轴转角位置的测量元件，码盘在生产过程中需要使用光刻工艺对其进行线条雕刻，保证其具有高精度的测量效果，同时需要在完成雕刻后使用精雕设备对其外形进行剪切打磨，要保证码盘的外形尺寸的精度符合要求，现有技术中，公布了一种码盘切割裂片机，涉及码盘
，该码盘切割裂片机，包括裂片机本体，所述裂片机本体的顶部固定有支撑架，所述支撑架的顶部安装有气缸，所述气缸内部的活塞杆连接有刀片，所述裂片机本体的顶部且位于支撑架的内部固定有底座，所述刀片位于底座的上方，所述底座的内部设置有调节机构，且底座的顶部中间处安装有下料辅助机构，其通过控制转环的转动方向，可使连接环沿着螺柱向上或向下移动，在连接杆的作用下，可使三个限位快同步向底座的中心或边缘移动，进而可将码盘精确定位在底座顶部的中心处，以便提高码盘加工时的精确度，同时也使装置可对不同直径的码盘进行固定。
[0003]但是，上述结构之中存在不足之处，在对码盘进行固定时，切割刀片可能在对码盘外形尺寸进行切割过程中与夹具发生碰撞，导致切割刀片和夹具受损，需要操作人员维修处理，费时费力。
[0004]因此，有必要提供一种新的用于显微镜下检查的光刻版夹具解决上述技术问题。
技术实现思路
[0005]本技术解决的技术问题是提供一种通过在码盘底部进行吸附固定的方式来避免与切割刀片发生碰撞，同时能够使得光刻设备和切割设备能够进行位置调整从而保证码盘精度符合标准的用于显微镜下检查的光刻版夹具。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供的用于显微镜下检查的光刻版夹具包括输送箱，所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构；所述固定机构包括有电机一、螺纹长杆、移动块、圆柱块一、固定腔、安装槽、电机二、转动杆、锥形齿轮一、四个螺纹短杆一、四个锥形齿轮二、四个夹板、两个支撑板和长板，所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上，所述螺纹长杆固定安装在电机一的输出轴上，所述螺纹长杆的一端延伸至输送箱内并与输送箱转动连接，所述移动块螺纹安装在螺纹长杆上，所述移动块的顶部延伸至输送箱外，所述圆柱块一固定安装在移动块的顶部，所述固定腔开设在圆柱块一上，所述安装槽开设在固定腔的底部内壁上，所述电机二固定安装在安装槽的底部内壁上，所述转动杆固定安装在电机二的输出轴上，所述转动杆的顶端延伸至固定腔内，所述锥形齿轮一固定安装在转动杆的顶端，四个所述螺纹短杆一均转动安装在固定腔内，四个所述锥形齿轮二分别固定安装在对应的螺纹短杆一的一端，所述锥形齿轮二与锥形齿轮一啮合，四个所述夹板分别
螺纹安装在对应的螺纹短杆一上，所述夹板的顶部延伸至圆柱块一外，两个所述支撑板均固定安装在输送箱的顶部，所述长板固定安装在两个支撑板的顶部；
[0007]所述调整机构包括有液压缸、圆柱块二、圆形凹槽一、转动块、调整箱、电机三、螺纹短杆二和连接块，所述液压缸固定安装在长板的底部，所述圆柱块二固定安装在液压缸的输出轴上，所述圆形凹槽一开设在圆柱块二的底部，所述转动块转动安装在圆形凹槽一内，所述转动块的底部延伸至圆形凹槽一外，所述调整箱固定安装在转动块的底部，所述电机三固定安装在调整箱的一侧外壁上，所述螺纹短杆二固定安装在电机三的输出轴上，所述螺纹短杆二的一端延伸至调整箱内并与调整箱转动连接，所述连接块螺纹安装在螺纹短杆二上，所述连接块的底部延伸至调整箱外。
[0008]作为本技术的进一步方案，对应的所述连接块的底部固定安装有光刻设备，对应的所述连接块的底部固定安装有切割设备。
[0009]作为本技术的进一步方案，所述转动块的顶部开设有圆形凹槽二，所述圆形凹槽二的底部内壁上固定安装有齿环，所述圆形凹槽一的顶部内壁上固定安装有电机四，所述电机四的输出轴上固定安装有圆杆，所述圆杆的底端延伸至圆形凹槽二内，所述圆杆的底端固定安装有转动齿轮，所述转动齿轮与齿环啮合。
[0010]作为本技术的进一步方案，所述夹板的顶部固定安装有橡胶块，所述橡胶块上开设有吸气腔，所述吸气腔的顶部内壁上固定安装有多个气孔，所述夹板的一侧固定安装有抽气泵，所述抽气泵的进气口上固定安装有连接管，所述连接管的顶端延伸至吸气腔内。
[0011]作为本技术的进一步方案，所述固定腔内固定安装有四个T形滑杆，所述T形滑杆与对应的夹板滑动连接。
[0012]作为本技术的进一步方案，所述输送箱内固定安装有滑动杆一，所述滑动杆一与移动块滑动连接，所述调整箱内固定安装有滑动杆二，所述滑动杆二与连接块滑动连接。
[0013]与相关技术相比较，本技术提供的用于显微镜下检查的光刻版夹具具有如下有益效果：
[0014]1、本技术通过设置固定机构，所述固定机构使得可以通过在码盘底部进行吸附固定的方式对其进行固定，具有可以将码盘固定牢固避免夹具与切割刀片发生接触后受损的效果；
[0015]2、本技术通过设置调整机构，所述调整机构使得可以对加工设备的加工角度进行位置调整，具有可以通过调整加工设备的位置来保证码盘加工后的精准度的效果。
附图说明
[0016]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0017]图1为本技术用于显微镜下检查的光刻版夹具的正视剖视结构示意图；
[0018]图2为图1中A部分的放大结构示意图；
[0019]图3为图1中B部分的放大结构示意图；
[0020]图4为本技术中圆柱块一、固定腔、锥形齿轮一、螺纹短杆一、锥形齿轮二和夹板的装配图；
[0021]图5为本技术中夹板、橡胶块、吸气腔、气孔和抽气泵的装配图。
[0022]图中：1、输送箱；2、电机一；3、螺纹长杆；4、移动块；5、圆柱块一；6、固定腔；7、安装槽；8、电机二；9、转动杆；10、锥形齿轮一；11、螺纹短杆一；12、锥形齿轮二；13、夹板；14、支撑板；15、长板；16、液压缸；17、圆柱块二；18、圆形凹槽一；19、转动块；20、调整箱；21、电机三；22、螺纹短杆二；23、连接块；24、光刻设备；25、切割设备；26、圆形凹槽二；27、齿环；28、电机四；29、橡胶块；30、抽气泵。
具体实施方式
[0023]请结合参阅图1、图2、图3、图4和图5，其中，图1为本技术用于显微镜下检查的光刻版夹具的正视剖视结构示意图；图2为图1中A部分的放大结构示意图；图3为图1中B部分的放大结构示意图；图4为本技术中圆柱块一、固定腔、锥形齿轮一、螺纹短杆一、锥形齿轮二和夹板的装配图；图5为本技术中夹板、橡胶块、吸气腔、气孔和抽气泵的装配图。用于显微镜下检查的光刻版夹具包括输送箱1，所述输送箱1上设置有固定机构和两个调整机构；所述固定机构包括有电机一2、螺本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于，包括：输送箱，所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构；所述固定机构包括有电机一、螺纹长杆、移动块、圆柱块一、固定腔、安装槽、电机二、转动杆、锥形齿轮一、四个螺纹短杆一、四个锥形齿轮二、四个夹板、两个支撑板和长板，所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上，所述螺纹长杆固定安装在电机一的输出轴上，所述螺纹长杆的一端延伸至输送箱内并与输送箱转动连接，所述移动块螺纹安装在螺纹长杆上，所述移动块的顶部延伸至输送箱外，所述圆柱块一固定安装在移动块的顶部，所述固定腔开设在圆柱块一上，所述安装槽开设在固定腔的底部内壁上，所述电机二固定安装在安装槽的底部内壁上，所述转动杆固定安装在电机二的输出轴上，所述转动杆的顶端延伸至固定腔内，所述锥形齿轮一固定安装在转动杆的顶端，四个所述螺纹短杆一均转动安装在固定腔内，四个所述锥形齿轮二分别固定安装在对应的螺纹短杆一的一端，所述锥形齿轮二与锥形齿轮一啮合，四个所述夹板分别螺纹安装在对应的螺纹短杆一上，所述夹板的顶部延伸至圆柱块一外，两个所述支撑板均固定安装在输送箱的顶部，所述长板固定安装在两个支撑板的顶部；所述调整机构包括有液压缸、圆柱块二、圆形凹槽一、转动块、调整箱、电机三、螺纹短杆二和连接块，所述液压缸固定安装在长板的底部，所述圆柱块二固定安装在液压缸的输出轴上，所述圆形凹槽一开设在圆柱块二的底部，所述转动块转动安装在圆形凹槽一内，所述转动块的底部延伸至圆形凹槽一外，所述调整箱固定安装在转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆峰，
申请(专利权)人：长沙韶普光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。