【技术实现步骤摘要】
一种多矢量变面积式电容角位移编码器及其测量方法
[0001]本专利技术是一种多矢量变面积式电容角位移编码器及其测量方法,属于位移测量领域。
技术介绍
[0002]随着航空航天以及工业技术的发展,各种系统对传感器的要求也随之提高。
[0003]当今角位移测量领域,正朝着小型化、高精度、抗干扰、抗冲击等方向发展,例如火箭在发射过程中,其冲击加速度会达到300g,此时需要传感器具有良好的抗冲击特性;在某些狭小空间内进行精密的角位移测量时,则需要传感器拥有较小体积的同时仍具备较高的精度。
[0004]现在常用的角位移传感器的类型主要有:光栅式角位移传感器、感应同步器、磁栅式角位移传感器等。其中光栅角位移传感器在角位移测量中的应用非常广泛,占据市场的大部分份额。它主要利用光栅莫尔条纹现象实现对角度测量,由光敏元件、光栅副、光电信号处理系统等三大部分组成。在使用时由于编码限制,必须将光束集中在光栅上的特定位置点,因此对于机械装配和安装误差比较敏感。而在恶劣条件下,光栅码盘会因为机械冲击、振动或处于高温环境下等外部因素影响而受到破坏。同时,其精度和分辨力主要取决于光栅刻划的精密程度,这决定了高精度和高分辨力的光栅式角位移传感器体积会变得很大,难以在一些有限的空间中得到应用。
[0005]总之,传统的角位移传感器因其复杂的编码方式以及结构限制,难以实现小型化,同时受传感器材料影响,其抗振动冲击能力有限,且其性能容易受环境温度影响,难以适应恶劣的工作环境。亟需设计一种新型角位移传感器,使其在小型化方面得到改善,
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多矢量变面积式电容角位移编码器,其特征是,该装置由信号发生单元、电容式角位移编码器敏感单元和信号处理单元组成;由信号发生单元产生四路相位差为π/2的正弦信号,四路信号为电容式角位移编码器敏感单元的输入信号;经过电容式角位移编码器敏感单元感知角度变化,将输入信号调制为包含角度信息的信号输出;输出信号经过信号处理单元的解调输出角度信息。2.根据权利要求1所述的一种多矢量变面积式电容角位移编码器,其特征在于,所述的电容式角位移编码器敏感单元由发射极(1)、调制转子(2)以及接收极(3)组成,发射极(1)、调制转子(2)、接收极(3)三者平行依次同轴设置;发射极(3)和接收极(1)耦合形成多组、并联电容,起到信号的发送和接收作用;调制转子(2)为发射极(1)和接收极(3)形成的多组、并联耦合电容的介电介质,调制转子(2)连接于被测单元的轴(4)上,随轴(4)转动,感知角度信息。3.根据权利要求2所述的一种多矢量变面积式电容角位移编码器,其特征在于,所述发射极(1)由屏蔽极(1
‑
1)、粗码发射极(1
‑
2)和精码发射极(1
‑
3)组成,三者呈环状排列;粗码发射极(1
‑
2)位于内圈,精码发射极(1
‑
3)位于外圈;屏蔽极(1
‑
1)分别位于粗码发射极(1
‑
2)的内圈和精码发射极(1
‑
3)外圈的边缘;粗码发射极(1
‑
2)和精码发射极(1
‑
3)都由多个独立电极呈栅状排列组成,电极数量通常为4
×2n
‑2(n≥2),粗码数量小于精码数量。4.根据权利要求3所述的一种多矢量变面积式电容角位移编码器,其特征在于,所述接收极(3)由屏蔽极(3
‑
1)、粗码接收极(3
‑
2)和精码接收极(3
‑
3)组成,三者呈环状排列,粗码接收极(3
‑
2)位于内圈,精码接收极(3
‑
3)位于外圈,两者位置及半径分别与粗码发射极(1
‑
2)和精码发射极(1
‑
3)平行对应;屏蔽极(3
‑
1)位于粗码接收极(3
‑
2)的内圈和精码接收极(3
‑
3)外圈的边缘,防止相邻电极间的耦合以及防止边缘效应;所述粗码接收极(3
‑
2)和精码接收极(3
‑
3)为完整的环状电极;接收发射极(1)的发射信号,与发射极组成多组、并联耦合电容,输出被调制后的信号,输出信号为两路,分别为粗码输出信号和精码输出信号。5.根据权利要求3所述的一种多矢量变面积式电容角位移编码器,其特征在于,所述的调制转子(2)为固定介电常数的材质,调制转子(2)的数学模型为一圈正弦曲线,内圈模型极坐标方式为:r1(θ)=R1+A1sin(N
×
θ)外圈模型极坐标方式为:r2(θ)=R2+A2sin(M
×
θ)其中内圈模型R1为模型圆的半径,A1为正弦曲线的幅值,半径和幅值与发射极(1)的精码发射极(1
‑
3)的尺寸相对应;外圈模型R2为模型圆的半径,A2为正弦曲线的幅值,与粗码发射极(1
‑
2)的尺寸相对应;M、N为周期数调制转子(2)内外圈模型的一个周期分别对应粗码发射极(1
‑
2)和精码发射极(1
‑
3)的一组电极,调制转子(2)的周期数为2
n
‑2(n≥2);调制转子(2)为接收极(3)和发射极(1)组成的多组、并联耦合电容的介电介质,连接在轴(4)上感知角度信息,调制电容的变化,结合输入信号输出包含...
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