倾斜调整装置以及具备该倾斜调整装置的机器人制造方法及图纸

本发明专利技术的倾斜调整装置以及机器人的特征在于，具备至少三个球面滑动轴承，它们分别设置于第一部件与第二部件之间，从高度方向观察时配置于相互不同的部位，至少三个球面滑动轴承分别具有内圈以及外圈，内圈以及外圈中的任一方安装于第一部件，内圈以及外圈中的任意另一方安装于第二部件，在至少三个球面滑动轴承中的至少两个，分别在内圈和外圈中的任一方与第一部件之间、以及在内圈和外圈中的任意另一方与第二部件之间中的至少任一者，夹设有高度位置调整机构。位置调整机构。位置调整机构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】倾斜调整装置以及具备该倾斜调整装置的机器人


[0001]本专利技术涉及倾斜调整装置以及具备该倾斜调整装置的机器人。

技术介绍

[0002]以往，公知有半导体制造装置。这种半导体制造装置例如在专利文献1中被提出。
[0003]专利文献1的半导体制造装置具备晶圆移送装置。晶圆移送装置与用于收容多片晶圆的盒以及用于晶圆检查的检查装置邻接配置。晶圆移送装置具备Y字状或者U字状的多个晶圆支承部件、与晶圆支承部件各自的基端连结来支承晶圆支承部件的第一支承台和第二支承台、以及与第一支承台和第二支承台连结使得晶圆支承部件沿直线方向移动的移动装置。
[0004]专利文献1：日本特开2008－141158号公报
[0005]但是，在专利文献1以及以往存在的其他半导体制造装置中，存在相对于构成其一部分的第一部件而言，构成其另外一部分的第二部件倾斜的情况。

技术实现思路

[0006]因此，本专利技术的目的在于提供能够可靠地对构成该半导体制造装置的另外一部分的第二部件相对于构成半导体制造装置的一部分的第一部件的倾斜进行调整的倾斜调整装置、以及具备该倾斜调整装置的机器人。
[0007]为了解决上述课题，本专利技术的倾斜调整装置用于调整相对于构成半导体制造装置的一部分的第一部件的、构成上述半导体制造装置的另外一部分的第二部件的倾斜，上述倾斜调整装置的特征在于，具备：上述第一部件；上述第二部件，其以与上述第一部件对置的方式设置；以及至少三个球面滑动轴承，它们分别设置于上述第一部件与上述第二部件之间，且从高度方向观察的情况下配置于相互不同的部位，上述至少三个球面滑动轴承分别具有内圈以及外圈，上述内圈以及上述外圈中的任一方安装于上述第一部件，上述内圈以及上述外圈中的任意另一方安装于上述第二部件，在上述至少三个球面滑动轴承中的至少两个，分别在上述内圈和上述外圈中的任一方与上述第一部件之间、以及在上述内圈和上述外圈中的任意另一方与上述第二部件之间中的至少任一者，夹设有高度位置调整机构。
[0008]根据上述结构，至少三个球面滑动轴承之中的至少两个分别通过高度位置调整机构被调整高度位置。由此，第一部件以及第二部件分别被调整相互的倾斜使得不会歪斜。其结果是，能够可靠地调整构成该半导体制造装置的另外一部分的第二部件相对于构成半导体制造装置的一部分的第一部件的倾斜。
[0009]专利技术的效果
[0010]根据本专利技术，可提供能够可靠地对构成该半导体制造装置的另外一部分的第二部件相对于构成半导体制造装置的一部分的第一部件的倾斜进行调整的倾斜调整装置、以及具备该倾斜调整装置的机器人。
附图说明
[0011]图1是表示本专利技术的一实施方式的机器人的整体结构的立体图。
[0012]图2是表示本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的立体图。
[0013]图3是本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的沿高度方向的剖视图。
[0014]图4是表示本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的高度位置调整机构的一部分的立体图。
[0015]图5是表示本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的蜗轮蜗杆副的简图。
[0016]图6是表示本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的球面滑动轴承、外螺纹部件以及内螺纹部件的分解立体图。
[0017]图7是本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的球面滑动轴承及其周边部分的沿高度方向的剖视图，图7中的(A)是表示调整机器人的倾斜之前的状态的剖视图，图7中的(B)是表示通过高度调整机构调整了机器人的倾斜之后的状态的剖视图。
[0018]图8是表示具备本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置的半导体制造装置的变形例的简图，图8中的(A)是表示第一变形例的简图，图8中的(B)是表示第二变形例的简图。
具体实施方式
[0019]以下，基于附图说明本专利技术的一实施方式的倾斜调整装置以及具备该倾斜调整装置的机器人。此外，并非通过本实施方式限定本专利技术。另外，以下，通过全部附图对相同或者相当的要素标注相同的参照附图标记，并省略其重复说明。
[0020](机器人10)
[0021]图1是表示本实施方式的机器人的整体结构的立体图。如图1所示，本实施方式的机器人10构成为半导体制造装置5的一部分，用于保持并搬运在图1中用单点划线表示的半导体基板S。机器人10具备沿高度方向延伸的板状的基体12、和通过其基端安装于基体12且被未图示的第一驱动装置驱动而能够在基体12上沿高度方向移动的手腕部14。
[0022]机器人10还具备被规定了用于保持半导体基板S的保持位置的三个托板16a～16c、和保持三个托板16a～16c的基端的保持部件20。
[0023]另外，机器人10还具备：旋转轴22，其基端安装于后述倾斜调整装置50，且沿高度方向延伸(参照图2)；以及支承部件24，其基端经由旋转轴22安装于倾斜调整装置50，能够绕旋转轴22旋转，用于支承保持部件20。保持部件20被未图示的第二驱动装置驱动，从而能够在支承部件24上沿图1所示的长度方向直线移动。
[0024](倾斜调整装置50)
[0025]图2是表示本实施方式的倾斜调整装置的立体图。本实施方式的机器人10还具备倾斜调整装置50。倾斜调整装置50设置于手腕部14的前端。
[0026]倾斜调整装置50具备设置于手腕部14侧的板状的第一部件52、和以与第一部件52对置的方式设置于保持部件20侧的板状的第二部件54。此外，第一部件52也是构成半导体制造装置5的一部分的部件，第二部件54也是构成半导体制造装置5的另外一部分的部件。而且，倾斜调整装置50是为了对构成半导体制造装置5的另外一部分的第二部件54相对于构成半导体制造装置5的一部分的第一部件52的倾斜进行调整而设置的。
[0027]倾斜调整装置50还具备分别设置于第一部件52与第二部件54之间、且在沿高度方
向观察的情况下相互配置于不同部位的三个球面滑动轴承60、80a、80b。
[0028]球面滑动轴承60设置于将倾斜调整装置50在宽度方向上的中心从基端向前端延伸而成的中心轴线L上的前端。球面滑动轴承80a、80b分别设置于比球面滑动轴承60靠机器人10的基端侧的位置。另外，球面滑动轴承80a、80b分别配置为在沿高度方向观察的情况下将中心轴线L作为对称轴而成为线对称。此外，球面滑动轴承80a、80b分别配置于比球面滑动轴承60高的相同的高度位置。
[0029]图3是本实施方式的倾斜调整装置的沿高度方向的剖视图。如图3所示，球面滑动轴承60具有内圈62以及外圈64。球面滑动轴承60的外圈64经由第一中间部件30安装于第一部件52，内圈62通过螺钉38a安装于第二部件54。外圈64通过螺钉38b、38c等安装于第一中间部件30，第一中间部件30通过螺钉38d～38f等安装于第一部件52。此外，在外圈64与第一部件52之间未夹设有后述的高度位置调整机构100。
[0030]如图3所示，球面滑动轴承80a具有内圈82以及外圈84本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种倾斜调整装置，用于调整相对于构成半导体制造装置的一部分的第一部件的、构成所述半导体制造装置的另外一部分的第二部件的倾斜，所述倾斜调整装置的特征在于，具备：所述第一部件；所述第二部件，其以与所述第一部件对置的方式设置；以及至少三个球面滑动轴承，它们分别设置于所述第一部件与所述第二部件之间，且从高度方向观察的情况下配置于相互不同的部位，所述至少三个球面滑动轴承分别具有内圈以及外圈，所述内圈以及所述外圈中的任一方安装于所述第一部件，所述内圈以及所述外圈中的任意另一方安装于所述第二部件，在所述至少三个球面滑动轴承中的至少两个，分别在所述内圈和所述外圈中的任一方与所述第一部件之间、以及在所述内圈和所述外圈中的任意另一方与所述第二部件之间中的至少任一者，夹设有高度位置调整机构。2.根据权利要求1所述的倾斜调整装置，其特征在于，所述高度位置调整机构具有马达、和通过所述马达的旋转驱动而沿所述高度方向移动的移动部件，所述移动部件固定于所述内圈以及所述外圈中的任一方。3.根据权利要求2所述的倾斜调整装置，其特征在于，所述高度位置调整机构还具有减速机构，该减速机构用于减小由所述马达产生的动力并将其输出至所述移动部件。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的倾斜调整装置，其特征在于，所述至少三个球面滑动轴承中的至少两个分别构成为：所述内圈安装于所述第一部件，所述外圈安装于所述第二部...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水一平，前田佳树，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：