一种洗涤塔、水雾捕捉装置以及废气处理系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种洗涤塔、水雾捕捉装置以及废气处理系统，洗涤塔包括塔体，所述塔体构造有内部空腔及与所述内部空腔相连通的进口和出口，其特征在于，所述内部空腔中还设置有用于阻挡水雾的挡水部件及若干滤水部件，且所述挡水部件和滤水部件分别叠放于出口的下方，所述滤水部件用于吸附气体中的水；本洗涤塔，结构紧凑、设计合理，不仅可以有效拦截气体中的水汽、降低排气湿度，从而有效避免取样检测设备出现错误报警判断的问题，而且可以增加气阻，延长气体在内部空腔中滞留反应的时长，从而可以调节药液浓度、减少药液用量，达到降低成本的目的。低成本的目的。低成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种洗涤塔、水雾捕捉装置以及废气处理系统


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体涉及一种洗涤塔、水雾捕捉装置以及废气处理系统。

技术介绍

[0002]三五族化合物半导体MOCVD外延制程会产生废气，在废气处理过程中需要使用水洗式废气洗涤塔（或称为过滤塔），以便去除废气中存留的AsH3/PH3制程气体。
[0003]在处理废气的过程中，水洗式洗涤塔可以单独使用，也可以串联使用（例如，包括一级水洗式洗涤塔及与一级水洗式洗涤塔串联的二级水洗式洗涤塔），在实际运行过程中，水洗式洗涤塔对尾气（废气）处理完成后达标排放，通常需要对排放的气体进行抽样检测，由于气体中水汽含量高、湿度大，导致在气体抽样检测时容易出现水珠凝结的现象，会导致检测设备出现错误报警判断，亟待解决。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于解决现有水洗式洗涤塔所排放的气体中，水汽含量高、湿度大，在进行气体抽样检测时容易出现水珠凝结的现象，会导致检测设备出现错误报警判断的问题，提供了一种洗涤塔，包括塔体，所述塔体构造有内部空腔及与所述内部空腔相连通的进口和出口，
[0005]所述内部空腔中还设置有用于阻挡水雾的挡水部件及若干滤水部件，且所述挡水部件和滤水部件分别叠放于出口的下方，所述滤水部件用于吸附气体中的水。本洗涤塔，通过在塔体构造内部空腔，用于为废气的水洗过程提供相对封闭的空间；而通过在出口的下方之间设置挡水部件，可以有效阻挡和拦截水或水雾，从而有效防止水或水雾沿出口排出，有利于拦截气体中的水汽、降低排气湿度；而通过在出口的下方设置滤水部件，可以在气体横穿滤水部件的过程中，进一步吸附气体中的水，从而可以进一步的拦截气体中的水汽、可以有效降低排气湿度，从而可以减少取样检测设备的错误报警判断，此外，由于设置了挡水部件和若干滤水部件，会增加气阻，可延长气体在内部空腔中滞留反应的时长，从而可以调节药液浓度、减少药液用量，达到降低成本的目的。
[0006]优选的，所述内部空腔中设置有喷淋装置，且所述挡水部件和滤水部件分别叠放于喷淋装置与出口之间。本方案中，通过在内部空腔设置喷淋装置，以便用水喷淋废气或产生水雾，达到洗涤废气的效果。
[0007]优选的，所述滤水部件设置于挡水部件与出口之间。使得气体依次穿过挡水部件和滤水部件，最后经由出口排出，更有利于拦截气体中的水汽，更有利于降低排气湿度。
[0008]为解决挡水部件和滤水部件的高效安装和更换问题，进一步的，还包括网罩，所述挡水部件和滤水部件分别叠放于所述网罩内，并通过网罩约束为一体。即网罩可以将挡水部件及滤水部件约束为一体，以便整体安装和更换，不仅非常的方便，而且网罩还具有一定的过滤和拦截水汽的效果，可以进一步降低排气湿度。
[0009]为增强吸水效果，优选的，所述网罩为棉质材料制成。以便具有良好的吸水、拦水效果。
[0010]为便于约束挡水部件和滤水部件，优选的，所述网罩为袋状结构，且袋口处设置有一圈绳子，绳子用于收紧袋口。所述挡水部件和滤水部件可以装在所述网罩内，并利用袋口处的绳子收紧袋口即可，非常的方便。
[0011]为解决挡水的问题，优选的，所述挡水部件为板状结构，且挡水部件构造有若干用于通气的网孔。通过设置网孔，使得挡水部件可以构成网孔板状结构，网孔的密度可以根据实际需求而定，既可以有效拦截水和水雾，起到挡水的作用，又使得气体可以顺利的经由网孔穿过挡水部件。
[0012]优选的，所述挡水部件采用PP材料制成。更有利于拦截和捕捉水雾。
[0013]优选的，所述滤水部件为饼状结构，和/或，所述滤水部件分别采用棉材制成。采用饼状结构的滤水部件，既便于安装于所述内部空腔中，又可以横向拦截气体，使得气体只能横穿滤水部件，而采用棉材制成的滤水部件，具有良好的滤水效果，更有利于吸附气体中的水，降低气体的湿度；此外，由于气体中可能还存在一定量的AsH3和/或PH3，在气体穿过棉材制成的滤水部件时，滤水部件也具备一定的AsH3和/或PH3废气反应和处理能力，因此，采用棉材制成的滤水部件还可以进一步提高废气处理能力，减少药液损耗。
[0014]优选的，所述滤水部件采用生化棉、泡棉、活性炭棉或过滤棉制成。其中，所述过滤棉为合成纤维过滤棉、无纺布过滤棉、玻璃纤维过滤棉或活性炭过滤棉。
[0015]为便于挡水部件和滤水部件的安装，进一步的，所述内部空腔构造有用于支撑挡水部件的支撑架。
[0016]一种废气处理系统，包括所述洗涤塔。
[0017]一种水雾捕捉装置，包括壳体，所述壳体构造有内部空腔及与所述内部空腔相连通的入口和出口，所述内部空腔中设置用于阻挡水雾的挡水部件及若干滤水部件，所述滤水部件用于吸附气体中的水，
[0018]所述入口处构造有用于连接洗涤塔或管道的连接部。即，本方案中，水雾捕捉装置是一个单独的设备，在使用时，安装于洗涤塔的出口处即可，使得从洗涤塔排出的气体穿过本水雾捕捉装置后才能排放，以便利用内部的挡水部件和滤水部件达到挡水、吸水的作用，不仅可以有效拦截气体中的水汽、水雾，降低排气湿度，避免取样检测设备出现错误报警判断的问题。
[0019]优选的，所述挡水部件采用PP材料制成，挡水部件为板状结构并构造有若干用于通气的网孔；
[0020]和/或，所述滤水部件为饼状结构，且滤水部件分别采用棉材制成。
[0021]优选的，所述连接部为法兰盘。
[0022]一种废气处理系统，包括洗涤塔和水雾捕捉装置，且所述水雾捕捉装置的入口与洗涤塔的出口相连通。即本水雾捕捉装置可以与现有的洗涤塔配合使用，达到拦截气体中的水汽、水雾，降低排气湿度的目的。
[0023]与现有技术相比，使用本技术提供的一种洗涤塔、水雾捕捉装置以及废气处理系统，结构紧凑、设计合理，不仅可以有效拦截气体中的水汽、降低排气湿度，从而有效避免取样检测设备出现错误报警判断的问题，而且可以增加气阻，延长气体在内部空腔中滞
留反应的时长，从而可以调节药液浓度、减少药液用量，达到降低成本的目的。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0025]图1为本技术实施例1中提供的一种废气处理系统中，一种洗涤塔的爆炸示意图。
[0026]图2为本技术实施例1中提供的一种洗涤塔的局部剖视图。
[0027]图3为本技术实施例2中提供的一种网罩约束挡水部件和滤水部件后的结构示意图。
[0028]图4为图3的仰视图。
[0029]图5为图4的A
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A视图。
[0030]图6为图3所提供的网罩的三维结构示意图。
[0031]图7为图6的局部放大示意图I。
[0032本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种洗涤塔，包括塔体，所述塔体构造有内部空腔及与所述内部空腔相连通的进口和出口，其特征在于，所述内部空腔中还设置有用于阻挡水雾的挡水部件及若干滤水部件，且所述挡水部件和滤水部件分别叠放于出口的下方，所述滤水部件用于吸附气体中的水。2.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述内部空腔中设置有喷淋装置，且所述挡水部件和滤水部件分别叠放于喷淋装置与出口之间。3.根据权利要求2所述的洗涤塔，其特征在于，所述滤水部件设置于挡水部件与出口之间；和/或，所述内部空腔构造有用于支撑挡水部件的支撑架。4.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述挡水部件为板状结构，且挡水部件构造有若干用于通气的网孔；和/或，所述滤水部件为饼状结构，且所述滤水部件分别采用棉材制成。5.根据权利要求4所述的洗涤塔，其特征在于，所述挡水部件采用PP材料制成；和/或，所述滤水部件采用生化棉、泡棉、活性炭棉或过滤棉制成。6.根据权利要求1
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5任一所述的洗涤塔，其特征在于，还包括网罩，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯嘉志，林谷彦，杭青岭，
申请(专利权)人：江苏索尔思通信科技有限公司，
类型：新型
国别省市：