一种工作效率高的石墨钟罩炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种工作效率高的石墨钟罩炉，涉及到石墨钟罩炉技术领域，包括固定架，所述固定架底部固定设置有下底座，所述固定架中部一侧固定设置钟罩炉底座，所述钟罩炉底座顶部固定铰接设置有钟罩体，所述下底座与钟罩炉底座竖直对应设置，所述下底座与钟罩炉底座两端之间固定设置有导向杆，两个所述导向杆之间设置有升降座，所述升降座两端与分别与导向杆活动连接。所述升降座中部固定设置有电极，所述电极顶部贯穿钟罩炉底座中部伸入钟罩体内部。本实用新型专利技术通过升降座下降，带动电极下降，使得硅芯取出钟罩体，方便产品的卸取，提高工作效率，同时减少钟罩体内部热量的流失，节约能量。节约能量。节约能量。

【技术实现步骤摘要】
一种工作效率高的石墨钟罩炉


[0001]本技术涉及石墨钟罩炉
，特别涉及一种工作效率高的石墨钟罩炉。

技术介绍

[0002]国内外在多晶硅生产中主要运用的工艺方法是改良西门子法，用提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按一定比例混合后通入炉体，同时给安装在电极上的硅芯加上一定的电压，硅芯有电流流过，使硅芯产生热量。炉体内气体在一定温度和压力下发生复杂的化学沉积反应，使多晶硅在硅芯沉积，最终制备多晶硅产品。一般情况下，炉内工作温度为1000℃左右，炉体材质一般为不锈钢或者碳钢不锈钢复合材料，为保护炉体不被高温损坏，也为了避免炉内副反应的产生，一般采用夹套冷却，通入循环冷却介质，移走辐射至炉壁的热量，以维持适宜的炉体温度。
[0003]由于炉体内气体在一定温度和压力下发生复杂的化学沉积反应，使多晶硅在硅芯沉积，最终制备多晶硅产品，硅芯需要及时的更换，现有硅芯更换操作不便，影响石墨钟罩炉的工作效率。
[0004]因此，专利技术一种工作效率高的石墨钟罩炉来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

[0005]为此，本技术实施例提供一种工作效率高的石墨钟罩炉，通过升降座下降，带动电极下降，使得硅芯取出钟罩体，方便产品的卸取，提高工作效率，同时减少钟罩体内部热量的流失，节约能量，以解决现有技术中由于多晶硅在硅芯上沉积，硅芯更换不方便，影响石墨钟罩炉的工作效率，导致的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：一种工作效率高的石墨钟罩炉，包括固定架，所述固定架底部固定设置有下底座，所述固定架中部一侧固定设置钟罩炉底座，所述钟罩炉底座顶部固定铰接设置有钟罩体，所述下底座与钟罩炉底座竖直对应设置，所述下底座与钟罩炉底座两端之间固定设置有导向杆，两个所述导向杆之间设置有升降座，所述升降座两端与分别与导向杆活动连接；
[0007]所述升降座中部固定设置有电极，所述电极顶部贯穿钟罩炉底座中部伸入钟罩体内部，所述电极顶部固定设置有石墨夹头，所述石墨夹头顶部可拆卸设置有硅芯，所述钟罩体底部外侧固定设置有混合环形管，所述混合环形管内圈固定设置有进气嘴，所述进气嘴贯穿伸入钟罩体内部。
[0008]进一步的，所述固定架顶部一侧固定设置有升降气缸，所述升降气缸输出端与升降座一端固定连接。
[0009]进一步的，所述升降座顶部固定设置有密封垫圈，所述密封垫圈与钟罩炉底座底端面对应设置。
[0010]进一步的，所述混合环形管外圈固定设置有进气管，所述进气嘴数量设置为多个，多个所述进气嘴关于混合环形管轴心呈中心对称设置。
[0011]进一步的，所述钟罩体外部固定设置有夹套，所述钟罩体顶部内圈固定设置有冷却风仓。
[0012]进一步的，所述冷却风仓内部中空且环形设置，所述冷却风仓外部一端固定设置有进风泵，所述冷却风仓外部另一端固定设置有出风口。
[0013]进一步的，所述冷却风仓内圈固定设置有散热导体，所述散热导体由金属材料制成并呈E字形设置。
[0014]本技术实施例具有如下优点：
[0015]1、本技术通过电极上利用石墨夹头固定硅芯，加上一定的电压，硅芯有电流流过，使硅芯产生热量，混合环形管配合进气嘴将混合气体送入炉体内，气体温度和压力进行反应，使多晶硅在硅芯沉积，最终制备多晶硅产品，后续升降座下降，带动电极下降，使得硅芯取出钟罩体，方便产品的卸取，提高工作效率，同时减少钟罩体内部热量的流失，节约能量；
[0016]2、本技术通过钟罩体顶部设置冷却风仓，利用进风泵带动外部空气进入冷却风仓，后续空气从出风口排出，快速流动的空气配合散热导体，实现钟罩体内部的快速散热，实现快速调节石墨钟罩炉内部温度，提高工作效率。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其它的实施附图。
[0018]本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所涵盖的范围内。
[0019]图1为本技术提供的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术提供图1的A部结构示意图；
[0021]图3为本技术提供冷却风仓的俯视剖面结构示意图；
[0022]图4为本技术提供图1的B部结构示意图；
[0023]图5为本技术提供散热导体的整体结构示意图；
[0024]图中：1固定架、2下底座、3钟罩炉底座、4钟罩体、5导向杆、6升降座、7电极、8石墨夹头、9硅芯、10混合环形管、11进气嘴、12升降气缸、 13密封垫圈、14进气管、15夹套、16冷却风仓、17进风泵、18出风口、19 散热导体。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术提供了如图1
‑
5所示的一种工作效率高的石墨钟罩炉，包括固定架1，所述固定架1底部固定设置有下底座2，所述固定架1中部一侧固定设置钟罩炉底座3，所述钟罩炉底座3顶部固定铰接设置有钟罩体4，所述下底座2与钟罩炉底座3竖直对应设置，所述下底座2与钟罩炉底座3两端之间固定设置有导向杆5，两个所述导向杆5之间设置有升降座6，所述升降座6两端与分别与导向杆5活动连接，升降座6下降，带动电极7下降，使得硅芯9取出钟罩体4，方便产品的卸取，提高工作效率，同时减少钟罩体4 内部热量的流失，节约能量；
[0027]所述升降座6中部固定设置有电极7，所述电极7顶部贯穿钟罩炉底座3 中部伸入钟罩体4内部，所述电极7顶部固定设置有石墨夹头8，所述石墨夹头8顶部可拆卸设置有硅芯9，所述钟罩体4底部外侧固定设置有混合环形管 10，所述混合环形管10内圈固定设置有进气嘴11，所述进气嘴11贯穿伸入钟罩体4内部，电极7上利用石墨夹头8固定硅芯9，加上一定的电压，硅芯 9有电流流过，使硅芯9产生热量，混合环形管10配合进气嘴11将混合气体送入炉体内，气体温度和压力进行反应，使多晶硅在硅芯沉积，最终制备多晶硅产品，同时方便硅芯9取下，提高工作效率。
[0028]进一步的，所述固定架1顶部一侧固定设置有升降气缸12，所述升降气缸12输出端与升降座6一端固定连接，利用升降气缸1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工作效率高的石墨钟罩炉，其特征在于：包括固定架(1)，所述固定架(1)底部固定设置有下底座(2)，所述固定架(1)中部一侧固定设置钟罩炉底座(3)，所述钟罩炉底座(3)顶部固定铰接设置有钟罩体(4)，所述下底座(2)与钟罩炉底座(3)竖直对应设置，所述下底座(2)与钟罩炉底座(3)两端之间固定设置有导向杆(5)，两个所述导向杆(5)之间设置有升降座(6)，所述升降座(6)两端与分别与导向杆(5)活动连接；所述升降座(6)中部固定设置有电极(7)，所述电极(7)顶部贯穿钟罩炉底座(3)中部伸入钟罩体(4)内部，所述电极(7)顶部固定设置有石墨夹头(8)，所述石墨夹头(8)顶部可拆卸设置有硅芯(9)，所述钟罩体(4)底部外侧固定设置有混合环形管(10)，所述混合环形管(10)内圈固定设置有进气嘴(11)，所述进气嘴(11)贯穿伸入钟罩体(4)内部。2.根据权利要求1所述的一种工作效率高的石墨钟罩炉，其特征在于：所述固定架(1)顶部一侧固定设置有升降气缸(12)，所述升降气缸(12)输出端与升降座(6)一端固定连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：史秋生，
申请(专利权)人：苏州锦业源自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：