本发明专利技术涉及待干燥部件干燥技术领域，公开一种吹扫干燥装置和吹扫干燥系统。该吹扫干燥装置包括支撑台板和支撑侧壁，支撑台板用于铺设在框架上，支撑台板包括在台板厚度方向上相对布置的上侧板面和下侧板面；支撑侧壁设置在上侧板面上并围住支撑台板的至少一部分板区，支撑侧壁和至少一部分板区围成气腔，支撑侧壁的上部敞开以形成气腔的出气口，支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在支撑侧壁上的待干燥部件能够封盖住出气口，其中，气腔的腔壁上设置有与气腔连通的进气结构。该吹扫干燥装置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，以缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。并提升生成效率。并提升生成效率。
【技术实现步骤摘要】
吹扫干燥装置和吹扫干燥系统
[0001]本专利技术涉及待干燥部件干燥
，尤其是涉及一种吹扫干燥装置和一种吹扫干燥系统。
技术介绍
[0002]目前，CVD(Chemical Vapor Deposition)成膜工艺是整个集成电路产业和面板产业的基础，直接决定半导体器件的性能和可靠性。例如，在高温下，将真空设备的腔体抽至真空状态时，通入反应气体，将高频电源施加在上部电极（又称扩散器）上形成电场，在电场作用下反应气体电离形成具有很强化学活性的等离子(整体呈电中性)，下部电极及加热基座提供温度并承载玻璃基板，等离子体通过电场作用，在玻璃基板上结合形成所需要的半导体薄膜。在化学气相沉积装置中，扩散器具有将气体均匀扩散在玻璃基板上的扩散作用，同时还起到等离子体电极作用。
[0003]在实际生产中，扩散器长时间使用后性能下降，容易产生微粒，从而造成产品品质下降，因此需要进行清洗维修。然而，现有的清洗维修方式存在烘烤时间很长（通常大于5小时）、能耗高、人工吹扫劳动强度大，生产效率低等问题。
技术实现思路
[0004]针对以上现有技术中存在的至少一个问题，本专利技术的一个目的是提供一种吹扫干燥装置，该吹扫干燥装置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，以缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供一种吹扫干燥装置，该吹扫干燥装置包括支撑台板和支撑侧壁，所述支撑台板用于铺设在框架上，所述支撑台板包括在台板厚度方向上相对布置的上侧板面和下侧板面；所述支撑侧壁设置在所述上侧板面上并围住所述支撑台板的至少一部分板区，所述支撑侧壁和所述至少一部分板区围成气腔，所述支撑侧壁的上部敞开以形成所述气腔的出气口，所述支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在所述支撑侧壁上的所述待干燥部件能够封盖住所述出气口，其中，所述气腔的腔壁上设置有与所述气腔连通的进气结构。
[0006]在该技术方案中，由于支撑侧壁和至少一部分板区围成气腔，并且支撑侧壁的上部敞开以形成气腔的出气口，同时支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在支撑侧壁上的待干燥部件能够封盖住出气口，这样，该吹扫干燥装置在实际使用中，可以将支撑台板铺设在框架上，将待干燥部件例如扩散器或其他部件等支撑在支撑侧壁上，此时待干燥部件将封盖住出气口以使得气腔形成为密闭空间，这样就可以对待干燥部件进行稳定可靠的支撑，此时，加热的压缩气体可以通过进气结构通入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。这样，该吹扫干燥装
置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，从而有效缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
[0007]在本专利技术的一个实施方式中，所述进气结构设置在所述至少一部分板区上。
[0008]在本专利技术的一个实施方式中，所述进气结构包括进气罩和多个进气孔，其中，所述进气罩设置在所述下侧板面上以在所述进气罩和所述下侧板面之间围成进气空间，多个所述进气孔贯穿所述至少一部分板区的台板厚度并位于所述进气空间内，所述进气罩设置有与所述进气空间连通的进气管。
[0009]在本专利技术的一个实施方式中，多个所述进气孔以预定间距多行多列布置，所述进气罩为与行数或列数相同的多个，其中，每个所述进气罩罩住各自对应的每一行所述进气孔或每一列所述进气孔。
[0010]在本专利技术的一个实施方式中，所述至少一部分板区的上侧板面上活动地设置有调节盖板，所述调节盖板能够调节至少一个所述进气孔的孔口大小。
[0011]在本专利技术的一个实施方式中，所述调节盖板上形成有多个调节孔，每个所述调节孔对应每个所述进气孔布置，所述调节盖板活动时能够调整所述调节孔和所述进气孔的重叠面积，以同时调整多个所述进气孔的孔口大小。
[0012]在本专利技术的一个实施方式中，所述支撑侧壁能够在所述上侧板面上调整到设定位置以调节所述至少一部分板区的区域面积。
[0013]在本专利技术的一个实施方式中，所述上侧板面上设置有多个在从所述上侧板面的中心向外的方向上间隔布置的定位孔，所述支撑侧壁能够分别定位到各个所述定位孔以调整到所述设定位置。
[0014]在本专利技术的一个实施方式中，所述支撑侧壁包括环形支撑侧壁和中间支撑侧壁，所述中间支撑侧壁位于所述环形支撑侧壁围成的圈内，以在所述至少一部分板区上形成多个相互隔离的所述气腔，每个所述气腔设置有各自的所述进气结构。
[0015]在本专利技术的一个实施方式中，所述中间支撑侧壁能够调整位置以调节各个所述气腔的大小。
[0016]在本专利技术的一个实施方式中，所述吹扫干燥装置包括框架，其中，所述支撑台板铺设在所述框架上。
[0017]此外，本专利技术提供一种吹扫干燥系统，包括加热器、加热控制器和以上任意所述的吹扫干燥装置，其中，所述加热器包括进气端和出气端，所述加热控制器能够控制所述加热器，所述吹扫干燥装置的进气结构和所述出气端连通。
[0018]这样，如上所述的，在实际使用中，可以将待干燥部件例如扩散器或其他部件等支撑在支撑侧壁上，此时待干燥部件将封盖住出气口以使得气腔形成为密闭空间，这样就可以对待干燥部件进行稳定可靠的支撑，此时，加热控制器控制加热器加热的压缩气体可以通过进气结构通入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。这样，该吹扫干燥系统能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，从而有效缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
[0019]显而易见，在以上单个实施方式中描述的元件或特征可以在其它实施方式中单独
或组合使用。
附图说明
[0020]在附图中，尺寸和比例不代表实际产品的尺寸和比例。附图仅仅是说明性的，并且为了清楚起见，省略了某些非必要的元件或特征。
[0021]图1是示例性地示出根据本专利技术的一种实施方式的吹扫干燥装置的俯视视角的立体结构示意图。
[0022]图2是图1的吹扫干燥装置的俯视结构示意图。
[0023]图3是图1的吹扫干燥装置的仰视视角的立体结构示意图。
[0024]图4是图1的吹扫干燥装置的仰视结构示意图。
[0025]图5是图1的吹扫干燥装置的侧视结构示意图。
[0026]图6是示例性地示出根据本专利技术的另一种实施方式的吹扫干燥装置中调节进气孔的孔口大小的示意图。
[0027]图7是示例性地示出根据本专利技术的再一种实施方式的吹扫干燥装置的俯视结构示意图。
[0028]图8是示例性地示出根据本专利技术的一种实施方式的吹扫干燥系统的简易示意图。
[0029]附本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种吹扫干燥装置，其特征在于，包括：支撑台板（1），所述支撑台板（1）用于铺设在框架（2）上，所述支撑台板（1）包括在台板厚度方向上相对布置的上侧板面（3）和下侧板面（4）；支撑侧壁，所述支撑侧壁设置在所述上侧板面（3）上并围住所述支撑台板（1）的至少一部分板区（5），所述支撑侧壁和所述至少一部分板区（5）围成气腔（6），所述支撑侧壁的上部敞开以形成所述气腔（6）的出气口，所述支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在所述支撑侧壁上的所述待干燥部件能够封盖住所述出气口，其中，所述气腔（6）的腔壁上设置有与所述气腔（6）连通的进气结构。2.根据权利要求1所述的吹扫干燥装置，其特征在于，所述进气结构设置在所述至少一部分板区（5）上。3.根据权利要求2所述的吹扫干燥装置，其特征在于，所述进气结构包括进气罩（7）和多个进气孔（8），其中，所述进气罩（7）设置在所述下侧板面（4）上以在所述进气罩（7）和所述下侧板面（4）之间围成进气空间，多个所述进气孔（8）贯穿所述至少一部分板区（5）的台板厚度并位于所述进气空间内，所述进气罩（7）设置有与所述进气空间连通的进气管（9）。4.根据权利要求3所述的吹扫干燥装置，其特征在于，多个所述进气孔（8）以预定间距多行多列布置，所述进气罩（7）为与行数或列数相同的多个，其中，每个所述进气罩（7）罩住各自对应的每一行所述进气孔（8）或每一列所述进气孔（8）。5.根据权利要求3所述的吹扫干燥装置，其特征在于，所述至少一部分板区（5）的上侧板面上活动地设置有调节盖板（10），所述调节盖板能够调节至少一个所述进气孔（8）的孔口大小。6.根据权利要求5所述的吹扫干燥装置，其特征在于，所述调节盖板（10）上形成有多个调节孔（11），每个所述调节孔（11）对应每个所述进气...
【专利技术属性】
技术研发人员：万俊，刘晓刚，刘超，李仁杰，权太植，蔡广云，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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