一种骨架油封密封装置制造方法及图纸

技术编号:33233885 阅读:37 留言:0更新日期:2022-04-27 17:31
本实用新型专利技术涉及旋转轴密封技术领域,具体公开了一种骨架油封密封装置,包括:支撑环、骨架、挡圈和骨架油封,骨架油封的外侧设有波纹结构,支撑环设于骨架油封内,骨架安装于支撑环的右侧,挡圈安装于骨架上,多个骨架油封串联设置于旋转轴上。本实用新型专利技术通过改变原有油封的结构及数量,显著改善了密封效果,在高温、真空环境中使用时不易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题,不仅有助于阴极驱动设备的稳定进行,还会延长其使用寿命。还会延长其使用寿命。还会延长其使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种骨架油封密封装置


[0001]本技术涉及旋转轴密封
,尤其涉及一种骨架油封密封装置。

技术介绍

[0002]溅镀
中,需要使用阴极驱动器驱动阴极或阴极支撑件旋转。由于溅镀在高温、真空下进行,因此阴极驱动器内的旋转轴的骨架油封长时间在高温真空环境中运行,加之冷却水处理中常温水经过热传递后出现高温废水,骨架油封密封效果差,极易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题,不仅不利于阴极驱动设备的稳定进行,还会缩短其的使用寿命。故提出本申请。

技术实现思路

[0003]为解决以上现有技术的不足,本技术提出了一种骨架油封密封装置,以解决现有技术在溅镀领域使用时骨架油封密封效果差,极易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题。
[0004]一种骨架油封密封装置,用于密封旋转轴,包括:支撑环、骨架、挡圈和骨架油封,骨架油封的外侧设有波纹结构,支撑环设于骨架油封内,骨架安装于支撑环的右侧,挡圈安装于骨架上,多个骨架油封串联设置于旋转轴上。
[0005]优选的,骨架油封的个数为3个。
[0006]更为优选的,骨架油封为双唇式金属骨架油封。
[0007]最为优选的,挡圈为耐高温挡圈,耐高温挡圈内填充有硅酸铝纤维。
[0008]与现有技术相比,本技术通过改变原有油封的结构及数量,显著改善了密封效果,在溅镀
中使用时不易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题,不仅有助于阴极驱动设备的稳定进行,还会延长其使用寿命。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0010]图1为本技术的结构示意图。
[0011]图中:1、支撑环;2、骨架;3、波纹结构;4、挡圈;5、骨架油封。
具体实施方式
[0012]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0013]如图1所示:一种骨架油封密封装置,用于密封旋转轴,包括:支撑环1、骨架2、挡圈4和骨架油封5,骨架油封5的外侧设有便于装配的波纹结构3,支撑环1设于骨架油封5内,骨架2安装于支撑环1的右侧,挡圈4安装于骨架2上,多个骨架油封5串联设置于旋转轴上;其中,骨架油封5优选为双唇式金属骨架油封,综合考虑成本、密封效果及旋转轴安装空间,骨架油封5个数优选为3个。
[0014]本技术通过设置骨架2,显著增强了骨架油封5的强度,三层双唇式骨架油封串联使密封的可靠性大大提高,骨架油封强度及数量的双重改进共同作用,提升了阴极驱动器运行稳定性,显著延长了其的使用寿命。
[0015]为了挡圈4更好的发挥作用,作为一种优选的技术方案,本技术的另一实施例,挡圈4为耐高温挡圈,耐高温挡圈内填充有硅酸铝纤维。
[0016]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种骨架油封密封装置,用于密封旋转轴,其特征在于,包括:支撑环(1)、骨架(2)、挡圈(4)和骨架油封(5),骨架油封(5)的外侧设有波纹结构(3),支撑环(1)设于骨架油封(5)内,骨架(2)安装于支撑环(1)的右侧,挡圈(4)安装于骨架(2)上,多个骨架油封(5)串联设置于所述旋转轴上。2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:周磊窦沛静段琳琳丁媛
申请(专利权)人:明德润和机械制造天津有限公司
类型:新型
国别省市:

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