【技术实现步骤摘要】
一种骨架油封密封装置
[0001]本技术涉及旋转轴密封
,尤其涉及一种骨架油封密封装置。
技术介绍
[0002]溅镀
中,需要使用阴极驱动器驱动阴极或阴极支撑件旋转。由于溅镀在高温、真空下进行,因此阴极驱动器内的旋转轴的骨架油封长时间在高温真空环境中运行,加之冷却水处理中常温水经过热传递后出现高温废水,骨架油封密封效果差,极易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题,不仅不利于阴极驱动设备的稳定进行,还会缩短其的使用寿命。故提出本申请。
技术实现思路
[0003]为解决以上现有技术的不足,本技术提出了一种骨架油封密封装置,以解决现有技术在溅镀领域使用时骨架油封密封效果差,极易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题。
[0004]一种骨架油封密封装置,用于密封旋转轴,包括:支撑环、骨架、挡圈和骨架油封,骨架油封的外侧设有波纹结构,支撑环设于骨架油封内,骨架安装于支撑环的右侧,挡圈安装于骨架上,多个骨架油封串联设置于旋转轴上。
[0005]优选的,骨架油封的个数为3个。
[0006]更为优选的,骨架油封为双唇式金属骨架油封。
[0007]最为优选的,挡圈为耐高温挡圈,耐高温挡圈内填充有硅酸铝纤维。
[0008]与现有技术相比,本技术通过改变原有油封的结构及数量,显著改善了密封效果,在溅镀
中使用时不易出现旋转轴转动卡顿、漏液甚至破坏真空环境等问题,不仅有助于阴极驱动设备的稳定进行,还会延长其使用寿命。
附图说明
[0009 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种骨架油封密封装置,用于密封旋转轴,其特征在于,包括:支撑环(1)、骨架(2)、挡圈(4)和骨架油封(5),骨架油封(5)的外侧设有波纹结构(3),支撑环(1)设于骨架油封(5)内,骨架(2)安装于支撑环(1)的右侧,挡圈(4)安装于骨架(2)上,多个骨架油封(5)串联设置于所述旋转轴上。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:周磊,窦沛静,段琳琳,丁媛,
申请(专利权)人:明德润和机械制造天津有限公司,
类型:新型
国别省市:
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