一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，包括底座板、外槽体、顶盖板和内槽，底座板的顶端固定安装有外槽体，外槽体的内壁固定连接有内槽，外槽体的顶端盖设有顶盖板，顶盖板的底端固定安装有密封板，顶盖板顶端的中部穿插连接有连接管，连接管的顶端盖设有密封盖，密封盖顶端的中部固定安装有连接块，连接管的一侧固定安装有流量计，外槽体的外部固定安装有防护板，内槽的内壁固定安装有耐腐蚀板，本实用新型专利技术一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，设置密封板和密封盖，进一步提升混合槽的密封性，设置流量计，可以记录通往混合槽内的液体流量，设置防护板和耐腐蚀板，提升混合槽的耐腐蚀性和安全性，从而提高使用寿命。命。命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽


[0001]本技术涉及半导体蚀刻机
，具体为一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽。

技术介绍

[0002]蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。
[0003]在半导体加工过程中，蚀刻机蚀刻液的混酸处理一般由混合槽进行连接，而现有的用于半导体蚀刻机的混合槽，大多结构过于简单，密封性不佳，容易导致酸溶液挥发，影响了蚀刻机的工作效果，在混合槽的长时间使用后，混合槽容易因腐蚀而渐渐损坏，影响了蚀刻机的使用寿命，同时，现有的用于半导体蚀刻机的混合槽，不便于安装和固定，工作人员在使用混合槽时的安全性不足，混合槽的实用性有待提升。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的用于半导体蚀刻机的混合槽，大多结构过于简单，密封性不佳，容易导致酸溶液挥发，影响了蚀刻机的工作效果，在混合槽的长时间使用后，混合槽容易因腐蚀而渐渐损坏，影响了蚀刻机的使用寿命，同时，现有的用于半导体蚀刻机的混合槽，不便于安装和固定，工作人员在使用混合槽时的安全性不足，混合槽的实用性有待提升的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，包括底座板、外槽体、顶盖板和内槽，所述底座板的顶端固定安装有外槽体，所述外槽体的内壁固定连接有内槽，所述外槽体的顶端盖设有顶盖板，所述顶盖板的底端固定安装有密封板，所述顶盖板顶端的中部穿插连接有连接管，所述连接管的顶端盖设有密封盖，所述密封盖顶端的中部固定安装有连接块，所述连接管的一侧固定安装有流量计，所述外槽体的外部固定安装有防护板，所述外槽体的内部固定安装有绝缘板，所述内槽的内壁固定安装有耐腐蚀板。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述流量计与外接电源电性连接。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述顶盖板顶端的两侧均固定安装有挂扣，通过挂扣，可以方便混合槽的搬运。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述防护板由弹性橡胶制成，可以提高混合槽外部的抗压防撞性能，所述绝缘板由环氧树脂制成，可以为混合槽提供绝缘性能，所述
耐腐蚀板由钛合金制成，具有良好的耐腐蚀性能，可以提升混合槽的使用寿命。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述底座板的顶部粘接有缓冲垫，通过缓冲垫，可以降低混合槽内部的压力，所述底座板的底部粘接有防滑垫，可以提高混合槽与水平面的摩擦力。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述外槽体外壁的中部固定安装有若干个加强筋，通过加强筋，可以提高混合槽的牢固性和使用强度，使得混合槽更加耐用。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述底座板顶端的正面和背面均开设有若干个安装孔，通过安装孔，可以便于混合槽在蚀刻机内部的固定。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、设置密封板和密封盖，由外槽体和内槽组成混合槽的主体，外槽体上还设置有顶盖板，通过顶盖板下密封板的设置，可以对混合槽加以密封，通过顶盖板上连接管的设置，可以方便混合槽与外界的连通，同时，连接管设置有密封盖，可以闭合密封盖进一步提升混合槽的密封性，避免了蚀刻液的挥发，提高了混合槽的使用效果。
[0014]2、设置流量计，通过连接管上设置的流量计，可以记录从外部通入混合槽的液体流量，从而为蚀刻机的准确运行带来方便，大大提高了混合槽的实用性。
[0015]3、设置防护板和耐腐蚀板，通过混合槽外部的防护板对混合槽外部进行保护，可以避免其因碰撞而损坏，通过混合槽内部的耐腐蚀板，可以避免蚀刻液的长时间放置而腐蚀混合槽的内部，大大提高了混合槽的使用寿命。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体图；
[0017]图2为本技术的正面示意图；
[0018]图3为本技术的正面剖视图；
[0019]图4为本技术的内部结构图。
[0020]图中：1、底座板；2、外槽体；3、顶盖板；4、加强筋；5、连接管；6、密封盖；7、挂扣；8、流量计；9、内槽；10、防护板；11、绝缘板；12、耐腐蚀板；13、密封板；14、缓冲垫；15、防滑垫；16、连接块；17、安装孔。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供了一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，包括底座板1、外槽体2、顶盖板3和内槽9，底座板1的顶端固定安装有外槽体2，外槽体2的内壁固定连接有内槽9，外槽体2的顶端盖设有顶盖板3，顶盖板3的底端固定安装有密封板13，顶盖板3顶端的中部穿插连接有连接管5，连接管5的顶端盖设有密封盖6，密封盖6顶端的中部固定安装有连接块16，连接管5的一侧固定安装有流量计8，外槽体2的外部固定安装有防护板10，外槽体2的内部固定安装有绝缘板11，内槽9的内壁固定安装有耐腐蚀板12。
[0023]优选的，流量计8与外接电源电性连接，流量计8的具体型号为HLLDG/Y
‑
65/FF，且流量计8为耐腐蚀流量计。
[0024]优选的，顶盖板3顶端的两侧均固定安装有挂扣7，通过挂扣7，可以方便混合槽的搬运。
[0025]优选的，防护板10由弹性橡胶制成，可以提高混合槽外部的抗压防撞性能，绝缘板11由环氧树脂制成，可以为混合槽提供绝缘性能，耐腐蚀板12由钛合金制成，具有良好的耐腐蚀性能，可以提升混合槽的使用寿命。
[0026]优选的，底座板1的顶部粘接有缓冲垫14，通过缓冲垫14，可以降低混合槽内部的压力，底座板1的底部粘接有防滑垫15，可以提高混合槽与水平面的摩擦力。
[0027]优选的，外槽体2外壁的中部固定安装有若干个加强筋4，通过加强筋4，可以提高混合槽的牢固性和使用强度，使得混合槽更加耐用。
[0028]优选的，底座板1顶端的正面和背面均开设有若干个安装孔17，通过安装孔17，可以便于混合槽在蚀刻机内部的固定。
[0029]具体使用时，本技术一种用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，包括底座板(1)、外槽体(2)、顶盖板(3)和内槽(9)，其特征在于：所述底座板(1)的顶端固定安装有外槽体(2)，所述外槽体(2)的内壁固定连接有内槽(9)，所述外槽体(2)的顶端盖设有顶盖板(3)，所述顶盖板(3)的底端固定安装有密封板(13)，所述顶盖板(3)顶端的中部穿插连接有连接管(5)，所述连接管(5)的顶端盖设有密封盖(6)，所述密封盖(6)顶端的中部固定安装有连接块(16)，所述连接管(5)的一侧固定安装有流量计(8)，所述外槽体(2)的外部固定安装有防护板(10)，所述外槽体(2)的内部固定安装有绝缘板(11)，所述内槽(9)的内壁固定安装有耐腐蚀板(12)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体蚀刻机的密封混合槽，其特征在于：所述流量计(8)与外接电源电性连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王烽宇，
申请(专利权)人：新创电子技术东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：