一种36对棒多晶硅还原炉制造技术

技术编号:33219574 阅读:33 留言:0更新日期:2022-04-27 17:02
本实用新型专利技术公开了一种36对棒多晶硅还原炉,所述曲管的外壁与方壳的上方固定连接,所述曲管的底部连通有水泵,所述水泵的输入端贯穿冷却水套的外壁。本实用新型专利技术涉及多晶硅还原炉技术领域,通过曲管、方壳和水箱之间的配合,该装置采用正六边形的方式进行布置,提高了冷却效果,并且温度传感器可监测方壳内部水的温度,如果过高,可控制电磁阀打开将温度过高的水进行收集使用,实现了余热回收,同时潜水泵也可将水箱内部的水抽入到方壳内部进行冷却使用,解决了现有装置在进行工作时能源损耗过高,无法达到国家发改委规定的要求,并且还原炉整体冷却效果差,无法快速的将炉内的温度降低的问题,提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种36对棒多晶硅还原炉


[0001]本技术涉及多晶硅还原炉
,具体为一种36对棒多晶硅还原炉。

技术介绍

[0002]多晶硅是当今世界电子工业、光电工业以及能源转换技术(太阳能光伏电池)等领域不可缺少的重要基础材料;是生产单晶硅的直接材料;而单晶硅是制作太阳能光伏电池的直接材料。由于太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的广泛性和充足性,绿色环保,所以被认为是最具有希望取代传统化石能源(煤、石油)的新能源。以多晶硅为原料生产的单晶硅是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料,现代科学研究、航天、军事工业、农业等等都离不开单晶硅,多晶硅还原炉就是生产多晶硅的核心设备,是直接产出多晶硅的设备,我国多晶硅的生产开始于60年代,但规模很小,每年产量只有几吨,品质又低,特别是电子级的多晶硅完全依赖进口。2003年,我们和多家科研、生产单位共同研制了我国第一条300吨/年多晶硅生产线,制作出了当时我国第一台12对棒还原炉,一举打破了国外多年的技术封锁。之后,为了扩大产能的需要,我们又研制了国内第一台18对棒还原炉,第一台24对棒还原炉,有力的推动了我国多晶硅产业的大发展,但是为了保护能源的平衡供应,国家发改委也于2008年末发文规定,要求新建的多晶硅企业能耗必须降到70kwh/kg
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Si以下,否则,不予批复,例如申请号“201020215600.7”的一种24对棒多晶硅还原炉,包括底盘,大大降低了多晶硅的生产成本。
[0003]但是现有装置在进行工作时能源损耗过高,无法达到国家发改委规定的要求,并且还原炉整体冷却效果差,无法快速的将炉内的温度降低,降低了工作效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种36对棒多晶硅还原炉,解决了现有装置在进行工作时能源损耗过高,无法达到国家发改委规定的要求,并且还原炉整体冷却效果差,无法快速的将炉内的温度降低,降低了工作效率的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种36对棒多晶硅还原炉,包括还原炉,所述还原炉的内部设有多个硅棒,多个所述硅棒共有36对,多个所述硅棒在还原炉的内部按正六边形安装布置,所述还原炉的外壁两侧均安装有冷却水套,所述冷却水套的一侧固接有方壳,所述冷却水套的一侧连通有曲管,所述曲管的外壁与方壳的上方固定连接,所述曲管的底部连通有水泵,所述水泵的输入端贯穿冷却水套的外壁。
[0006]优选的,所述方壳的一侧固接有水箱,所述方壳的顶部连通有环管,所述环管的外壁贯穿水箱的顶部并延伸至其内部,所述环管的一侧下方连通有潜水泵,所述方壳的底部连通有温度传感器,所述方壳的一侧连通有电磁阀。
[0007]优选的,所述还原炉的底部连通有进气管,所述进气管的一侧凹槽间隙配合有横管,所述横管的外壁固接有第一圆板,所述进气管的外壁一侧固接有第二圆板,所述第一圆板的一侧凹槽与第二圆板的外壁一侧间隙配合,所述第一圆板的顶部通孔和第二圆板的顶
部通孔均螺纹相连有螺栓。
[0008]优选的,所述第一圆板的一侧固接有浓度传感器。
[0009]优选的,所述第一圆板和第二圆板与横管和进气管的接触处均安装有密封圈。
[0010]本技术提供了一种36对棒多晶硅还原炉。具备以下有益效果:该36对棒多晶硅还原炉通过曲管、方壳和水箱之间的配合,该装置采用正六边形的方式进行布置,将耗电量降低在了50kwh/kg
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S i以下,在还原炉的两侧均安装有冷却水套,使用者可启动两个水泵分别对冷却水套内的水进行抽取,在方壳的内部装有水,冷却水套内的水经过环管从上方循环到冷却水套内部,其中环管延长了水的停留时间,提高了冷却效果,并且温度传感器可监测方壳内部水的温度,如果过高,可控制电磁阀打开将温度过高的水进行收集使用,实现了余热回收,同时潜水泵也可将水箱内部的水抽入到方壳内部进行冷却使用,解决了现有装置在进行工作时能源损耗过高,无法达到国家发改委规定的要求,并且还原炉整体冷却效果差,无法快速的将炉内的温度降低的问题,提高了工作效率。
[0011]通过进气管、横管和第一圆板之间的配合,其中横管与进气管的接触处形成了第一道密封,在第一圆板和第二圆板的接触处形成了第二道密封,如果第一道密封发生了泄漏,浓度传感器会进行报警,第二道密封防止其泄漏在环境中,提醒使用者及时处理,避免错过最佳时机。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图;
[0013]图2为图1的俯视图;
[0014]图3为还原炉的横向剖视图;
[0015]图4为曲管、方壳和水箱的连接关系结构示意图;
[0016]图5为浓度传感器、第一圆板和第二圆板的连接关系结构示意图。
[0017]图中:1、还原炉,2、冷却水套,3、方壳,4、曲管,5、温度传感器,6、水泵,7、环管,8、水箱,9、潜水泵,10、电磁阀,11、进气管,12、横管,13、第一圆板,14、第二圆板,15、浓度传感器,16、螺栓,17、硅棒。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]通过本领域人员,将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接,并且应该根据实际情况,选择合适的控制器以及编码器,以满足控制需求,具体连接以及控制顺序,应参考下述工作原理中,各电气件之间先后工作顺序完成电性连接,其详细连接手段,为本领域公知技术,下述主要介绍工作原理以及过程,不再对电气控制做说明。
[0020]本技术提供一种技术方案:
[0021]实施例一:由图1

4可知,一种36对棒多晶硅还原炉,包括还原炉1,还原炉1的内部设有多个硅棒17,多个硅棒17共有36对,多个硅棒17在还原炉1的内部按正六边形安装布
置,最外层每边四个硅棒17,共24个硅棒17,总共十一层硅棒17均布,还原炉1的外壁两侧均安装有冷却水套2,冷却水套2的一侧固接有方壳3,冷却水套2的一侧连通有曲管4,曲管4的外壁与方壳3的上方固定连接,曲管4的底部连通有水泵6,水泵6的输入端贯穿冷却水套2的外壁;
[0022]在具体实施过程中,值得特别指出的是,通过硅棒17和水泵6,水泵6的型号为BJZ037

B,解决了现有装置在进行工作时能源损耗过高,无法达到国家发改委规定的要求,并且还原炉1整体冷却效果差,无法快速的将炉内的温度降低的问题,提高了工作效率;
[0023]方壳3的一侧固接有水箱8,方壳3的顶部连通有环管7,环管7的外壁贯穿水箱8的顶部并延伸至其内部,环管7的一侧下方连通有潜水泵9,潜水泵9的型号为QD6
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种36对棒多晶硅还原炉,包括还原炉(1),其特征在于:所述还原炉(1)的内部设有多个硅棒(17),多个所述硅棒(17)共有36对,多个所述硅棒(17)在还原炉(1)的内部按正六边形安装布置,所述还原炉(1)的外壁两侧均安装有冷却水套(2),所述冷却水套(2)的一侧固接有方壳(3),所述冷却水套(2)的一侧连通有曲管(4),所述曲管(4)的外壁与方壳(3)的上方固定连接,所述曲管(4)的底部连通有水泵(6),所述水泵(6)的输入端贯穿冷却水套(2)的外壁。2.根据权利要求1所述的一种36对棒多晶硅还原炉,其特征在于:所述方壳(3)的一侧固接有水箱(8),所述方壳(3)的顶部连通有环管(7),所述环管(7)的外壁贯穿水箱(8)的顶部并延伸至其内部,所述环管(7)的一侧下方连通有潜水泵(9),所述方壳(3)的底部连通有温度传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔学伟蔺彦东林艳玲刘鑫张威李永明
申请(专利权)人:开原化工机械容器有限公司
类型:新型
国别省市:

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