环绕式旋转进气的镀膜室制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，提出了环绕式旋转进气的镀膜室，包括镀膜室和设置在镀膜室内的若干管道，管道上具有若干开口，开口用于喷射工作气体，还包括角度调节装置，设置在镀膜室内，管道设置在角度调节装置上，角度调节装置用于调节管道角度，工作气体通过角度调节装置和管道从开口喷射出。通过上述技术方案，解决了现有技术中的喷射方向不能改变问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
环绕式旋转进气的镀膜室


[0001]本技术涉及镀膜
，具体的，涉及环绕式旋转进气的镀膜室。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]现有技术中，对金属、合金或化合物进行喷射时，是通过在真空设备内设置管道，管道上具有开口，通过开口喷射到镀件上，管道是固定在真空设备内的，喷射角度只能在设置时确定，喷射方向不能改变，虽然应用效果可以接受，但是镀膜并不均匀，镀件上的镀膜会有的地方厚，有的地方薄。

技术实现思路

[0004]本技术提出环绕式旋转进气的镀膜室，解决了相关技术中的喷射方向不能改变问题。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]环绕式旋转进气的镀膜室，包括镀膜室和设置在所述镀膜室内的若干管道，所述管道上具有若干开口，所述开口用于喷射工作气体，还包括
[0007]角度调节装置，设置在所述镀膜室内，所述管道设置在所述角度调节装置上，所述角度调节装置用于调节所述管道角度，工作气体通过所述角度调节装置和所述管道从所述开口喷射出。
[0008]作为进一步的技术方案，所述角度调节装置包括
[0009]固定进气座，设置在所述镀膜室内，所述管道转动设置在所述固定进气座上，工作气体通过所述固定进气座进入所述管道。
[0010]作为进一步的技术方案，所述角度调节装置还包括
[0011]锁紧螺母，通过螺纹与所述固定进气座连接，所述管道通过所述锁紧螺母转动设置在所述固定进气座上，所述锁紧螺母用于将所述管道与所述固定进气座锁紧。
[0012]作为进一步的技术方案，所述角度调节装置还包括
[0013]转动件，转动设置在所述锁紧螺母内，所述管道通过螺纹与所述转动件连接，所述锁紧螺母通过和所述固定进气座连接时将所述转动件锁紧。
[0014]作为进一步的技术方案，所述角度调节装置包括
[0015]进气管，设置在所述镀膜室上，
[0016]转轴，转动设置在所述镀膜室内，穿过所述进气管，所述转轴具有进气口和内腔，
所述内腔通过所述进气口与所述进气管连通，所述管道通过螺纹与所述转轴连接，工作气体通过所述进气管和所述内腔进入所述管道。
[0017]作为进一步的技术方案，所述进气管具有环形腔室，所述转轴穿过所述腔室，所述进气口与所述腔室连通。
[0018]作为进一步的技术方案，所述进气管具有法兰盘，所述角度调节装置还包括
[0019]凹槽，设置在所述镀膜室侧壁上，
[0020]凸台，设置在所述法兰盘上，所述凸台通过移动进入所述凹槽。
[0021]作为进一步的技术方案，所述角度调节装置还包括
[0022]小齿轮，设置在所述转轴上，位于所述镀膜室顶部，
[0023]大齿轮，转动设置在所述镀膜室顶部，所述大齿轮和所述小齿轮啮合配合，
[0024]摆动杆，一端设置在所述大齿轮上，
[0025]伸缩件，铰接在所述镀膜室顶部，所述摆动杆另一端铰接在所述伸缩件伸缩端。
[0026]本技术的工作原理及有益效果为：
[0027]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。现有技术中，通过管道将工作气体喷射在镀膜室中，管道上具有开口，通过开口将工作气体喷射出，然后经过电离使工作气体充满整个镀膜室，但是管道角度不能调节，在安转时将管道角度定好，但是在使用时角度不一定为最优的角度，喷射出的工作气体经过电离，部分地方并不均匀，造成镀膜件形成的镀膜层厚度不均匀。
[0028]本技术中解决思路是在镀膜室上设置角度调节装置，管道设置在角度调节装置上，通过角度调节装置调节管道角度，适应当前使用的最优角度，工作气体通过角度调节装置进入管道中，通过管道开口喷射进入镀膜室。
[0029]具体的是角度调节装置具有若干个，设置在镀膜室内，管道具有若干个，均设置在角度调节装置上，角度调节装置和管道一一对应，角度调节装置调节管道在镀膜室内的角度，管道上具有若干开口，工作气体通过角度调节装置进入管道内，然后通过开口喷射进入镀膜室内，通过角度调节装置调节管道角度，适应当前使用角度，保证工作气体进入镀膜室内后，经过电离能均匀分布在镀膜室内，使镀膜件上能形成厚度均匀的镀膜；进一步，为了使工作气体更加均匀，可以根据需求改变管道上的开口大小，通过开口大小控制喷出的工作气体数量，保证镀膜室内的工作气体均匀。
附图说明
[0030]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0031]图1为本技术结构示意图；
[0032]图2为图1中A处放大图，
[0033]图3为本技术结构俯视剖视图，
[0034]图4为本技术另一种结构示意图；
[0035]图5为图4中B出放大图；
[0036]图6为本技术进气管剖视图；
[0037]图7为本技术大齿轮、小齿轮结构示意图；
[0038]图中：1、镀膜室，2、管道，3、开口，4、角度调节装置，5、固定进气座，6、锁紧螺母，7、
转动件，8、进气管，9、转轴，10、进气口，11、内腔，12、法兰盘，13、凹槽，14、凸台，15、小齿轮，16、大齿轮，17、摆动杆，18、伸缩件。
具体实施方式
[0039]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0040]实施例一，如图1～图3所示，本实施例提出了
[0041]环绕式旋转进气的镀膜室1，包括镀膜室1和设置在镀膜室1内的若干管道2，管道2上具有若干开口3，开口3用于喷射工作气体，还包括
[0042]角度调节装置4，具有若干个，设置在镀膜室1内，管道2设置在角度调节装置4上，角度调节装置4用于调节管道2角度，工作气体通过角度调节装置4和管道2从开口3喷射出。
[0043]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。现有技术中，通过管道将工作气体喷射在镀膜室中，管道上具有开口，通过开口将工作气体喷射出，然后经过电离使工作气体充满整个镀膜室，但是管道角度不能调节，在安转时将管道角度定好，但是在使用时角度不一定为最优的角度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.环绕式旋转进气的镀膜室，包括镀膜室(1)和设置在所述镀膜室(1)内的若干管道(2)，所述管道(2)上具有若干开口(3)，所述开口(3)用于喷射工作气体，其特征在于，还包括角度调节装置(4)，设置在所述镀膜室(1)内，所述管道(2)设置在所述角度调节装置(4)上，所述角度调节装置(4)用于调节所述管道(2)角度，工作气体通过所述角度调节装置(4)和所述管道(2)从所述开口(3)喷射出。2.根据权利要求1所述的环绕式旋转进气的镀膜室，其特征在于，所述角度调节装置(4)包括固定进气座(5)，设置在所述镀膜室(1)内，所述管道(2)转动设置在所述固定进气座(5)上，工作气体通过所述固定进气座(5)进入所述管道(2)。3.根据权利要求2所述的环绕式旋转进气的镀膜室，其特征在于，所述角度调节装置(4)还包括锁紧螺母(6)，通过螺纹与所述固定进气座(5)连接，所述管道(2)通过所述锁紧螺母(6)转动设置在所述固定进气座(5)上，所述锁紧螺母(6)用于将所述管道(2)与所述固定进气座(5)锁紧。4.根据权利要求3所述的环绕式旋转进气的镀膜室，其特征在于，所述角度调节装置(4)还包括转动件(7)，转动设置在所述锁紧螺母(6)内，所述管道(2)通过螺纹与所述转动件(7)连接，所述锁紧螺母(6)通过和所述固定进气座(5)连接时将所述转动件(7)锁紧。5.根据权利要求1所述的环绕式旋转进气的镀膜室...

【专利技术属性】
技术研发人员：李飞，李兰仿，李兰民，
申请(专利权)人：遵化市超越钛金设备有限公司，
类型：新型
国别省市：