PECVD镀膜载板制造技术

本实用新型专利技术涉及光伏产品的工艺设备技术领域，特别是涉及一种PECVD镀膜载板，PECVD镀膜载板包括载板本体和支撑板，载板本体上具有安装面，安装面上开设安装槽，安装槽内设置有支撑板，且支撑板与载板本体可拆卸连接；支撑板上具有承载面，承载面用于承接待镀膜件，且沿着垂直于承载面的方向，承载面的相对低于安装面，以使承载面与安装面之间形成限位台阶。采用本申请提供的PECVD镀膜载板，当PECVD镀膜载板局部的支撑板损坏时，只需更换损坏的支撑板，大幅度的降低生产成本以及维护成本，PECVD镀膜载板上还形成有限位台阶，实现对待镀膜件的限位，简化PECVD镀膜载板的结构，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
PECVD镀膜载板


[0001]本技术涉及光伏产品的工艺设备
，特别是涉及一种PECVD镀膜载板。

技术介绍

[0002]现有的PECVD载板通常通过在载板上设置多个用于承载待镀膜件的承载区，承载区内开设两层凹槽，将凹槽加工成台阶，通过台阶实现对待镀膜件的限位，
[0003]采用单块载板上加工多个重复的硅片放置凹槽，一旦局部加工不合格或损坏，只能整体返修或报废，从而导致电池制造成本增加。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为解决
技术介绍
中提出的技术问题，有必要提供一种PECVD镀膜载板。
[0005]为实现上述目的，本技术提供的技术方案如下：
[0006]一种PECVD镀膜载板，包括载板本体和支撑板，所述载板本体上具有安装面，所述安装面上开设安装槽，所述安装槽内设置有所述支撑板，且所述支撑板与所述载板本体可拆卸连接；其中，所述支撑板上具有承载面，所述承载面用于承接待镀膜件，且沿着垂直于所述承载面的方向，所述承载面相对低于所述安装面，以使所述承载面与所述安装面之间形成限位台阶。
[0007]在其中一个实施例中，沿着垂直于所述承载面的方向，所述承载面与所述安装面之间的距离范围为0.1～1mm。
[0008]在其中一个实施例中，所述安装槽的底部设有定位凸起，所述支撑板上开设有与所述定位凸起对应的定位槽，所述定位凸起能够插接于所述定位槽内，以使所述支撑板与所述载板本体可拆卸连接；或者，所述安装槽的底部开设有定位槽，所述支撑板上设有与所述定位槽对应的定位凸起，所述定位凸起能够插接于所述定位槽内，以使所述支撑板与所述载板本体可拆卸连接。
[0009]在其中一个实施例中，所述支撑板的承载面上开设凹槽。
[0010]在其中一个实施例中，所述凹槽内设置支撑柱，所述支撑柱的一端与所述支撑板连接，另一端延伸至所述凹槽的槽口处，且与所述承载面平齐设置。
[0011]在其中一个实施例中，所述支撑板上开设有通气通道，所述通气通道的一端与所述凹槽连通，另一端与外部大气连通，和/或，所述通气通道一端开设于所述承载面上，另一端与外部大气连通。
[0012]在其中一个实施例中，所述载板本体上开设透气孔，所述安装槽通过所述透气孔与外部连通，且所述透气孔与所述通气通道连通。
[0013]在其中一个实施例中，所述透气孔的数量为多个，以使所述载板本体呈镂空结构。
[0014]在其中一个实施例中，所述承载面上涂覆有防护涂层。
[0015]在其中一个实施例中，所述防护涂层的材质为氧化铝、氧化钇、氧化锆、氮化铝、碳化硅、碳化硼、热解碳中的任意一种。
[0016]上述技术方案相比于现有技术的有益效果是:
[0017]本技术通过将支撑板和载板本体分体设置，且支撑板可拆卸地与载板本体连接，当单个支撑板的承载面加工不平整或使用时单个支撑板出现局部变形或损坏的情况，支撑板与载板本体可拆卸连接，如此只需更换损坏的支撑板，而不是更换整个PECVD镀膜载板，从而大幅度的降低生产成本以及维修成本。进一步地，承载面的相对低于安装面，从而承载面与安装面之间形成限位台阶，实现对待镀膜件的限位，无需额外设置限位结构，简化PECVD镀膜载板的结构，降低成本。
附图说明
[0018]图1为本技术的一个实施例中的PECVD镀膜载板的示意图；
[0019]图2为图1中的A处局部放大图；
[0020]图3为图2中的B
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B剖视图；
[0021]图4为图2中的C
‑
C剖视图。
[0022]图中，100、PECVD镀膜载板；10、载板本体；11、安装槽；13、限位台阶；14、定位凸起；15、安装面；20、支撑板；21、承载面；22、定位槽；23、凹槽；24、支撑柱；25、通气通道；200、待镀膜件。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0024]需要说明的是，当组件被称为“装设于”另一个组件，它可以直接装设在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
[0025]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0026]参阅图1
‑
4，本技术提供一种PECVD镀膜载板100，PECVD指的是等离子体增强化学的气相沉积法，借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在待镀膜件200上沉积出薄膜，完成待镀膜件200镀膜。当前PECVD镀膜载板 100是镀膜工序中的一个装载工具，其作用是用于承载待镀膜的基片，基片通常为硅片，当然也可以是其他待镀膜件200，此处不做限制。
[0027]请参阅图1
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4，图1为本技术的一个实施例中提供的PECVD镀膜载板 100，在图1中的局部A处示意支撑板20上承载有待镀膜件200；图2为图1 中局部A的放大示意图；图3为图2中的B
‑
B剖视图；图4为图2中的C
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C剖视图。
[0028]本技术提供一种PECVD镀膜载板100，包括载板本体10和支撑板20，载板本体
10上具有安装面15，安装面15上开设安装槽11，支撑板20设置于安装槽11内，且支撑板20与载板本体10可拆卸地连接；其中，支撑板20上具有承载面21，承载面21用于承接待镀膜件200，且沿着垂直于承载面21的方向，承载面21的相对低于安装面15，以使承载面21与安装面15之间形成限位台阶13。
[0029]本申请中通过将支撑板20和载板本体10分体设置，且支撑板20可拆卸地与载板本体10连接，当单个支撑板20的承载面21加工不平整或使用时单个支撑板20出现局部变形或损坏的情况，支撑板20和载板本体10可拆卸，如此只需更换损坏的支撑板20，而不是更换整个PECVD镀膜载板100，从而大幅度的降低生产成本以及维修成本。进一步地，承载面21的相对低于安装面15，从而承载面21与安装面15之间形成限位台阶13，实现对待镀膜件200的限位，无需额外设置限位结构，简化PECVD镀膜载板100的结构，降低成本。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD镀膜载板，其特征在于，包括载板本体和支撑板，所述载板本体上具有安装面，所述安装面上开设安装槽，所述安装槽内设置有所述支撑板，且所述支撑板与所述载板本体可拆卸连接；其中，所述支撑板上具有承载面，所述承载面用于承接待镀膜件，且沿着垂直于所述承载面的方向，所述承载面相对低于所述安装面，以使所述承载面与所述安装面之间形成限位台阶。2.根据权利要求1所述的PECVD镀膜载板，其特征在于，沿着垂直于所述承载面的方向，所述承载面与所述安装面之间的距离范围为0.1～1mm。3.根据权利要求1所述的PECVD镀膜载板，其特征在于，所述安装槽的底部设有定位凸起，所述支撑板上开设有与所述定位凸起对应的定位槽，所述定位凸起能够插接于所述定位槽内，以使所述支撑板与所述载板本体可拆卸连接；或者，所述安装槽的底部开设有定位槽，所述支撑板上设有与所述定位槽对应的定位凸起，所述定位凸起能够插接于所述定位槽内，以使所述支撑板与所述载板本体可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的PECVD镀膜载板，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛卫平，张杜超，蔡涔，谷士斌，黄强，
申请(专利权)人：东方日升常州新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：