半导体制造设备的控制系统及其控制方法技术方案

本公开提供一种半导体制造设备的控制系统及其控制方法。该控制系统包括一感测器单元，经配置以记录该半导体制造设备一运转状态的一组数据；一感测器接口，经配置以接收该组数据且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；以及一控制单元。该控制单元包括一诊断子系统，执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一数据信号。体制造设备是否发生一故障且产生一数据信号。体制造设备是否发生一故障且产生一数据信号。

【技术实现步骤摘要】
半导体制造设备的控制系统及其控制方法
[0001]交叉引用
[0002]本公开主张2020年10月6日申请的美国正式申请案第17/064,365号的优先权及益处，该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。


[0003]本公开涉及一种制造设备的控制系统及其控制方法。特别涉及一种半导体制造设备的控制系统及其控制方法。

技术介绍

[0004]集成电路整合密度的提高促进半导体产业的快速成长。在众多制造设备中，半导体制造设备例如转移机械手臂(transferrobot)构成制造过程中不可或缺的部分。通常在大量晶圆被污染以及报废之后才发现转移机械手臂的故障与路径偏移。使用人工检查与监控转移机械手臂的运行通常由于人为的错误而浪费工艺时间与造成产品缺陷。因此，用于控制与监控转移机械手臂状态的控制系统以及控制方法必须能有效地发现故障的设备，以及提供各种设备参数的预警。
[0005]上文的“现有技术”说明仅提供
技术介绍
，并未承认上文的“现有技术”说明揭示本公开的标的，不构成本公开的现有技术，且上文的“现有技术”的任何说明均不应作为本公开的任一部分。

技术实现思路

[0006]本公开的一实施例提供一种半导体制造设备的控制系统，包括：一感测器单元，经配置以取得该半导体制造设备的一运转状态相关的一组数据；一感测器接口，经配置以接收该数据组且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；以及一控制单元。该控制单元包括一前端子系统、一计算子系统以及一信息与反馈子系统。该前端子系统由该数据服务器接收该至少一个输入信号且执行一前端程序以产生一第一数据信号。该计算子系统包括一诊断子系统配置以及一决策子系统。该诊断子系统接收该前端子系统的该第一数据信号且执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一第二数据信号。该决策子系统根据该诊断子系统的该第二数据信号执行一人工智能(AI)分析程序以产生一输出信号。该信息与反馈子系统根据该输出信号产生一警示信号以及一反馈信号且发送该警示信号至该半导体制造设备的一使用者。
[0007]在一些实施例中，由该前端子系统执行的该前端程序包括由该数据服务器提取、转换及/或载入该输入信号。
[0008]在一些实施例中，由该决策子系统执行的该AI分析程序监控且判断该诊断子系统的该第二数据信号中的一个或多个趋势。
[0009]在一些实施例中，由该决策子系统执行的该AI分析程序还利用一统计模型预测以取得该半导体制造设备的一设备寿命预测分数，该设备寿命预测分数对应于该第一数据信
号中该运转状态有关的该组数据。
[0010]在一些实施例中，该信息与反馈子系统根据该输出信号发送一反馈信号用于该半导体制造设备的一自动反馈程序。
[0011]在一些实施例中，该警示信号包括根据该输出信号产生的一设备运转分数警示、一设备寿命预测警示、以及一故障组件警示，其中该设备寿命预测警示包括该半导体制造设备的一预测寿命值。
[0012]在一些实施例中，该半导体制造设备包括一个或多个静电吸盘。
[0013]本公开的另一实施例提供一种半导体制造设备的控制系统，包括：一感测器单元，经配置以记录该半导体制造设备的一运转状态相关的一组数据；一感测器接口，经配置以接收该组数据且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；一个或多个处理器；以及一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介。经配置以耦结至该一个或多个处理器。该一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介经配置以耦结至该一个或多个处理器且包括当由该一个或多个处理器执行时可操作的一指令以使该控制系统：由该数据服务器接收该至少一个输入信号且执行一前端程序以产生一数据信号；执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一第二数据信号；执行一人工智能(AI)分析程序以根据该第二数据信号产生一输出信号；以及根据该输出信号产生一警示信号以及一反馈信号且发送该警示信号至该半导体制造设备的一使用者。
[0014]在一些实施例中，该前端程序包括由该数据服务器提取、转换及/或载入该输入信号。
[0015]在一些实施例中，该一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介还包括当由该一个或多个处理器执行时可操作的指令，以使该控制系统由监控与判断该第二数据信号中的一个或多个趋势以执行该AI分析程序。
[0016]在一些实施例中，该一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介还包括当由一个或多个处理器执行时可操作的指令，以使该控制系统更通过利用一统计模型预测执行该AI分析程序以取得该半导体制造设备的一设备寿命预测分数，该设备寿命预测分数相应于该第一数据信号中该运转状态相关的该组数据。
[0017]在一些实施例中，该一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介还包括由一个或多个处理器执行时可操作的指令，以使该控制系统根据该输出信号发送用于该半导体制造设备的一自动反馈程序的该反馈信号。
[0018]在一些实施例中，该警示信号包括根据该输出信号产生的一设备运转分数警示、一设备寿命预测警示、以及一故障组件警示，其中该设备寿命预测警示包括该半导体制造设备的一预测寿命值。
[0019]在一些实施例中，该半导体制造设备包括一个或多个静电吸盘。
[0020]本公开的另一实施例提供一种半导体制造设备的控制方法，包括：由一感测器单元记录该半导体制造设备的一运转状态有关的一组数据；由一感测器接口接收该组数据，且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；由一前端子系统接收该数据服务器的该至少一个输入信号且进行一前端程序以产生一第一数据信号；由一诊断子系统接收该前端子系统的该第一数据信号且执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一第二数据信号；由一决策子系统根据该诊断子系统的该第二数据信号执行一
人工智能(AI)分析程序以产生一输出信号；以及由一信息与反馈子系统根据该输出信号产生一警示信号以及一反馈信号且发送该警示信号至该半导体制造设备的一使用者。
[0021]在一些实施例中，由该前端子系统执行的该前端程序还包括由该数据服务器提取、转换及/或载入该输入信号。
[0022]在一些实施例中，由该计算子系统执行的该AI分析程序还包括监控且判断该诊断子系统的该第二数据信号中的一个或多个趋势。
[0023]在一些实施例中，由该计算子系统执行的该AI分析程序还包括利用一统计模型预测以取得该半导体制造设备的一设备寿命预测分数，该设备寿命预测分数对应于该第一数据信号中该运转状态有关的该组数据。
[0024]在一些实施例中，该控制方法还包括由该信息与反馈子系统根据该输出信号发送用于该半导体制造设备的一自动反馈程序的该反馈信号。
[0025]在一些实施例中，该警示信号包括根据该输出信号产生的一设备运转分数警示、一设备寿命预测警示、以及一故障组件警示，该设备寿命预测警示包括该半导体制造设备的一预测寿命值，且其中该半导体制造设备包括一个或多个转移机械手臂。
[0026]因此，用于控制该半导体制造设备的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造设备的控制系统，包括：一感测器单元，经配置以记录该半导体制造设备的一运转状态相关的一组数据；一感测器接口，经配置以接收该组数据且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；以及一控制单元，包括：一前端子系统，经配置以由该数据服务器接收该至少一个输入信号且执行一前端程序以产生一第一数据信号；一诊断子系统，接收该前端子系统的该第一数据信号，该诊断子系统执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一第二数据信号；一决策子系统，经配置以根据该诊断子系统的该第二数据信号执行一人工智能分析程序以产生一输出信号；一信息与反馈子系统，根据该输出信号产生一警示信号以及一反馈信号，该信息与反馈子系统发送该警示信号至该半导体制造设备的一使用者。2.如权利要求1所述的控制系统，其中由该前端子系统执行的该前端程序包括由该数据服务器提取、转换及/或载入该输入信号。3.如权利要求1所述的控制系统，其中由该决策子系统执行的该人工智能分析程序监控且判断该诊断子系统的该第二数据信号中的一个或多个趋势。4.如权利要求3所述的控制系统，其中由该决策子系统执行的该人工智能分析程序还利用一统计模型预测以取得该半导体制造设备的一设备寿命预测分数，该设备寿命预测分数对应于该第一数据信号中该运转状态有关的该组数据。5.如权利要求3所述的控制系统，其中该信息与反馈子系统根据该输出信号发送一反馈信号用于该半导体制造设备的一自动反馈程序。6.如权利要求1所述的控制系统，其中该警示信号包括根据该输出信号产生的一设备运转分数警示、一设备寿命预测警示、以及一故障组件警示，其中该设备寿命预测警示包括该半导体制造设备的一预测寿命值。7.如权利要求1所述的控制系统，其中该半导体制造设备包括一个或多个静电吸盘。8.一种半导体制造设备的控制系统，包括：一感测器单元，经配置以记录该半导体制造设备的一运转状态相关的一组数据；一感测器接口，经配置以接收该组数据且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；一个或多个处理器；以及一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介，经配置以耦合至该一个或多个处理器，且包括当由该一个或多个处理器执行时可操作的一指令以使该控制系统：由该数据服务器接收该至少一个输入信号且执行一前端程序以产生一数据信号；执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一第二数据信号；执行一人工智能分析程序以根据该第二数据信号产生一输出信号；以及根据该输出信号产生一警示信号以及一反馈信号且发送该警示信号至该半导体制造设备的一使用者。
9.如权利要求8所述的控制系统，其中该前端程序包括由该数据服务器提取、转换及/或载入该输入信号。10.如权利要求8所述的控制系统，其中该一个或多个电脑可读非暂时性存储媒介还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：林作信，陈忠恒，李俊德，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：