本发明专利技术的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，该化学制剂过滤器更换装置在将相互不同种类的多个滤芯运送到过滤器固定部之前可进行存放。为了实现该目的的化学制剂更换装置将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器组件，其中在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以投放多种滤芯，所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。
【技术实现步骤摘要】
化学制剂过滤器更换装置
[0001]本专利技术涉及可更换用于过滤化学制剂中所含的杂质的过滤器组件的滤芯的化学制剂过滤器更换装置。
技术介绍
[0002]通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。
[0003]这种化学制剂会经过化学制剂过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。
[0004]所述化学制剂过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学制剂的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。
[0005]以往，工作人员为了将从化学制剂带来的伤害最小化而穿戴化学防护服和防毒面具等的安全防护装备，并且一直以来亲自手动更换化学过滤器。然而，在工作人员手动更换化学制剂过滤器的情况下，在化学制剂过滤器更换工作时，化学制剂及烟雾(FUME)可能泄漏到外部，造成制造设备包括在内的周边环境的污染和损坏、破坏，不仅如此包括工作人员在内的周边人群也可能暴露在危险之中。
[0006]另外，在工作人员的阀门操作失误的情况下，可发生过滤器内部中的各种有毒化学物质泄漏到外部的事故。
[0007]另外，由于是手动更换化学制剂过滤器，因此存在更换过滤器所需的工时增加的问题。
[0008]作为用于解决这种手动更换化学制剂过滤器的问题的现有技术，公开了韩国授权专利第10
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1921600号。
[0009]所述现有技术涉及可自动更换化学制剂过滤器的化学制剂过滤器自动更换装置，具有存放待使用于化学制剂过滤的新滤芯的存放部。在所述存放部只存放一种滤芯。
[0010]为了供应半导体等的制造工艺中要求的化学制剂，化学制剂储存于化学制剂储罐。在具有用于过滤进入所述化学制剂储罐的化学制剂的前置过滤器(Pre filter)和用于在从化学制剂储罐排出来供应于制造工艺之前过滤化学制剂的最终过滤器(Final filter)的情况下，所述化学制剂过滤器的孔径可能不同。即，可构成为前置过滤器的孔径大，而最终过滤器的孔径小。
[0011]如此，用于自动更换孔径尺寸相互不同的多种过滤器的滤芯的化学制剂过滤器更换装置的必要性正在突显。
技术实现思路
[0012]技术问题
[0013]本专利技术是为了解决上述整体问题而提出的，目的在于提供一种在将相互不同种类
的多个滤芯运送到过滤器固定部之前可进行存放的化学制剂过滤器更换装置。
[0014]技术方案
[0015]用于达到上述目的的化学制剂过滤器更换装置将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器组件，其中，在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以分别投放多种滤芯，所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。
[0016]技术效果
[0017]根据本专利技术，具有可存放多种滤芯的存放部，进而可自动更换能够满足制造工艺要求的过滤性能的滤芯，因此在更换滤芯时可防止工作人员暴露在危险之中，并且可将更换滤芯所需的工时最小化。
[0018]另外，确认多种滤芯的滤芯信息之后开放存放部的门，进而可防止混入用途不同的滤芯。
[0019]另外，将通过滤芯运送部运送滤芯的动作最小化，进而可有效执行化学制剂过滤器更换装置的控制。
[0020]另外，使安装滤芯的滤芯安装架向高度不同的位置移动或者循环，进而在小尺寸的存放空间可存放大量的滤芯。
附图说明
[0021]图1是示出本专利技术的化学制剂过滤器更换装置的立体图。
[0022]图2是示出去除门以便看到在图1示出化学制剂过滤器更换装置的存放部内部的立体图。
[0023]图3是示出以便看到在图1示出化学制剂过滤器更换装置的整个内部的立体图。
[0024]图4是示出在图3示出的化学制剂过滤器更换装置的平剖面图。
[0025]图5是示出结合配置在第一存放空间的滤芯安装部、安装部外壳及门的状态的立体图。
[0026]图6是示出在第一滤芯安装部安装第一滤芯的状态的立体图。
[0027]图7是示出结合配置在第二存放空间的滤芯安装部和安装部外壳、门的状态的立体图。
[0028]图8是示出在第二滤芯安装部安装第二滤芯的状态的立体图。
[0029]图9是示出在图8示出的第二滤芯安装部安装第二滤芯的状态下驱动第二安装架运送驱动部的动作状态的侧视图。
[0030]图10是示出第一滤芯安装部的另一实施例的平面图。
[0031]图11是示出第二滤芯安装部的另一实施例的平面图。
[0032](附图标记说明)
[0033]1：化学制剂过滤器更换装置
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2：外部外壳
[0034]10：前置过滤器
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11：第一滤芯
[0035]12、22：过滤器外壳
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13、23：过滤器头
[0036]20：最终过滤器
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21：第二滤芯
[0037]100：滤芯存放部
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110：第一存放空间
[0038]111：第一门
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112：第一安装部外壳
[0039]113：隔壁
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120：第二存放空间
[0040]121：第二门
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122：第二安装部外壳
[0041]130：第一滤芯安装部
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131a、131b：第一滤芯安装架
[0042]131e：安装槽
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132：第一安装架支撑部件
[0043]133：第一安装架运送驱动部
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140：第二滤芯安装部
[0044]141a、141b、141c、141d：第二滤芯安装架
[0045]141e：安装槽
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142：第二安装架支撑部件
[0046]143：第二安装架运送驱动部
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150：第一锁定部
[0047]160：第二锁定部
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170：第一后方门
[0048]180：第二后方门
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200：滤芯运送部
[0049]210：运送轨道
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220：第一夹持部
[0050]230：第二夹持部
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300：过滤器固定部
[0051]300
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1：本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学制剂过滤器更换装置，将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器组件，其特征在于，在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以分别投放多种滤芯，所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。2.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，在所述滤芯存放部具有：多个门，开关所述多个存放空间各个的入口；锁定部，使各个所述多个门处于锁定状态或者锁定解除状态，若控制部接收所述多种滤芯的滤芯信息，则所述控制部控制锁定部，只使开关待投放对应于所述接收的信息的滤芯的存放空间的门处于锁定解除状态，而其余门则保持锁定状态。3.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，在所述多个存放空间内部分别配置有滤芯安装部，以安装所述滤芯，配置有安装架运送驱动部，在所述滤芯安装部安装所述滤芯的状态下使所述滤芯以所述滤芯运送部所在的方向移动。4.根据权利要求3所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，在各个所述滤芯安装部沿着与所述滤芯运送部的运送方向垂直的方向相互间隔安装多个滤芯，若位于最接近所述滤芯运送部的位置的滤芯通过所述滤芯运送部被运送到所述过滤器固定部，则驱动所述安装架运送驱动部，向最接近所述滤芯运送部的位置移动安装于下一个位置的滤芯。5.根据权利要求3所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，在各个所述滤芯安装部相互间隔安装多个滤芯的状态下进行旋转，若位于最接近所述滤芯运送部的位置的滤芯通过所述滤芯运送部被运送至所述过滤器固定部，则驱动所述安装架运送驱动部，向最接近所述滤芯运送部的位置旋转并移动安装于下一个位置的滤芯。6.根据权利要求3所述的化学制剂过滤器更换...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，李晋宇，蔡熙峯，崔乐坤，林佑泽，郑恩珍，申东赫，李相喆，金万镐，朴正训，
申请(专利权)人：系统科技公司，
类型：发明
国别省市：
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