化学制剂过滤器更换装置制造方法及图纸

技术编号：33197313 阅读：25 留言：0更新日期：2022-04-24 00:26

本发明专利技术的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。为了实现该目的的化学制剂过滤器更换装置，包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，过滤器头结合于过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动过滤器外壳，以从过滤器组件拆卸过滤器外壳或者将拆卸的过滤器外壳结合于过滤器组件；其中，在过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，弹性部件在移动过滤器外壳来紧贴于过滤器头的情况下使弹力作用于过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。作用于过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。作用于过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。

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【技术实现步骤摘要】
化学制剂过滤器更换装置

[0001]本专利技术涉及用于拆卸及结合用于过滤化学制剂的化学制剂过滤器组件的过滤器外壳和滤芯的化学制剂过滤器更换装置。

技术介绍

[0002]通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。
[0003]这种化学制剂会经过化学制剂过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。
[0004]所述化学制剂过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学制剂的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。
[0005]在更换化学制剂过滤器时，将过滤器组件的过滤器外壳和过滤器头分开更换滤芯之后将过滤器外壳重新结合于过滤器头，在此利用夹紧装置夹紧所述过滤器外壳和所述过滤器头的结合部，进而坚固地结合过滤器外壳和过滤器头，以防止过滤器组件内部的化学制剂及烟雾(FUME)泄漏。
[0006]在将所述过滤器外壳结合于过滤器头的情况下，可在过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面倾斜的状态下结合。如此，相互面对的面倾斜的理由可能有很多，诸如过滤器外壳和过滤器头的相互面对的部分的平整度差、在组装升降驱动部时出现的公差、在过滤器外壳结合于升降驱动部的部分出现的公差、过滤器头的组装公差等。
[0007]如上所述，若过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面在倾斜的状态下结合，则因为过滤器外壳和过滤器头之间的微小的间隙未能保持气密，因此存

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学制剂过滤器更换装置，包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，所述过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，所述过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，所述过滤器头结合于所述过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动所述过滤器外壳，以从所述过滤器组件拆卸所述过滤器外壳或者将所述拆卸的过滤器外壳结合于所述过滤器组件；其中，在所述过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，所述弹性部件在移动所述过滤器外壳来紧贴于所述过滤器头的情况下使弹力作用于所述过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。2.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，所述过滤器外壳拆装模块包括：外壳运送部，提供驱动力以使所述过滤器外壳移动；第一连接部件，连接于所述外壳运送部，通过所述外壳运送部的驱动工具移动；外壳夹持部件，结合所述过滤器外壳，并且通过所述驱动工具与所述第一连接部件一体地移动；其中，所述弹性部件配置成使弹力作用于所述第一连接部件和外壳夹持部件之间。3.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，所述过滤器外壳拆装模块包括：连接轴，一端结合于所述第一连接部件，并且具有在所述外壳运送部的驱动工具的移动方向上的长度；第二连接部件，结合于所述连接轴的另一端；其中，所述外壳夹持部件配置在所述第一连接部件和第二连接部件之间。4.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，所述过滤器外壳拆装模块包括：连接轴，一端结合于所述第一连接部件，并且具有在所述外壳运送部的驱动工具的移动方向上的长度；中间连接部件，与所述外壳夹持部...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，李晋宇，蔡熙峯，崔乐坤，林佑泽，郑恩珍，申东赫，李相喆，金万镐，朴正训，
申请(专利权)人：系统科技公司，
类型：发明
国别省市：

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