一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装制造技术

本实用新型专利技术提供了一种气体分配器平面度检验工装，包括工装本体(1)，所述工装本体(1)包括用于对气体分配器(4)进行定位的定位块(1

【技术实现步骤摘要】
一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装


[0001]本技术涉及半导体装置检测领域，特别涉及一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装。

技术介绍

[0002]化学气相沉积原子层沉积是半导体工艺中制备薄膜器件的关键步骤，其主要原理是，传统的化学气相沉积设备均包含一个化学物质气体分配器，参与反应的化学物质从气体分配器中溢出，最终进入反应区域沉积在半导体工艺件上。组分均匀、厚度均匀、界面陡峭是薄膜生长的基本要求，提高薄膜生长的均匀性是持续改进化学气相沉积设备的核心任务，改进气体分配器的加工工艺是提高均匀性的主要方法。气体分配器的结构中通常含有数百乃至数千个等直径的小孔，加工中各孔径方向的微小差异对沉积层厚度均匀性构成直接影响，在加工过程中由于产品特性将导致平面变形，进而直接导致小孔方向改变，产品加工完毕必须使用三坐标测量机对气体分配器工作平面进行平面度检测，剔除平面度不合格的产品，保证出货产品的质量。传统的检验工艺是一件检验两次，分别是气体分配器正面平面度检测与反面平面度检测，每件单一平面度检测完毕，需要人工操作翻面，检验下一件，无法实现无人值守检验，占用大量人力。

技术实现思路

[0003]本技术第一方面提供一种气体分配器平面度检验工装，能够使得气体分配器装夹方便，检测过程中不用对产品翻面，本技术第二方面提供一种组合检验工装，能够实现无人值守即可完成批量检测，提高检测效率。
[0004]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术的第一方面，提供一种气体分配器平面度检验工装，包括工装本体，所述工装本体包括用于对气体分配器进行定位的定位块、使气体分配器直立的挡块，所述挡块的高度大于定位块的最大高度，所述挡块上设置有固定孔，所述工装本体的四周对称设有定位板。
[0005]作为优选的技术方案：所述定位块的上表面为内凹的弧面，所述弧面与气体分配器的圆弧边缘相匹配。
[0006]作为优选的技术方案：所述工装本体在长度方向的两侧各设置有至少1个定位板，所述工装本体在宽度方向的两侧各设置有1个定位板。
[0007]作为优选的技术方案：所述定位块和挡块为一体结构。
[0008]本专利技术的第二方面，提供一种组合检验工装，包括多个所述的气体分配器平面度检验工装、连接板，多个所述气体分配器平面度检验工装相连形成组合检验工装，每两个所述气体分配器平面度检验工装之间通过连接板相连，所述连接板通过紧固装置与定位板固定连接。
[0009]作为优选的技术方案：所述紧固装置为台阶式定位销，所述连接板上设有与台阶式定位销对应的沉头销孔，所述定位板设有与沉头销孔对应的定位销孔。
[0010]作为优选的技术方案：所述定位板还通过螺丝与连接板固定连接，所述定位板上对称设有螺丝通孔，所述连接板上设有与螺丝通孔对应的螺丝盲孔，所述螺丝穿过螺丝通孔进入螺丝盲孔。
[0011]与传统结构相比，本技术的有益效果是：
[0012]1)利用定位块先对气体分配器进行定位，然后通过挡块使得气体分配器处于直立状态，挡块上设有固定孔，最后通过螺丝、销等固定装置将气体分配器固定住，无需进行翻面，一次就可检测气体分配器两个面的平面度，简单易操作，提高检测效率；
[0013]2)优选的，定位块的上表面为内凹的弧面，定位效果更好，精度高；
[0014]3)使用组合检验工装可以对气体分配器进行批量检测，可实现无人值守，检测效率高；
[0015]4)优选的，台阶式定位销安装拆卸方便，适用于不同的孔径；
[0016]5)优选的，通过连接板上的定位销孔与定位板配合可以快速建立坐标系，定位效率高，提高检测效率和检测精度。
附图说明
[0017]图1为本技术的三维图；
[0018]图2为组合检验工装的三维图；
[0019]图3为连接板的内部图；
[0020]图4为台阶式定位销的结构图。
[0021]在图1
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4中，1.工装本体、1
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1.定位块、1
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2.挡块、1
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21.固定孔、1
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3.定位板、1
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31.定位销孔、1
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32.螺丝通孔、2.连接板、2
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1.沉头销孔、2
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2.螺丝盲孔、3.紧固装置、4.气体分配器。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术进一步描述。
[0023]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0024]请参照图1
‑
4，一种气体分配器平面度检验工装，包括工装本体1，所述工装本体1包括用于对气体分配器4进行定位的定位块1
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1、使气体分配器4直立的挡块1
‑
2，所述挡块1
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2的高度大于定位块1
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1的最大高度即可使得气体分配器4直立，所述挡块1
‑
2上设置有固定孔1
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21，所述工装本体1的四周对称设有定位板1
‑
3，定位块1
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1对气体分配器4进行定位，挡块1
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2的高度大于定位块1
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1的最大高度，与气体分配器4相抵使气体分配器4处于直立状态，气体分配器4上有多个圆周排布的安装孔，固定孔1
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21与安装孔相匹配，将气体分配器4放置好后，再通过拧紧螺丝、销等固定装置对气体分配器4进行固定，这样气体分配器4就能稳固地处于直立状态，平面度检测更为方便，两面都可检测，提高检测效率，进一步的，定位
块1
‑
1和挡块1
‑
2为一体结构。
[0025]如图1
‑
4所示，所述定位块1
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1的上表面为内凹的弧面，所述弧面与气体分配器4的圆弧边缘相匹配，这样气体分配器4的圆弧边缘与定位块1
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1的上表面相贴合，定位效果更好，稳定性也更好。
[0026]如图1
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4所示，所述工装本体1在长度方向的两侧各设置有至少1个定位板1
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3，所述工装本体1在宽度方向的两侧各设置有1个定位板1
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3，进一步的，长度方向的两侧各设置有1个或2个或3个定位板1
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3，这样检验工装在四周均可以连接1个检验工装。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体分配器平面度检验工装，其特征在于：包括工装本体(1)，所述工装本体(1)包括用于对气体分配器(4)进行定位的定位块(1
‑
1)、使气体分配器(4)直立的挡块(1
‑
2)，所述挡块(1
‑
2)上设置有固定孔(1
‑
21)，所述工装本体(1)的四周对称设有定位板(1
‑
3)。2.根据权利要求1所述的一种气体分配器平面度检验工装，其特征在于：所述定位块(1
‑
1)的上表面为内凹的弧面，所述弧面与气体分配器(4)的圆弧边缘相匹配。3.根据权利要求1所述的一种气体分配器平面度检验工装，其特征在于：所述工装本体(1)在长度方向的两侧各设置有至少1个定位板(1
‑
3)，所述工装本体(1)在宽度方向的两侧各设置有1个定位板(1
‑
3)。4.根据权利要求1所述的一种气体分配器平面度检验工装，其特征在于：所述定位块(1
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1)和挡块(1
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2)为一体结构。5.一种组合检验工装，其特征在于：包括权利要求1
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：翟子健，游利，管明月，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：