大尺寸平面靶材摆放台制造技术

本实用新型专利技术提供一种大尺寸平面靶材摆放台，包括底板，底板上设有放置台，放置台上侧表面设有通孔，放置台内设有导向架，导向架上活动安装有支撑柱，支撑柱上端穿过通孔伸出放置台表面，支撑柱上设有限位块，限位块设置在放置台下侧，支撑柱上套设有弹簧，弹簧设置在导向架和限位块之间。通过放置台下侧设有支撑柱，支撑柱从通孔中穿出贴合在靶材下侧，从下侧对靶材支撑，使靶材下侧各处都有支撑力进行支撑，减少了靶材的断裂，结构简单，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
大尺寸平面靶材摆放台


[0001]本技术涉及靶材生产加工设备领域，尤其涉及一种大尺寸平面靶材摆放台。

技术介绍

[0002]ITO(Tin
‑
doped Indium Oxide)靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷，是一种重要的光电功能材料，常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜，用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。ITO平面靶材应用于平板显示领域，随着平板显示屏不断做大，对ITO平面靶材的尺寸要求也逐步变大。靶材的生产过程中需要经过靶材的加热，靶材的翻转运送，以及靶材的放置，此过程中就需要用到放置台设备。专利号CN209717675U公开了一种靶材用放置台，通过将靶材放置在承重板上，通过对承重板产生压迫作用，使得套接管向下移动，使得承重板之间能形成靶材的凹陷区区域，从而对靶材进行进行固定，可以有效的对靶材进行放置固定，但是在平面大靶材烧结后，放置在平整的桌面上，无法绝对的水平，靶材本身存在着一定程度的曲翘，非常容易断裂，靶材凹处着地，凸处悬空，靶材材质特性脆，长时间摆放在平整的桌面上，靶材会因为自身的重量断裂，因此解决这个问题就变得很重要了。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种大尺寸平面靶材摆放台，通过设置放置台用于靶材的放置，放置台下侧设有支撑柱，支撑柱从通孔中穿出贴合在靶材下侧，从下侧对靶材支撑，使靶材下侧各处都有支撑力进行支撑，解决了
技术介绍
中靶材长时间放置在平面桌面上容易断裂的问题。
[0004]本技术提供一种大尺寸平面靶材摆放台，包括底板，底板上设有放置台，放置台上侧表面设有若干个通孔，放置台内设有导向架，导向架上活动安装有若干个支撑柱，支撑柱数量对应通孔数量设置，支撑柱上端穿过通孔伸出放置台表面，支撑柱上设有限位块，限位块设置在放置台下侧，支撑柱上套设有弹簧，弹簧设置在导向架和限位块之间。
[0005]进一步改进在于：放置台侧边上设有调节槽，调节槽上设有调节螺栓，调节螺栓与导向架连接，导向架通过调节螺栓与安装在放置台内。
[0006]进一步改进在于：底板中间设气囊垫，气囊垫外接有进气装置，气囊垫从下侧对支撑柱进行支撑。
[0007]进一步改进在于：支撑柱上端通过球铰链连接有活动块，活动块上侧为弧形面。
[0008]进一步改进在于：放置台表面和活动块表面都设有橡胶垫。
[0009]进一步改进在于：底板下侧设有移动轮。
[0010]本技术的有益效果：通过在放置台表面设置通孔，下侧的支撑柱通过通孔伸出，对放置台上放置的靶材进行顶起支撑，支撑柱可以贴合在靶材下侧表面进行支撑，通过设置多个支撑柱从靶材下侧支撑，
[0011]使靶材各点的都受到支撑作用力，使支撑力更加均匀分布，使靶材放置更加稳定，
减少了靶材的断裂。
[0012]设置气囊垫，气囊垫从下侧对支撑柱进行支撑，并且通过进气装置向气囊垫内进行进气，使气囊垫从下侧将支撑柱向上顶起，从而使支撑柱上端紧密贴合靶材，更加稳定的对靶材进行支撑。
[0013]设置限位块对支撑柱的上升和下移进行限位，使支撑柱保持在稳定位置，支撑柱上套设的弹簧在靶材放置下压时进行缓冲，使支撑柱下移更加平稳，在靶材移开后，带动支撑柱升起复位，便于后续靶材的放置。
[0014]导向架的设置对支撑柱的上升和下移进行导向，使支撑柱垂直进行移动，防止支撑柱倾斜，影响对靶材的支撑；并且导向架可调节设置，通过调节导向架的高度，从而对支撑柱的下移限位位置进行调节，可以根据需求使支撑柱可以保持在一定的高度范围，满足使用需求。
[0015]支撑柱上端通过球铰链连接有活动块，活动块通过球铰链可以多向转动，从而更加贴合在靶材的表面，并且活动块上设置橡胶垫，确保在支撑柱对靶材支撑顶起时，不会与靶材产生磕碰。
附图说明
[0016]图1是本技术的主视结构图。
[0017]图2是本技术的侧视结构图。
[0018]图3是放置台俯视图。
[0019]其中：1
‑
底板，2
‑
放置台，3
‑
通孔，4
‑
导向架，5
‑
支撑柱，6
‑
限位块，7
‑
调节槽，8
‑
调节螺栓，9
‑
气囊垫，10
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球铰链，11
‑
活动块，12
‑
橡胶垫，13
‑
移动轮，14
‑
弹簧。
具体实施方式
[0020]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。
[0021]如图1
‑
3所示，本实施例提供一种大尺寸平面靶材摆放台，包括底板1，底板1下侧设有移动轮13，底板1上设有放置台2，靶材放置在放置台2上，放置台2上侧表面设有若干个通孔3，放置台2内设有导向架4，导向架4上活动安装有若干个支撑柱5，支撑柱5上端穿过通孔3伸出放置台2表面，支撑柱5上设有限位块6，限位块6设置在放置台2下侧，支撑柱5上套设有弹簧14，弹簧14设置在导向架4和限位块6之间，靶材放置在放置台上，靶材与支撑柱5接触，并将支撑柱5进行下压，弹簧14对支撑柱5下移进行缓冲，限位块6对支撑柱5的下移进行限位，底板1中间设气囊垫9，气囊垫9外接有进气装置，气囊垫9从下侧对支撑柱5进行支撑，同时通过进气装置进行进气，将支撑柱5向上顶升，使支撑柱5贴合对靶材进行支撑。
[0022]放置台2侧边上设有调节槽7，调节槽7上设有调节螺栓8，调节螺栓8与导向架4连接，导向架4通过调节螺栓8安装在放置台2内；通过调节导向架4的位置，从而控制支撑柱5对靶材的支撑高度，便于对靶材平稳支撑。
[0023]支撑柱5上端通过球铰链10连接有活动块11，活动块11上侧为弧形面，活动块11通过球铰链10进行转动，使活动块可以更加贴合靶材进行支撑，提高对靶材的支撑效果。放置台2表面和活动块11表面都设有橡胶垫12，橡胶垫12采用软质橡胶，确保靶材与支撑柱5接
触时，不会磕碰靶材。
[0024]使用时，将靶材放置在放置台2上，支撑柱5从下侧对靶材进行支撑，活动块11通过球铰链10转动贴合在靶材下侧表面，靶材从上侧将支撑柱5向下压动，弹簧14对支撑柱5的下压进行缓冲，限位块6对支撑柱5下移进行限位，同时下侧的气囊垫9也对支撑柱5的下压进行缓冲，同时气囊垫9通过进气装置进行充气，气囊垫9通过充气作用胀起对支撑柱5进行支撑的同时，也将支撑柱5向上顶起，从而使支撑柱5上端紧密贴合在靶材表面，使靶材下侧各点均匀受到支撑柱5的支撑，减少了靶材放置受力不均导致断裂的问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸平面靶材摆放台，包括底板（1），底板（1）上设有放置台（2），其特征在于，放置台（2）上侧表面设有若干通孔（3），放置台（2）内设有导向架（4），导向架（4）上活动安装有若干支撑柱（5），支撑柱（5）上端穿过通孔（3）伸出放置台（2）表面，支撑柱（5）上设有限位块（6），限位块（6）设置在放置台（2）下侧，支撑柱（5）上套设有弹簧（14），弹簧（14）设置在导向架（4）和限位块（6）之间。2.如权利要求1所述的大尺寸平面靶材摆放台，其特征在于：放置台（2）侧边上设有调节槽（7），调节槽（7）上设有调节螺栓（8），调节螺栓（8）与导向架（4）连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾探，王志强，石煜，马建保，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：