用全息法制作变频光栅的装置制造方法及图纸

一种全息法制作变频光栅的装置，其特点在于它由激光光源、扩束望远镜、分束器、反射镜、柱面镜和记录介质组成，其光路是：激光光源发出的激光束经望远镜扩束，进入分束器，将光束一分为二，其反射光束经柱面镜由反射镜反射到记录介质上，作为物波；透射光束经反射镜的反射也射到全息记录介质上，是参考波，物波和参考波相干形成的全息图被记录在记录介质上。利用本实用新型专利技术装置制作的变频光栅，光栅的空间频率成线性变化，而且空间频率可高达２０００～３０００线／ｍｍ。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及变频光栅，特别是一种全息法制作变频(或称复间距)光栅的装置。
技术介绍
近年来，变频光栅已在国防工业、科学研究、工业生产等各部门获得了广泛的应用，特别在同步辐射软-X射线光束线中，获得了普遍的使用。例如，在日本的Spring-8、国内的合肥和北京的同步辐射装置中，都采用了变频光栅。按一定的规律改变光栅的刻槽间距，可以起到减小像差、缩短单色仪空间长度、提高单色仪的效率等作用，还可以实现自聚焦、克服输出端聚焦镜引入的各种像差等等。变频光栅是利用全息照相的方法，用两束相干光迭加后所产生的干涉条纹作为其“刻线”而制成的。1960年，M.V.R.K.Murty提出了一种用改进的Michelson干涉仪产生空间频率作线性变化的干涉条纹的方法，但实验装置的精度要求很高，除干涉仪末端的反射镜必须固定在特定位置之外，分束器和补偿板的厚度之间也需要满足某种关系(参见在先技术M.V.R.K.Murty；J.Opt.Soc.Am.，1960，No1.7)。1979年，上述作者改进了他的实验装置，采用一束相干光在柱面透镜前(曲面)、后(平面)表面的反射光干涉制作变频光栅。其优点是比较简便，不象前一种方法那样对实验装置的精度有严格的要求，缺点是由于入射光是从柱面镜的曲面入射的，为了使干涉条纹的空间频率按照线性规律变化，入射角的值受到限制，结果空间频率不可能做得很高(参见在先技术M.V.R.K.Murtv et al.，Optical Engineering，1979，18，No.5，526)。
技术实现思路
为克服上述在先技术中存在的缺点，本技术提供一种用全息法制作变频光栅的装置。本技术的技术解决方案是在全息干涉仪的一条光路中插入一柱面透镜，使得由柱面镜透射的物光与另一条光路中的平面参考光相干涉，形成干涉条纹间距可变的干涉图形。当柱面镜的横向宽度有限而引起的衍射效应可以忽略不计时，干涉条纹的空间频率将是条纹所在位置的严格的线性函数，而且从原则上说，只要适当地选取该实验装置的几何参数，例如柱面镜曲面的曲率半径R，从柱面镜到全息记录平面的距离D等，就可使条纹的空间频率很高。设柱面镜可以作为薄透镜处理，亦即光线在柱面镜内的平移可以忽略不计时，在光路中插入柱面镜只是使入射波前的位相受到延迟，其延迟效应的大小正比于柱面镜各点的厚度。现设柱面镜的最大厚度为Δ0，而在坐标(x，y)处的厚度为Δ(x，y)，那么，当入射波通过柱面镜时，在位置(x，y)处所引起的总的位相延迟为Φ(x，y)＝KnΔ(x，y)+K{Δ0-Δ(x，y)} (1)式中，K＝2π/λ是入射波的波数，n是柱面镜材料的折射率，KnΔ(x，y)是由柱面镜引起的位相延迟，K{Δ0-Δ(x，y)}则是由曲面引起的自由空间区域中的位相延迟。因此，柱面镜对入射波前的作用等效于一个位相物体，该位相物体的透射系数为Ψ(x，y)＝exp{iK(n-1)Δ(x，y)} (2)当振幅为A、波长为λ的平面波由柱面镜平面正入射时，在紧靠柱面镜曲面的平面上，相应的透射波的复振幅U0(x，y)为U0(x，y)＝AΨ(x，y)＝Aexp{iK(n-1)Δ(x，y)} (3)此透射波U0(x，y)即作为物波，与另一束作为参考波的平面波发生干涉，其干涉光强的分布，将取决于柱面镜的厚度函数Δ(x，y)的具体表达式，以及全息干涉仪中，当柱面镜未插入时，两束光之间的夹角α。柱面镜的厚度函数Δ(x，y)Δ(x,y)=Δ0+R′{1-1-x2/R′2}≈Δ0+x2/2R′=Δ0-x2/2R........(4)]]>式中，R≡-R′＞0。将(4)式代入(3)式，同时略去共有的恒定位相因子K(n-1)Δ0，即有U0(x,y)=Aexp{-ikn-12Rx2}......(5)]]>设由柱面镜透射的物波到全息记录平面之间的传播满足Fresnel衍射条件，则物波在记录平面上的复场分布Ψ0(xi，yi)为ψ0(xi,yi)=AiλD∫∫dxdyP(x,y)×exp{-iKn-12Rx2}×exp{iK2D}.......(6)]]>式中，D为柱面镜到全息记录平面之间的距离，P(x，y)为柱面镜的光瞳函数，定义为 设全息干涉仪中两路光束的夹角为α时，平面参考波在全息记录平面上的复场振幅可以表示为ψR(xi,yi)=Aexp{-i2πλsinα,xi}........(7)]]>而全息平面上总的波扰动Ψ(xi，yi)为Ψ(xi，yi)＝Ψ0(xi，yi)+ΨR(xi，yi) (8)光强分布为I(xi,yi)=|ψ(xi,yi)|2]]>=I0{Q2(ω)+1+2Q(ω)cos}..........(9)]]>式中I0＝A2Q(ω)=1A12DC2(ω)+S2(ω)...........(10)]]> 式中，C(ω)和S(ω)都是全息记录平面坐标xi的函数，对于不同的xi，C(ω)和S(ω)的值都可以由Fresnel考纽线求得。方程(9)式以及(10)式给出了全息记录平面上的光强分布，其干涉条纹之间的间距随像平面坐标xi的不同而变化。根据光强分布的极大条件，分别令 以及 同时考虑到，xi′′2-xi′2≈2xi′(xi′′-xi′)]]>即可求得干涉条纹的间距为 当Δ(x)=(xi′′-xi′)]]>很小时，(ω′)≈(ω″)，于是方程(11)式可近似地表示为Δx=λn-1D(n-1)-Rxi+sinα...........(12)]]>而干涉图样的空间频率vx＝1/Δx为vx=n-1λxi+1λsinα..........(13)]]>当柱面镜边缘的衍射效应可以不计时，按照与前完全相同的方法可以证明，(13)式中的近似关系即成为确切相等。事实上，如果不考虑衍射效应，(ω)就不再是全息记录平面坐标xi的函数，而是一个常量位相因子。从方程(13)式可以看出，为了使干涉图样的空间频率尽可能地高，要求入射波的波长λ尽可能地短，全息干涉仪中两条光路之间的夹角α尽可能地大。另一方面，由于空间频率vx随条纹位置xi的变化规律为dvxdxi=n-1λ]]>(14)因此，当距离D、柱面镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全息法制作变频光栅的装置，其特点在于它由激光光源（１）、扩束望远镜（２）、分束器（３）、反射镜（４、５、６）、柱面镜（７）和记录介质（８）组成，其光路是：激光光源（１）发出的激光束经望远镜（２）扩束，进入分束器（３），将光束一分为二，其反射光束经柱面镜（７）由反射镜（６）反射到记录介质（８）上，作为物波；透射光束经反射镜（４）和（５）的反射也射到全息记录介质（８）上，是参考波，物波和参考波相干形成的全息图被记录在记录介质（８）上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建文，高鸿奕，谢红兰，徐至展，熊诗圣，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]