一种可灵活调节精确度的调针机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可灵活调节精确度的调针机，属于调针机技术领域，包括底座，所述底座的底部设置有吸附装置，所述底座的右侧固定暗转有伺服电机，所述伺服电机的输出轴贯穿并延伸至底座的内部，所述伺服电机的输出轴上固定连接有驱动轴，所述驱动轴的左端转动连接在底座的内壁上，所述驱动轴上螺纹连接有驱动装置。该实用新型专利技术，通过伺服电机与驱动轴的配合使用实现对调针架左右方向的调整，驱动装置的设置可以对调针架的前后移动进行灵活的调节，从而提高装置的实用性，吸附装置的设置可以避免此装置在工作时发生偏移造成探针调节出现偏差，同时便于拆装，减少安装与拆卸的时间提高效率，解决了以往调针机不便于固定与调节的问题。节的问题。节的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可灵活调节精确度的调针机


[0001]本技术涉及调针机
，更具体地说，涉及一种可灵活调节精确度的调针机。

技术介绍

[0002]调针机在使用过程中需要用到探针卡，探针卡是在晶圆测试阶段肯定会使用到的一种重要工具，随着时间的发展，晶圆面积所容纳的晶粒数目越来越多，且结构也是更加的复杂，因为晶圆的尺寸比较小，而一片晶圆又容纳了很多的晶粒在上面，相对每一颗晶粒所能分配到的面积就会非常小，所以进行晶圆测试时，设备要在很小的面积里必须对每一颗晶粒做完整的电性测试，便要借助探针卡微小化，通过探针卡上多个细微的探针来使用。
[0003]由于探针卡的多个探针是非常微小的，并且放置于基座上时由于没有固定的装置，可能会造成偏移、不准的现象，现有的调针机无法进行左右、上下全自动移动，降低了使用效果和校准方便性，且在操作的过程中容易发生移动，导致精度下降，因此本领域的专业人员提供了一种可灵活调节精确度的调针机，已解决上述提到的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种可灵活调节精确度的调针机，以解决以往调针机不便于固定与调节的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0006]一种可灵活调节精确度的调针机，包括底座，所述底座的底部设置有吸附装置，所述底座的右侧固定暗转有伺服电机，所述伺服电机的输出轴贯穿并延伸至底座的内部，所述伺服电机的输出轴上固定连接有驱动轴，所述驱动轴的左端转动连接在底座的内壁上，所述驱动轴上螺纹连接有驱动装置，所述底座的顶部开设有与其内部相连通的通槽，所述驱动装置的顶端贯穿通槽并延伸至底座的顶部，所述驱动装置的顶部固定连接有调针架。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：一种可灵活调节精确度的调针机，包括底座，所述底座的底部设置有吸附装置，所述底座的右侧固定暗转有伺服电机，所述伺服电机的输出轴贯穿并延伸至底座的内部，所述伺服电机的输出轴上固定连接有驱动轴，所述驱动轴的左端转动连接在底座的内壁上，所述驱动轴上螺纹连接有驱动装置，所述底座的顶部开设有与其内部相连通的通槽，所述驱动装置的顶端贯穿通槽并延伸至底座的顶部，所述驱动装置的顶部固定连接有调针架。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：所述吸附装置包含有安装箱，所述安装箱固定连接在底座的底部，所述安装箱的正面固定安装有气泵，所述气泵背面的一端贯穿并延伸至安装箱的内部，安装箱的内底壁上开设有均匀分布的安装槽，所述安装槽的内壁上固定连接有吸盘，所述气泵与控制面板之间电性连接。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：所述驱动装置包含有移动座，所述移动座螺纹连接在驱动轴上，所述移动座的顶端贯穿并延伸至底座的顶部，所述移动座的顶端固定连
接有驱动箱，所述驱动箱的内底壁上固定连接有等距离排列的齿牙，所述驱动箱的内壁上滑动连接有安装座，所述安装座的右端贯穿并延伸至驱动箱的外部，所述安装座的右侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿并延伸至安装座的内部，所述驱动电机的输出轴上固定连接有齿轮，所述齿轮通过齿牙与驱动箱之间相啮合，所述调针架固定连接在安装座的顶部，所述驱动电机与控制面板之间电性连接。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：所述驱动箱的内壁上开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑条，所述滑条的右端固定连接在安装座上。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：所述驱动箱的正面与背面均固定安装有辅助轮，两个所述辅助轮的底端均与底座的顶部相接触。
[0012]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0013]本技术通过伺服电机与驱动轴的配合使用实现对调针架左右方向的调整，驱动装置的设置可以对调针架的前后移动进行灵活的调节，从而提高装置的实用性，吸附装置的设置可以避免此装置在工作时发生偏移造成探针调节出现偏差，同时便于拆装，减少安装与拆卸的时间提高效率，解决了以往调针机不便于固定与调节的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术的吸附装置内部立体结构示意图；
[0016]图3为本技术的驱动装置立体结构示意图；
[0017]图4为本技术的图3中A处放大结构示意图。
[0018]图中标号说明：
[0019]1、底座；2、吸附装置；201、安装箱；202、气泵；203、安装槽；204、吸盘；3、伺服电机；4、驱动轴；5、驱动装置；501、移动座；502、驱动箱；503、齿牙；504、安装座；505、驱动电机；506、齿轮；6、通槽；7、调针架；8、控制面板；9、滑槽；10、滑条；11、辅助轮。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；
[0021]请参阅图1～4，本技术中，一种可灵活调节精确度的调针机，包括底座1，底座1的底部设置有吸附装置2，底座1的右侧固定暗转有伺服电机3，伺服电机3的输出轴贯穿并延伸至底座1的内部，伺服电机3的输出轴上固定连接有驱动轴4，驱动轴4的左端转动连接在底座1的内壁上，驱动轴4上螺纹连接有驱动装置5，底座1的顶部开设有与其内部相连通的通槽6，驱动装置5的顶端贯穿通槽6并延伸至底座1的顶部，驱动装置5的顶部固定连接有调针架7。
[0022]本技术中，当需要将底座1固定在台面上时，使用人员将吸附装置2与台面贴合，接着控制吸附装置2通电工作，吸附装置2通电后产生吸力与台面紧紧吸附，从而使得吸附装置2无法移动，此时底座1便完成了固定，当需要对底座1进行移动时，使用人员控制吸附装置2与台面分离，随后即可移动，吸附装置2的设置可以避免此装置在工作时发生偏移造成探针调节出现偏差，同时便于拆装，减少安装与拆卸的时间提高效率，当需要对调针架
7进行调整时，使用人员控制伺服电机3通电工作，伺服电机3通电后带动与其固定连接的驱动轴4发生同步转动，与驱动轴4螺纹连接的驱动装置5开始发生左右方向的移动，从而驱动装置5顶部的调针架7随之移动，接着使用人员控制驱动装置5通电工作，驱动装置5通电后带动与其固定连接调针架7发生前后方向的移动，驱动装置5的设置可以对调针架7的前后移动进行灵活的调节，从而提高装置的实用性，解决了以往调针机不便于固定与调节的问题。
[0023]请参阅图1，其中：底座1的右侧固定安装有控制面板8，吸附装置2、伺服电机3与驱动装置5均与控制面板8之间电性连接。
[0024]本技术中，控制面板8的设置可以使得使用人员更加简单快捷的操控此装置，以此减少人员的投入与所需要操作的步骤，从而提高装置智能性。
[0025]请参阅图1与2，其中：吸附装置2包含有安装箱201，安装箱201固定连接在底座1的底部，安装箱201的正面固定安装有气泵202，气泵202背面的一端贯穿并延伸至安装箱201的内部，安装箱201的内底壁上开设有均本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可灵活调节精确度的调针机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的底部设置有吸附装置(2)，所述底座(1)的右侧固定暗转有伺服电机(3)，所述伺服电机(3)的输出轴贯穿并延伸至底座(1)的内部，所述伺服电机(3)的输出轴上固定连接有驱动轴(4)，所述驱动轴(4)的左端转动连接在底座(1)的内壁上，所述驱动轴(4)上螺纹连接有驱动装置(5)，所述底座(1)的顶部开设有与其内部相连通的通槽(6)，所述驱动装置(5)的顶端贯穿通槽(6)并延伸至底座(1)的顶部，所述驱动装置(5)的顶部固定连接有调针架(7)。2.根据权利要求1所述的一种可灵活调节精确度的调针机，其特征在于：所述底座(1)的右侧固定安装有控制面板(8)，所述吸附装置(2)、伺服电机(3)与驱动装置(5)均与控制面板(8)之间电性连接。3.根据权利要求2所述的一种可灵活调节精确度的调针机，其特征在于：所述吸附装置(2)包含有安装箱(201)，所述安装箱(201)固定连接在底座(1)的底部，所述安装箱(201)的正面固定安装有气泵(202)，所述气泵(202)背面的一端贯穿并延伸至安装箱(201)的内部，安装箱(201)的内底壁上开设有均匀分布的安装槽(203)，所述安装槽(203)的内壁上固定连接有吸盘(204)，所述气泵(202)与控制面板(8)之间电性连接。4.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋振兴，
申请(专利权)人：苏州杰裕恩信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：