镀膜夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及薄板状产品镀膜技术领域，具体的说是一种镀膜夹具，其特征在于，还设有与底板相配合的盖板，盖板具有与底板的条形槽相适应的波浪状底面；两块盖板分别设置在底板的上端和下端，并与底板扣合形成容纳待加工基板的空间；所述底板的下端设有下挡块，下挡块经螺钉固定在底板下端；上端的盖板经螺钉与上挡块相连接且上端的盖板与上挡块之间存在间隙；底板上端开设螺钉孔，球头型锁紧螺丝沿底板背面锁入螺钉孔后上端与盖板背面相抵，球头型锁紧螺丝在未受力时，高度超过底板条形槽内基板的最高处0.2mm

【技术实现步骤摘要】
镀膜夹具


[0001]本技术涉及薄板状产品镀膜
，具体的说是一种能够适应多片叠放薄板状镀件在工艺过程中因温度变化而产生的形变，进而避免造成缝隙，杜绝因缝隙导致镀膜不良问题的镀膜夹具。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜为利用高能电子轰击靶材，并使靶材表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基板表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，是一种基板表面非常均匀的镀膜。在成膜腔内部，在磁场和电场的共同作用下，溅射物会最大程度的溅射在基板表面，如果溅射到基板上不该镀膜的区域，那么就属于不良膜，会造成基板的废弃，降低了镀膜基板的品质。
[0003]对于热敏打印头制造用基板的镀膜处理，可以采用整枚基板镀膜，对部分区域进行遮挡，然后再清除掉遮挡物，但是这样镀膜效率很低，影响生产产量。因此生产中选择把基板加工成长条进行镀膜，在此过程中，虽然大大提高了镀膜效率，但由于基板成膜时，要对基板进行加热和放电，导致基板和夹具的温度大幅升高，由于基板和夹具的热膨胀系数不同，若对基板两端固定，则中间会产生拱起变形，当叠放的相邻基板变形不一致时就会产生缝隙，通过缝隙，不良膜扩散就会扩散到不应镀膜的区域，影响产品质量。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术中存在的缺点和不足，提出了一种能够适应多片叠放薄板状镀件在工艺过程中因温度变化而产生的形变，进而避免造成缝隙，杜绝因缝隙导致镀膜不良问题的镀膜夹具。
[0005]本技术通过以下措施达到：
[0006]一种镀膜夹具，设有用于承托条形基板的底板，底板上设有若干彼此平行设置的条形槽，条形槽的底面为斜面，待加工基板一一置于两个以上的条形槽内，相邻条形槽内的待加工基板部分层叠，其特征在于，还设有与底板相配合的盖板，盖板具有与底板的条形槽相适应的波浪状底面；两块盖板分别设置在底板的上端和下端，并与底板扣合形成容纳待加工基板的空间；所述底板的下端设有沿底板宽度方向设置的下挡块，下挡块经螺钉固定在底板下端，且下挡块的高度与代加工基板置于条形槽后的高度一致，下档块与下端的盖板经螺钉固定连接；底板的上端设有沿底板宽度方向设置的上挡块，上挡块的高度低于底板上条形槽最低处高度，上端的盖板经螺钉与上挡块相连接且上端的盖板与上挡块之间存在间隙；底板上端开设螺钉孔，球头型锁紧螺丝沿底板背面锁入螺钉孔后上端与盖板背面相抵，其中球头型锁紧螺丝在未受力时，高度超过底板条形槽内待加工基板的最高处0.2mm
±
0.1mm。
[0007]本技术优选在底板上端开设2
‑
4个球头型锁紧螺丝的螺钉孔，并对应设置2
‑
4个球头型锁紧螺丝，用于支撑位于装置上端的盖板维持平衡，所述球头型锁紧螺丝为球头
型锁紧螺栓，包括螺纹杆体，杆体内置弹簧，上端设有钢珠，以M3型号的球头型锁紧螺栓为例，压缩后行程为0.5mm左右。
[0008]本技术所述盖板的宽度范围为20mm
±
0.5mm，盖板上设有与底板条形槽相适应的条形槽阵列，用于与底板扣合形成待加工基板夹紧空间。
[0009]本技术所述条形槽底面的倾斜角度范围为2
°‑
15
°
，相邻条形槽间距范围为2.5
‑
15.0mm。
[0010]本技术所述待加工基板的下端与下档块相抵，因此在加工过程中，夹具的下端无形变空间，而上端的盖板与上挡块之间经螺钉相连，且盖板与上挡块之间存在间隙，因此当加工过程中夹具因升温发生形变时，条形待加工基板会利用间隙适应夹具的形变；为了保证正常情况下上部盖板的平衡，在底板的上端设置若干球形锁紧螺钉，球形锁紧螺钉经底板上的螺纹孔锁入，且具有钢珠的上端与盖板相抵，完成对盖板的支撑；上料时，将球形锁紧螺钉最高处高度略高过底板上基板最高处，上部盖板在重力作用下，下压球形锁紧螺钉的上端，并与底板配合，压合在待加工基板上侧；当镀膜操作开始，底板因温度上升发生形变，底板上的基板将因形变导致两端翘曲，此时位于底板下端的基板无活动余量，形变力均由底板上端位置处释放，此时基板翘起时将会托起上部盖板上移，上部盖板在螺钉的限位作用下，不会脱离上挡块，在保证基板形变空间的前提下，与底板扣合形成夹合空间。
[0011]本技术与现有技术相比，通过调整夹具装置一端的盖板紧固螺钉以及球头锁紧螺钉即可完成对形变间隙的调整，与现有夹具装置相比，能够适应因温度变化带来的夹具及工件形变，具有结构合理、调整简便、适于大量工业加工等显著的优点。
[0012]附图说明：
[0013]附图1是本技术中底板的结构示意图。
[0014]附图2是本技术的结构示意图。
[0015]附图3是本技术中盖板与底板的使用示意图。
[0016]附图标记：底板1、下挡块2、上挡块3、盖板4、球头型锁紧螺丝5、螺钉6、基板7。
[0017]具体实施方式：
[0018]下面结合附图和实施例，对本技术做进一步的说明。
[0019]如附图1及附图2所示，本技术提出了一种镀膜夹具，设有用于承托条形基板的底板1，底板1上设有若干彼此平行设置的条形槽，条形槽的底面为斜面，待加工基板一一置于两个以上的条形槽内，相邻条形槽内的待加工基板部分层叠，还设有与底板1相配合的盖板4，盖板4具有与底板1的条形槽相适应的波浪状底面；两块盖板4分别设置在底板1的上端和下端，并与底板1扣合形成容纳待加工基板的空间；所述底板1的下端设有沿底板宽度方向设置的下挡块2，下挡块2经螺钉固定在底板1下端，且下挡块2的高度与代加工基板置于条形槽后的高度一致，下档块2与下端的盖板4经螺钉固定连接；底板1的上端设有沿底板宽度方向设置的上挡块3，上挡块3的高度低于底板1上条形槽最低处高度，上端的盖板4经螺钉与上挡块3相连接且上端的盖板4与上挡块3之间存在间隙；底板1上端开设螺钉孔，球头型锁紧螺丝5沿底板1背面锁入螺钉孔后上端与盖板4背面相抵，其中球头型锁紧螺丝5在未受力时，高度超过底板1条形槽内待加工基板的最高处0.2mm
±
0.1mm。
[0020]本技术优选在底板1上端开设2
‑
4个球头型锁紧螺丝5的螺钉孔，并对应设置2
‑
4个球头型锁紧螺丝5，用于支撑位于装置上端的盖板4维持平衡，所述球头型锁紧螺丝5
为球头型锁紧螺栓，包括螺纹杆体，杆体内置弹簧，上端设有钢珠，以M3型号的球头型锁紧螺栓为例，压缩后行程为0.5mm左右。
[0021]本技术所述盖板4的宽度范围为20mm
±
0.5mm，盖板4上设有与底板1条形槽相适应的条形槽阵列，用于与底板1扣合形成待加工基板夹紧空间。
[0022]本技术所述条形槽底面的倾斜角度范围为2
°‑
15
°
，相邻条形槽间距范围为2.5
‑
15.0mm。
[0023]实施例1：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜夹具，设有用于承托条形基板的底板，底板上设有若干彼此平行设置的条形槽，条形槽的底面为斜面，待加工基板一一置于两个以上的条形槽内，相邻条形槽内的待加工基板部分层叠，其特征在于，还设有与底板相配合的盖板，盖板具有与底板的条形槽相适应的波浪状底面；两块盖板分别设置在底板的上端和下端，并与底板扣合形成容纳待加工基板的空间；所述底板的下端设有沿底板宽度方向设置的下挡块，下挡块经螺钉固定在底板下端，且下挡块的高度与代加工基板置于条形槽后的高度一致，下档块与下端的盖板经螺钉固定连接；底板的上端设有沿底板宽度方向设置的上挡块，上挡块的高度低于底板上条形槽最低处高度，上端的盖板经螺钉与上挡块相连接且上端的盖板与上挡块之间存在间隙；底板上端开设螺钉孔，球头型锁紧螺丝沿底板背面锁入螺钉孔后上端与盖板背面相抵，其中球头型锁紧螺丝在未受力时，高...

【专利技术属性】
技术研发人员：迟善述，张庆祝，副岛和彦，
申请(专利权)人：山东华菱电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：