高光束质量集成固体激光器制造技术

本发明专利技术涉及一种高光束质量集成固体激光器技术领域。其包括光泵，激光介质晶体１，激光谐振腔是由直接镀在晶体１输出端的变反射率膜２和镀在激光介质晶体１另一端的全反膜３组成。由于采用了变反射率膜和集成技术，提高了光束质量，减小了调整难度，特别适用于小型测距机、牙科激光机等工程小型激光系统，减小整机体积，减轻重量，节省装校工时，降低生产成本。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种高光束质量集成固体激光器(简称VRR)，属于固体激光器
现有的固体激光器，用变反射率镜作为输出镜组成谐振腔。参见杂志Opt.Communications，1990，77(2)，179；作者s.De silvestri，题目Comparative analysis of NdYAG unstable resonator with super-gaussian VRM。变反射率镜谐振腔的调整，要求变反射率镜的最大反射率Ro点必须要在谐振腔光轴上，并与晶体的轴线重合，如图5所示。否则将无法满足变反射率镜组成谐振腔的基本原理，从而达不到良好效果。这一要求对于工程激光器显得更加困难了。本专利技术的任务是提供一种高光束质量集成固体激光器，采用变反射率膜和集成技术，大大减小了调整难度，特别适用于小型测距机、牙科激光机等工程小型测距机、牙科激光机等工程小型激光系统。完成本专利技术的上述任务的技术方案如下。高光束质量集成固体激光器，包括光泵，激光介质晶体(1)，其特征在于，激光谐振腔是由直接镀在激光介质晶体(1)输出端的变反射率膜(2)和镀在激光介质晶体(1)另一端的全反膜(3)组成。以下通过实施例，结合附图对本专利技术作进一步详细说明。附图说明图1是本专利技术高光束质量集成固体激光器的示意图；图2是本专利技术另一实施例的示意图；图3是本专利技术又一实施例的示意图；图4是变反射率膜2的径向反射率分布曲线示意图；圈5是已有技术固体激光器示意图。图1所示本专利技术高光束质量集成固体激光器，其激光介质晶体1输出端镀有变反射率膜2，另一端镀全反膜3，组成激光谐振腔。激光介质晶体1可用NdYAG晶体，Cr，NdYAG或NdCrGSGG或GSAG或GGG晶体，两端镀膜后组成非稳腔或稳定腔。所谓变反射率膜，是指沿该膜的径向或二维方向的反射率从中心到边缘逐渐递减，是非均匀膜。反射率曲线一般为轴对称曲线，例如高斯形，准高斯形，超高斯形或抛物线形等。如图4所示，横坐标为径向距高，纵坐标为反射率R，膜中心的反射率为R。最大，将变反射率膜2直接镀在激光介质晶体的输出端表面，并使变反射率膜2的最大反射率处R。几乎与晶体的几何中心重合，离心精度≤0.3毫米。谐振腔为非稳腔，例如晶体的输出端为凹面，另一端为平面。当变反射率膜2的反射率曲线为高斯形时，变反射率膜底宽2a与该方向的晶体尺寸2b的关系为b＝(Mn-1)1/n·aM是非稳腔的横向放大率(M＞1)N是高斯形变反射率膜的阶数。如果设计的谐振腔为稳定腔，例如晶体的输出端为凸面，另一端为平面，则a＜b，那么变反射率膜同时可起到软光栏的作用，对提高激光光束质量仍然有所贡献。图2是本专利技术的另一实施例，在激光介质晶体1输出端与变反射率膜2之间以及晶体另一端与全反膜3之间分别都镀增透膜4和5，更可提高本专利技术高光束质量集成固体激光器的性能。图3是本专利技术的又一实施例，与图2实施例不同处是用分离的全反镜6替代全反膜3 。图4是变反射率膜2的径向反射率分布曲线示意图，膜中心的反射率为Ro，高膜中心O径向距离为γ或-γ时反射率为最小。图5是已有技术固体激光器示意图，7为光泵，1为激光介质晶体，6为全反镜，8为变反射率镜。本专利技术的效果是由于采用了变反射率膜和集成技术，提高了光束质量，减小了调整难度，这样特别适用于小型测距机，牙科激光机等工程小型激光系统，可减小整机体积，减轻重量，调整方便，节省了装校工时，降低了生产成本。权利要求1.高光束质量集成固体激光器，包括光泵，激光介质晶体(1)，其特征在于，激光谐振腔是由直接镀在激光介质晶体(1)输出端的变反射率膜(2)和镀在激光介质晶体(1)另一端的全反膜(3)组成。2.根据权利要求1的集成固体激光器，其特征在于，变反射率膜中心(Ro)与谐振腔光轴偏高度≤0.3毫米。3.根据权利要求1或2的集成固体激光器，其特征在于，在晶体(1)输出端与变反射率膜(2)之间以及晶体另一端与全反膜(3)之间分别镀有增透膜(4，5)。4.根据权利要求3的集成固体激光器，其特征在于，全反膜用分离的全反镜(6)替代。5.根据权利要求3的集成固体激光器，其特征在于，晶体为NdYAG晶体。全文摘要本专利技术涉及一种高光束质量集成固体激光器
其包括光泵，激光介质晶体1，激光谐振腔是由直接镀在晶体1输出端的变反射率膜2和镀在激光介质晶体1另一端的全反膜3组成。由于采用了变反射率膜和集成技术，提高了光束质量，减小了调整难度，特别适用于小型测距机、牙科激光机等工程小型激光系统，减小整机体积，减轻重量，节省装校工时，降低生产成本。文档编号H01S3/08GK1134052SQ9610031公开日1996年10月23日 申请日期1996年1月19日 优先权日1996年1月19日专利技术者张放, 张平雷 申请人:电子工业部第十一研究所 本文档来自技高网...

【技术保护点】
高光束质量集成固体激光器，包括光泵，激光介质晶体（１），其特征在于，激光谐振腔是由直接镀在激光介质晶体（１）输出端的变反射率膜（２）和镀在激光介质晶体（１）另一端的全反膜（３）组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张放，张平雷，
申请(专利权)人：电子工业部第十一研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]