本申请涉及电子化学品制备的技术领域，具体公开了一种化工助剂的安全生产工艺，包括以下步骤：汽化：将液氨进行汽化，得到粗氨气；洗气：将粗氨气通入到洗气装置中进行洗气，得到净氨气；吸收：将净氨气通入到去离子水中，制得超纯氨水。本申请中先将液氨汽化，除去液氨中油、铁以及其它杂质，得到粗氨气；然后将粗氨气通入到洗气装置到进行洗气，除去氨气中的气体杂质，得到净氨气；最后将净氨气溶解在去离子水中，得到超纯氨水，本申请具有提高氨水纯度和生产安全性的效果。和生产安全性的效果。和生产安全性的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种化工助剂的安全生产工艺
[0001]本申请涉及电子化学品制备的
，尤其是涉及一种化工助剂的安全生产工艺。
技术介绍
[0002]半导体行业近几年发展较为迅速，超纯氨水作为半导体行业中重要的电子级化学试剂，在半导体和化合物半导体器件的制备中得到了广泛的应用。在利用氨水制备器件的时候，有时氨水中的一些金属离子或者固体颗粒就可以使得整个电路报废，因此对氨水纯度的要求较高。
[0003]常用的超纯氨水制备方法为精馏法，将氨水通入精馏塔中进行精馏，得到超纯氨水，但是利用精馏的方法制备超纯氨水，制得氨水的纯度不高，且需要在高温高压的情况下进行，影响生产的安全性。
技术实现思路
[0004]为了提高制得氨水的纯度，本申请提供一种化工助剂的安全生产工艺。
[0005]本申请提供的一种化工助剂的安全生产工艺采用如下的技术方案：一种化工助剂的安全生产工艺，包括以下步骤：汽化：将液氨进行汽化，得到粗氨气；洗气：将粗氨气通入到洗气装置中进行洗气，得到净氨气；吸收：将净氨气通入到去离子水中，制得超纯氨水。
[0006]通过采用上述技术方案，先将液氨汽化，除去液氨中油、铁以及其它杂质，得到粗氨气；然后将粗氨气通入到洗气装置到进行洗气，除去氨气中的气体杂质，得到净氨气；最后将净氨气溶解在去离子水中，得到超纯氨水；本申请中的制备方法，制得氨水的纯度较高，且在常温常压下进行，提高了生产的安全性。
[0007]在一个具体的可实施方案中，所述洗气步骤中，利用所述洗气装置对粗氨气一次进行两次洗气。<br/>[0008]通过采用上述技术方案，利用洗气装置对粗氨气进行两次洗气，提高了粗氨气的净化效果，进而提高了制得超纯氨水的纯度。
[0009]在一个具体的可实施方案中，所述洗气装置包括过滤机构和净化机构，所述净化机构连通设置在所述过滤机构上；所述净化机构包括与过滤机构连通设置的净化罐、搅拌件、驱动件和干燥件，所述搅拌件设置在所述净化罐内，所述驱动件驱动所述搅拌件在所述净化罐内转动，所述干燥件设置在所述搅拌件上。
[0010]通过采用上述技术方案，先利用过滤机构对粗氨气进行初步洗气，除去粗氨气中的部分气体杂质；净化罐中预先加入去离子水，然后将粗氨气通入到净化罐中，利用驱动件驱动搅拌件对去离子水进行搅拌，使得粗氨气充分溶解在去离子水中，形成氨水；持续通入
粗氨气，使得氨水饱和，氨水达到饱和后释放出氨气，再利用干燥件除去氨气中的雾沫，完成洗气，得到净氨气。
[0011]在一个具体的可实施方案中，所述搅拌件包括转动连接在所述净化罐底壁上的搅拌轴，所述搅拌轴与所述驱动件相连接，且所述搅拌轴竖直设置；所述干燥件包括除沫网和安装架，所述安装架连接在所述搅拌轴上，所述除沫网安装在所述安装架上。
[0012]通过采用上述技术方案，在搅拌轴搅拌的过程中，带动安装架转动，使得氨气可以与安装架上的除沫网充分接触，提高了氨气的干燥效果，进而提高了最后制得超纯氨水的纯度；当除沫网上的液滴较多时，可以提高搅拌轴的转速，将除沫网上的液滴甩去，便于除沫网吸收氨气中的水分，进一步提高氨气的干燥效果。
[0013]在一个具体的可实施方案中，所述安装架包括水平设置在所述搅拌轴上的矩形框，所述矩形框上连接有若干连接杆，若干所述连接杆均向上倾斜设置，若干所述连接杆上连接有同一个圆环，所述除沫网与所述圆环、所述连接杆和所述矩形框相连接，所述圆环的环外壁与所述净化罐的内罐壁贴合，所述圆环、所述连接杆和所述矩形框围合成除沫网的安装区域。
[0014]通过采用上述技术方案，利用本申请中的安装架，使得安装架上的除沫网倾斜设置，既提高了氨气与除沫网的接触面积，又便于除沫网上的雾沫汇聚成液滴，然后提高搅拌轴的转速时，便于将除沫网上的液滴甩出。
[0015]在一个具体的可实施方案中，所述搅拌轴的顶壁上设置有凸块，所述凸块与所述矩形框插接配合，所述矩形框通过安装件可拆卸连接在所述搅拌轴上；所述安装件包括转动连接在所述凸块上的螺纹杆，所述螺纹杆竖直设置，所述螺纹杆上螺纹连接有升降块，所述升降块上至少铰接有两个摆动杆，两个所述摆动杆远离所述升降块的一端均铰接有滑移块，所述凸块上设有滑移槽，所述滑移块滑移连接在所述滑移槽的槽壁上，且所述滑移块抵接在所述矩形框的顶壁上。
[0016]通过采用上述技术方案，将矩形框套在凸块上，然后转动螺纹杆，滑移槽对滑移块具有一定的限位作用，使得螺纹杆带动升降块下降，升降块带动摆动杆发生摆动，摆动杆推动滑移块在滑移槽内滑移，使得滑移块抵接到矩形框的顶壁上，完成安装架的安装；利用安装件将安装架可拆卸连接在搅拌轴上，便于将安装架拆下，对安装架上的除沫网进行更换。
[0017]在一个具体的可实施方案中，所述滑移槽的侧壁上开设有弹簧槽，所述弹簧槽的槽壁上设置有弹簧，所述弹簧上连接有伸缩杆，所述伸缩杆的一端伸出所述弹簧槽外，所述伸缩杆的伸出端呈半球状，所述滑移块上设有用于供所述伸缩杆插入的插槽。
[0018]通过采用上述技术方案，在搅拌轴转速较快时，伸缩杆对滑移块具有一定的限位作用，避免了滑移块在滑移槽内发生滑移，提高了安装架与搅拌轴连接的稳固性。
[0019]在一个具体的可实施方案中，所述净化罐的内罐壁上转动连接有转动环，所述转动环上设置有安装槽，所述圆环上设有安装块，所述安装块插入所述安装槽内，且所述圆环的环外壁与所述转动环的环内壁贴合。
[0020]通过采用上述技术方案，搅拌轴带动安装架转动，安装架带动转动环在净化罐内转动，提高了安装架转动的稳定性。
[0021]在一个具体的可实施方案中，所述驱动件包括设置在所述净化罐外罐壁上的伺服
电机，所述伺服电机的电机轴上连接有第一皮带轮，所述搅拌轴上连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮通过皮带相连接。
[0022]通过采用上述技术方案，启动伺服电机，伺服电机的电机轴带动第一皮带轮转动，皮带带动第二皮带轮转动，第二皮带轮带动搅拌轴转动，完成搅拌轴的转动调节；利用伺服电机，可调节搅拌轴的转动速度，提高了装置使用的灵活性。
[0023]在一个具体的可实施方案中，所述过滤机构包括过滤罐，所述过滤罐上连通设置有过滤进气管和排液管，所述过滤罐顶端的罐壁上连通设置有排气软管；所述过滤罐的顶壁上设置有支撑架，所述净化罐设置在所述支撑架上，所述净化罐与所述过滤罐之间连通设置有连通管，所述连通管上设置有放液阀，所述净化罐的罐壁上连通设置有净化进气管，所述排气软管通过连接头可拆卸连接在所述净化进气管上。
[0024]通过采用上述技术方案，先利用过滤进气管向过滤罐中加入去离子水，然后再利用过滤进气管向过滤罐中加入粗氨气，对粗氨气进行初步洗气，最后利用排气软管将氨气通入净化罐中进行净化，当净化罐和过滤罐中的去离子水使用一段时间后，打开放液阀，净化罐中的去离子水流入过滤罐中，然后从过滤罐中的排液管排出；利用连接头将排气软管可拆卸连接在净化进气管上，方便拆下排气软管，利用净化进气管向净化罐中加入去离子水。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化工助剂的安全生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：汽化：将液氨进行汽化，得到粗氨气；洗气：将粗氨气通入到洗气装置中进行洗气，得到净氨气；吸收：将净氨气通入到去离子水中，制得超纯氨水。2.根据权利要求1所述的一种化工助剂的安全生产工艺，其特征在于：所述洗气步骤中，利用所述洗气装置对粗氨气一次进行两次洗气。3.根据权利要求2所述的一种化工助剂的安全生产工艺，其特征在于：所述洗气装置包括过滤机构（1）和净化机构（2），所述净化机构（2）连通设置在所述过滤机构（1）上；所述净化机构（2）包括与过滤机构（1）连通设置的净化罐（21）、搅拌件、驱动件（23）和干燥件（24），所述搅拌件设置在所述净化罐（21）内，所述驱动件（23）驱动所述搅拌件在所述净化罐（21）内转动，所述干燥件（24）设置在所述搅拌件上。4.根据权利要求3所述的一种化工助剂的安全生产工艺，其特征在于：所述搅拌件包括转动连接在所述净化罐（21）底壁上的搅拌轴（22），所述搅拌轴（22）与所述驱动件（23）相连接，且所述搅拌轴（22）竖直设置；所述干燥件（24）包括除沫网（241）和安装架（242），所述安装架（242）连接在所述搅拌轴（22）上，所述除沫网（241）安装在所述安装架（242）上。5.根据权利要求4所述的一种化工助剂的安全生产工艺，其特征在于：所述安装架（242）包括水平设置在所述搅拌轴（22）上的矩形框（2421），所述矩形框（2421）上连接有若干连接杆（2422），若干所述连接杆（2422）均向上倾斜设置，若干所述连接杆（2422）上连接有同一个圆环（2423），所述圆环（2423）的环外壁与所述净化罐（21）的内罐壁贴合，所述除沫网（241）与所述圆环（2423）、所述连接杆（2422）和所述矩形框（2421）相连接，所述圆环（2423）、所述连接杆（2422）和所述矩形框（2421）围合成除沫网（241）的安装区域。6.根据权利要求5所述的一种化工助剂的安全生产工艺，其特征在于：所述搅拌轴（22）的顶壁上设置有凸块（221），所述凸块（221）与所述矩形框（2421）插接配合，所述矩形框（2421）通过安装件（6）可拆卸连接在所述搅拌轴（22）上；所述安装件（6）包括转动连接在所述凸块（221）上的螺纹杆（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振兴，曹晨珑，金晓兰，
申请(专利权)人：昆山市年沙助剂有限公司，
类型：发明
国别省市：
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