烘烤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种烘烤装置，用于对基板进行烘烤，烘烤装置包括：加热板、支撑部和检测单元，支撑部和检测单元均设置在加热板上，加热板用于对支撑在支撑部上的基板进行烘烤，检测单元包括至少一个检测传感器，检测传感器包括光电发射器和光电接收器，光电发射器具有光线发射端，光线发射端用于发射检测光线，光电接收器具有光线接收端，光线接收端用于接收光线发射端发出的检测光线；光线发射端的位置和光线接收端的位置均与基板边缘对应，以使检测传感器形成对基板的支撑姿态进行检测的检测光路。本实用新型专利技术能够及时发现烘烤过程中基板的姿态异常，避免了基板没有均匀烘烤就流入后续制程的情况，极大地提高了基板的良品率。极大地提高了基板的良品率。极大地提高了基板的良品率。

【技术实现步骤摘要】
烘烤装置


[0001]本技术涉及显示
，尤其涉及一种烘烤装置。

技术介绍

[0002]在显示基板的生产制程中需要经过多道热烘烤制程，例如在光刻制程中，基板上涂布光阻之后，曝光前需要先经过烘烤装置进行预烘烤处理，这有利于后续的曝光和显影工序的进行。
[0003]现有的烘烤装置包括箱体、以及设置在箱体内的支撑顶针、升降顶针和加热板，支撑顶针设置在加热板的一个表面上，加热板用于对支撑在支撑顶针顶端的基板进行烘烤，升降顶针可以穿设在加热板中，并可以沿加热板的厚度方向升降。在烘烤装置烘烤前，先使升降顶针上升至其顶端超过支撑顶针的高度，机械手可以将涂布有光阻液的基板放置于升降顶针上，由升降顶针的顶端支撑基板。然后使升降顶针带动基板下降，待基板下降至与支撑顶针顶端对应的位置时，基板支撑在各支撑顶针的顶端，此时升降顶端持续下降并没入加热板中，加热板开始对基板进行烘烤。
[0004]然而，在上述烘烤制程中，经常由于部分升降顶针的升降故障，导致基板在倾斜或局部变形的状态下被加热，整个基板无法均匀受热，这样的基板无法及时发现就流入后续的工艺制程中，导致基板的良品率较低。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种烘烤装置，能够及时发现烘烤过程中基板的姿态异常，避免了基板没有均匀烘烤就流入后续制程的情况，极大地提高了基板的良品率。
[0006]为了实现上述目的，本申请提供一种烘烤装置，用于对基板进行烘烤，包括：加热板、支撑部和检测单元，支撑部和检测单元均设置在加热板上，加热板用于对支撑在支撑部上的基板进行烘烤，检测单元包括至少一个检测传感器，检测传感器包括光电发射器和光电接收器，光电发射器具有光线发射端，光线发射端用于发射检测光线，光电接收器具有光线接收端，光线接收端用于接收光线发射端发出的检测光线；光线发射端的位置和光线接收端的位置均与基板边缘对应，以使检测传感器形成对基板的支撑姿态进行检测的检测光路。
[0007]作为一种可选的实施方式，支撑部的顶端用于支撑基板，光线发射端的位置和光线接收端的位置均与支撑部的顶端对应。
[0008]作为一种可选的实施方式，光电发射器的光线发射端与光线接收端的光线接收端相对设置，且光电发射器发射的检测光线的光轴与加热板的上表面平行。
[0009]作为一种可选的实施方式，检测传感器的数量为多个，同一个检测传感器中的光电发射器和光电接收器构成的检测光路经过基板的中心。
[0010]作为一种可选的实施方式，检测传感器为激光检测传感器，例如为漫反射激光开关。
[0011]作为一种可选的实施方式，光电发射器和/或光电接收器的外侧还围设有用于隔热的壳体，壳体的壳壁上设有开口，开口用于让所述检测传感器的检测光路通过。
[0012]作为一种可选的实施方式，各壳体还对应设置有驱动件和遮光件，驱动件连接在壳体上，驱动件用于驱动遮光件朝向或背离开口移动，以遮蔽或打开开口。
[0013]作为一种可选的实施方式，检测单元还包括冷却架，冷却架和壳体一一对应设置，冷却架一端固定在壳体的隔热腔的内腔壁上，另一端与检测传感器连接，以使检测传感器悬臂支撑于隔热腔内。
[0014]作为一种可选的实施方式，烘烤装置还包括转动单元，壳体通过转动单元连接在加热板上，转动单元用于带动壳体绕竖直方向摆动，以使光电发射器发出的检测光线覆盖基板的整个表面。
[0015]作为一种可选的实施方式，烘烤装置还包括控制器和报警单元，报警单元和检测传感器均与控制器电连接，控制器用于在检测传感器检测到基板的支撑姿态出现异常时，控制所述报警单元发出报警。
[0016]本申请的烘烤装置，用于对基板进行烘烤，烘烤装置包括：加热板、支撑部和检测单元，支撑部和检测单元均设置在加热板上，加热板用于对支撑在支撑部上的基板进行烘烤，检测单元包括至少一个检测传感器，检测传感器包括光电发射器和光电接收器，光电发射器具有光线发射端，光线发射端用于发射检测光线，光电接收器具有光线接收端，光线接收端用于接收光线发射端发出的检测光线；光线发射端的位置和光线接收端的位置均与基板边缘对应，以使检测传感器形成对基板的支撑姿态进行检测的检测光路。通过设置检测传感器，并且检测传感器中光线发射端的位置和光线接收端的位置均与基板边缘对应，使检测传感器形成对基板的支撑姿态进行检测的检测光路，这样检测传感器能够对基板的支撑姿态进行监测，在基板发生倾斜或者局部支撑不良时，能够及时发现，避免基板在未均匀烘烤的情况下流入后续的制程中。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术实施例提供的烘烤装置的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例提供的烘烤装置的俯视图；
[0020]图3为本技术实施例提供的烘烤装置中检测单元的检测原理示意图；
[0021]图4为本技术实施例提供的烘烤装置中检测单元的检测原理示意图；
[0022]图5为本技术实施例提供的烘烤装置中检测单元的结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]100
‑
烘烤装置；
[0025]101
‑
基板；
[0026]102
‑
烘烤腔室；
[0027]1‑
加热板；
[0028]12
‑
加热表面；
[0029]2‑
支撑部；
[0030]20
‑
支撑顶针；
[0031]21
‑
升降顶针；
[0032]22
‑
通孔；
[0033]3‑
检测单元；
[0034]31
‑
检测传感器；
[0035]32
‑
光电发射器；
[0036]321
‑
光线发射端；
[0037]33
‑
光电接收器；
[0038]331
‑
光线接收端；
[0039]34
‑
驱动件；
[0040]35
‑
遮光件；
[0041]37
‑
冷却架；
[0042]38
‑
机械手；
[0043]4‑
壳体；
[0044]41
‑
开口。
具体实施方式
[0045]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部实施例。基于本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘烤装置，用于对基板进行烘烤，其特征在于，包括：加热板、支撑部和检测单元，所述支撑部和所述检测单元均设置在所述加热板上，所述加热板用于对支撑在所述支撑部上的基板进行烘烤，所述检测单元包括至少一个检测传感器，所述检测传感器包括光电发射器和光电接收器，所述光电发射器具有光线发射端，所述光线发射端用于发射检测光线，所述光电接收器具有光线接收端，所述光线接收端用于接收所述光线发射端发出的检测光线；所述光线发射端的位置和所述光线接收端的位置均与所述基板边缘对应，以使所述检测传感器形成对所述基板的支撑姿态进行检测的检测光路。2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述支撑部的顶端用于支撑所述基板，所述光线发射端的位置和所述光线接收端的位置均与所述支撑部的顶端对应。3.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述光电发射器的光线发射端与所述光线接收端的光线接收端相对设置，且所述光电发射器发射的检测光线的光轴与所述加热板的上表面平行。4.根据权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述检测传感器的数量为多个，同一个所述检测传感器中的光电发射器和光电接收器构成的检测光路经过所述基板的中心。5.根据权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述检测传感器为激光检测传感器。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵博，蒋雷，黄学勇，慕绍帅，谢超，段乐乐，敬启毓，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：