【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
受激准分子激光器的谱线紧缩模块，包括：扩束器，位于受激准分子激光发生器的第一侧，所述扩束器被构造为使从所述发生器产生并入射的激光穿过，并将所述激光准直在一个方向上；衍射光栅，位于所述发生器的第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对 并与所述第二侧分隔开，所述衍射光栅被构造为衍射从所述扩束器接收的准直的激光，使得根据与所述激光相关联的对应的波长来分开所述激光的行进方向；多波长反射器，位于所述衍射光栅和所述扩束器之间的反射位置，所述多波长反射器被构造成将所述衍射光 栅分开的多波长激光通过所述扩束器反射回所述发生器。
【技术特征摘要】
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