一种改进型陶瓷电容压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种改进型陶瓷电容压力传感器，包括一侧面具有凹腔的陶瓷基体，所述陶瓷基体一侧面粘结有覆盖于凹腔的弹性膜片，所述的凹腔内底面设有基板电极，弹性膜片内侧面设有与基板电极对应的膜片电极，所述的弹性膜片外侧面设有一对中心对称的感应电感。本实用新型专利技术采用在弹性膜片外表面贴装一对由金属片制作的感应电感，利用感应电感产生的寄生电感，可以有效地抵消掉传感器元件的寄生电容和不均匀的电场部分，提高了传感器的测试精度，从而可大幅度提升传感器的使用灵敏度。从而可大幅度提升传感器的使用灵敏度。从而可大幅度提升传感器的使用灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种改进型陶瓷电容压力传感器


[0001]本技术涉及传感器
，尤其是一种应用于车辆发动机机油压力测试的改进型陶瓷电容压力传感器。

技术介绍

[0002]传感器作为汽车电子控制系统的信息源，是汽车电子控制系统的关键部件。能否准确的测量和控制车上的各种信息，是衡量现代高级轿车控制水平的重要因素。其中的陶瓷电容技术具有成本适中、耐腐蚀性好、介质兼容性强等优势，采用陶瓷电容作为压敏元件的压力传感器被广泛应用在水、气、液多种介质的压力检测中，尤其适用于汽车恶劣的工况环境。
[0003]机油压力传感器安装在发动机的主油道上，当发动机运行时，由压力测量装置检测机油的压力，将压力信号转变为电信号送至信号处理电路，经过电压放大和电流放大，通过信号线将放大后的压力信号连接至油压指示表，改变油压指示表内部两个线圈所通过的电流之比，从而指示出发动机的机油压力。现今汽车电子技术发展迅速，对传感器的监测要求也越来越高，特别是国六阶段，ECU需要更精确的绝对压力信号来准确控制喷油时间，从而改善排放。目前市场上大部分的机油压力传感器在全温区精度为2％，无法满足国六阶段全温区压力误差低于1％的要求。现有陶瓷电容压力传感器精度不达标的根本原因仍然是电容式传感器受到边缘效应影响的问题，因此，改善陶瓷电容压力传感器边缘效应，开发一种更高精度的陶瓷压力传感器具有非常重要的现实意义。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术中之不足，本技术提供一种改进型陶瓷电容压力传感器，以改善传感器的边缘效应，提升传感系统的灵敏度。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种改进型陶瓷电容压力传感器，包括一侧面具有凹腔的陶瓷基体，所述陶瓷基体一侧面粘结有覆盖于凹腔的弹性膜片，所述的凹腔内底面设有基板电极，弹性膜片内侧面设有与基板电极对应的膜片电极，所述的弹性膜片外侧面设有一对中心对称的感应电感。
[0006]优选地，所述的感应电感呈月牙形且相对于弹性膜片中心对称设置。
[0007]进一步地，所述的弹性膜片与陶瓷基体侧面之间通过玻璃粘结剂粘结。
[0008]本技术的有益效果是：本技术采用在弹性膜片外表面贴装一对由金属片制作的感应电感，利用感应电感产生的寄生电感，可以有效地抵消掉传感器元件的寄生电容和不均匀的电场部分，提高了传感器的测试精度，从而可大幅度提升传感器的使用灵敏度。
附图说明
[0009]下面结合附图和实施方式对本技术进一步说明。
[0010]图1是本技术的结构示意图。
[0011]图2是图1的仰视结构示意图。
[0012]图中：1.陶瓷基体，2.凹腔，3.弹性膜片，4.基板电极，5.膜片电极6.感应电感。
具体实施方式
[0013]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0014]如图1、图2所示的一种改进型陶瓷电容压力传感器，包括一侧面具有凹腔2的陶瓷基体1，所述陶瓷基体1一侧面通过玻璃粘结剂粘结有覆盖于凹腔2的弹性膜片3，所述的凹腔2内底面设有基板电极4，弹性膜片3内侧面设有与基板电极4对应的膜片电极5，所述的弹性膜片3外侧面设有一对感应电感6，所述的感应电感6为月牙形状的金属片，且相对于弹性膜片3中心对称设置。
[0015]陶瓷电容压力传感器属于平行板电容器，其电场均匀分布于基板电极4与膜片电极5两级板所围成的空间内，但这种理想化情况仅是电容量计算简化后的一种假定。实际电场边缘部分并不均匀，容易受到边缘效应的影响，实际传感器灵敏度低于理论情况。
[0016]在理想情况下，传统的平行板电容器的电场是均匀分布的，但实际使用时，平行板电容器的电场只是在平行板中间部分的分布是均匀的，而在电容器的边缘，电场的电力线是弯曲且发散的，这种在电容器边缘存在发散电场的现象称为电容器的边缘效应，L称为边缘散射电场线宽度，一般L越大，表示边缘效应越明显。由于电容器边缘效应的存在，导致平行板存在一个边缘附加电容，即平行板的实际电容值大于理论计算出的电容值，边缘效应成了电容传感器使用的主要制约因素。
[0017]为了克服上述边缘效应，本技术采用在弹性膜片3外表面贴装一对由金属片制作的感应电感6，利用感应电感6产生的寄生电感，可以有效地抵消掉传感器元件的寄生电容和不均匀的电场部分，大幅度提升灵敏度。
[0018]经过对上述结构的传感器进行测试对比，其边缘寄生电容的大小得到了明显改善，在加入感应电感6后边缘效应大大减小，有效地提高了传感器的测试精度，平均压力偏差由1％减少至2.5
‰
，单个传感器压力偏差超过1％的概率小于60PPM，达到设计要求。
[0019]以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改进型陶瓷电容压力传感器，包括一侧面具有凹腔的陶瓷基体，所述陶瓷基体一侧面粘结有覆盖于凹腔的弹性膜片，其特征是：所述的凹腔内底面设有基板电极，弹性膜片内侧面设有与基板电极对应的膜片电极，所述的弹性膜片外侧面设有一对中心对称的感应电...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐玥，鲍恩雨，
申请(专利权)人：华丰智能科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：