流量控制阀和流量控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流量控制阀，可提高差压式的流量控制装置中的流量控制的响应性，所述流量控制阀包括具有相互接触的座面(21，31)的一对阀构件(20，30)，在该阀构件(20，30)的至少任一者中设置有插通其内部而朝向所述座面(21，31)开口的内部流路(L)，并且构成为通过调节所述座面(21，31)的分离距离，来控制通过所述内部流路(L)而向外部流出的流体的流量，其中在所述内部流路(L)内形成有节流流路(R)，构成为在该节流流路(R)的上游侧及下游侧产生压差。在该节流流路(R)的上游侧及下游侧产生压差。在该节流流路(R)的上游侧及下游侧产生压差。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量控制阀和流量控制装置


[0001]本专利技术涉及流量控制阀和流量控制装置。

技术介绍

[0002]作为现有的流量控制装置，例如在专利文献1中有如下的差压式装置，其构成为，在供自流量控制阀向外部流出的流体流动的外部流路的中途形成有节流流路，基于该节流流路的上游侧及下游侧之间的压力差来测定自该流量控制阀流出的流体的流量。
[0003]但是，在所述差压式的流量控制装置中，由于在外部流路的中途形成有节流流路，因此由流量控制阀进行了流量控制的流体到达节流流路为止的流路长度变长，其流路容积(死体积(dead volume))变大。由此，在以使流量变小的方式对阀开度进行了控制的情况下，死体积内的压力自与变更前的阀开度对应的压力变化为与变更后的阀开度对应的压力需要时间，这成为使流量控制的响应性下降的主要原因。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献1：日本专利特开2016
‑
57319号

技术实现思路

[0006]因此，本专利技术的主要课题在于获得一种可提高差压式的流量控制装置中的流量控制的响应性的流量控制阀。
[0007]即，本专利技术的流量控制阀包括具有相互接触的座面的一对阀构件，在所述阀构件的至少任一者中设置有插通其内部而朝向所述座面开口的内部流路，并且构成为通过调节所述座面的分离距离，来控制通过所述内部流路而向外部流出的流体的流量，所述流量控制阀的特征在于，在所述内部流路内形成有节流流路，构成为在所述节流流路的上游侧及下游侧产生压差。
[0008]根据此种构成，由于在设置于阀构件的内部流路中形成了节流流路，所以与具有现有结构的相比，自节流流路至形成有该节流流路的阀构件的座面为止的流路容积(死体积)变小。由此，在变更了阀开度的情况下，死体积内的压力在短时间内自与变更前的阀开度对应的压力变化为与变更后的阀开度对应的压力。结果，在将该流量控制阀用于差压式的流量控制装置的情况下，在变更阀开度之后，与所述现有结构相比，可在短时间内测定与该变更后的阀开度对应的流量，流量控制的响应性提高。
[0009]另外，亦可为：自所述内部流路的座面侧的开口起形成有所述节流流路。
[0010]根据此种构成，可将死体积的容量抑制为最小限度。由此，在将该流量控制阀用于差压式的流量控制装置的情况下，在变更阀开度之后，可在更短时间内测定与该变更后的阀开度对应的流量，流量控制的响应性进一步提高。
[0011]另外，亦可为：所述内部流路流出由所述一对阀构件控制流量后的流体。
[0012]根据此种构成，在以使流量变小的方式变更了阀开度的情况下，死体积内的压力在短时间内自与变更前的阀开度对应的压力变化为与变更后的阀开度对应的压力。
[0013]进而，亦可为：所述节流流路形成于作为与设置有所述内部流路的阀构件不同的构件的插入至所述内部流路的嵌插构件。
[0014]根据此种构成，无需变更现有的流量控制阀的结构，仅通过将嵌插构件插入至内部流路便可形成节流流路，因此可削减制造成本。
[0015]另外，亦可为：所述嵌插构件由陶瓷形成。
[0016]根据此种构成，例如当在嵌插构件中形成节流流路时，可利用陶瓷的煅烧步骤来简单地形成该节流流路。具体而言，使通过煅烧而熔解的棒体贯通煅烧前的成形体。之后，当煅烧该成形体时，棒体熔解，在煅烧后的成形体(嵌插构件)中形成节流流路。由此，不依靠于机械加工便可在嵌插构件中简单地形成节流流路。
[0017]另外，亦可为：所述节流流路形成于与设置有所述内部流路的阀构件相同的构件。
[0018]根据此种构成，由于在阀构件中直接形成节流流路，因此与在跟阀构件不同的构件中形成节流流路的情况相比，可省略另外形成嵌插构件的步骤、或将该嵌插构件插入至内部流路的步骤等，可简化制造步骤。
[0019]另外，本专利技术的流量控制装置的特征在于，包括：所述流量控制阀；流量计算部，基于所述节流流路的上游侧及下游侧的各压力，计算自所述流量控制阀流出的流体的流量；以及阀开度控制部，基于由所述流量计算部计算出的流量，以使自所述流量控制阀流出的流体的流量接近预先设定的设定流量的方式控制所述流量控制阀的阀开度。
[0020]根据此种构成，由于在设置于阀构件的内部流路中形成了节流流路，所以与在外部流路内设置有限流器(Restrictor)的现有的流量控制装置相比，死体积变小。由此，死体积内的压力在短时间内自与变更前的阀开度对应的压力变化为与变更后的阀开度对应的压力。结果，与现有的流量控制装置相比，可在短时间内测定与变更后的阀开度对应的流量，流量控制的响应性提高。
[0021]另外，在所述流量控制装置中，亦可在所述流量控制阀的上游侧还包括第二流量控制阀。
[0022]根据此种构成，由于在流量控制阀的一次侧设置有第二流量控制阀，所以可通过第二流量控制阀来降低流量控制阀的一次侧的压力。由此，在流量控制阀的上游侧与下游侧之间产生的压力差变小，通过流量控制阀，低流量的流体变得容易控制。
[0023]根据本专利技术的流量控制阀，由于在设置于阀构件的内部流路中形成了节流流路，所以与在外部流路内设置有限流器的现有结构相比，死体积变小。由此，在变更了阀开度的情况下，死体积内的压力在短时间内自与变更前的阀开度对应的压力变化为与变更后的阀开度对应的压力。结果，在将该流量控制阀用于差压式的流量控制装置的情况下，在变更阀开度之后，与所述现有的结构相比，可在短时间内测定与该变更后的阀开度对应的流量，流量控制的响应性提高。
附图说明
[0024]图1是表示第一实施方式的流量控制装置的整体示意图。
[0025]图2是表示第一实施方式的流量控制阀的局部放大剖面图。
[0026]图3是表示第一实施方式的流量控制阀的阀座构件的平面图。
[0027]图4是表示第一实施方式的流量控制阀的阀座构件的底面图。
[0028]图5是表示第一实施方式的流量控制阀的阀座构件的A
‑
A剖面图。
[0029]图6是表示第一实施方式的流量控制阀的阀座构件的B
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B剖面图。
[0030]图7是示意性表示第一实施方式的嵌插构件的图。
[0031]图8是表示其他实施方式的流量控制装置的整体示意图。
[0032]图9是表示其他实施方式的流量控制阀的示意图。
[0033]图10是表示其他实施方式的流量控制阀的示意图。
[0034]附图标记说明
[0035]MFC 流量控制装置
[0036]B
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主体块体
[0037]11
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外部流入路
[0038]12
ꢀꢀ
外部流出路
[0039]V
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流量控制阀
[0040]20
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阀座构件(阀构件)
[0041]21
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阀座面(座面)
[0042]L<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种流量控制阀，包括具有相互接触的座面的一对阀构件，在所述阀构件的至少任一者中设置有插通其内部而朝向所述座面开口的内部流路，并且构成为通过调节所述座面的分离距离，来控制通过所述内部流路而向外部流出的流体的流量，所述流量控制阀的特征在于，在所述内部流路内形成有节流流路，构成为在所述节流流路的上游侧及下游侧产生压差。2.根据权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于，自所述内部流路的座面侧的开口起形成有所述节流流路。3.根据权利要求1或2所述的流量控制阀，其特征在于，所述内部流路流出由所述一对阀构件控制流量后的流体。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流量控制阀，其特征在于，所述节流流路形成于作为与设置有所述内部流路的阀构件不同的构件的插入至...

【专利技术属性】
技术研发人员：安德鲁，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：