本申请提供了一种光学部件。该光学部件包括:第一光学模块,具有第一出光侧表面,所述第一出光侧表面设置有分光膜层;以及第二光学模块,具有第二入光侧表面,所述第二入光侧表面与所述分光膜层通过胶材粘结,其中,所述分光膜层被配置为使得经由所述第一光学模块入射的光线的第一部分被反射,而允许所述光线的第二部分从中透射通过。本申请提供的光学部件至少可保证拆分后的至少两束光线的能量近似相同。同。同。
【技术实现步骤摘要】
光学部件
[0001]本申请涉及光学
,更具体地,涉及一种光学部件。
技术介绍
[0002]在光学检测、光学探测、光学切割以及成像对比设备中,通常需要建立一个基准,然后在此基准下通过对比被测光学部件的透光性及反光性来评判被测光学部件的光学性能。由于基准系统与检测系统中的光源必须相同,而实现两束光源相同的常用方法是将同一束光分离成两束光,一束作为基准系统的入射光线,另一束作为检测系统入射光线。为了使同一束光分离出的两束光尽可能相同,必须使用消偏振的光学部件,以保证光线在分成两束后不同偏振态的光(如S光与P光)的能量相差保持在7%以内。
[0003]目前,常规的分光部件主要存在两个问题:第一,很难将光线拆分为等能量的两束光;第二,即使将光线等能量拆分为两束光后,会造成光线的两种偏振态的分离,即S光与P光的分离,且两者的能量差一般在20%以上。这两种问题的产生将会导致光学设备的检测、探测以及成像等功能失真。
技术实现思路
[0004]本申请提出的实施方式可解决或部分解决上述
技术介绍
部分提出的不足或现有技术中的其它不足。
[0005]本申请一方面提供了这样一种光学部件。所述光学部件包括:第一光学模块,具有第一出光侧表面,所述第一出光侧表面设置有分光膜层;以及第二光学模块,具有第二入光侧表面,所述第二入光侧表面与所述分光膜层通过胶材粘结,其中,所述分光膜层被配置为使得经由所述第一光学模块入射的光线的第一部分被反射,而允许所述光线的第二部分从中透射通过。
[0006]在一个实施方式中,所述光线的第一部分和所述第二部分的能量相等。
[0007]在一个实施方式中,所述光线的第一部分的S偏振光与P偏振光的能量差小于7%;以及所述光线的第二部分的S偏振光与P偏振光的能量差小于7%。
[0008]在一个实施方式中,所述第一光学模块具有第一入光侧表面,以及所述第二光学模块具有第二出光侧表面,其中所述第一入光侧表面和所述第二出光侧表面设置有补偿膜层,以补偿所述光线的能量。
[0009]在一个实施方式中,所述第一入光侧表面至少包括第一侧面和第二侧面,光线经所述第一侧面入射至所述分光膜层,其中,所述光线的第一部分从所述第二侧面射出;以及所述光线的第二部分,经所述第二入光侧表面后从所述第二出光侧表面射出。
[0010]在一个实施方式中,所述分光膜层至少包括三层分光膜层的配置。
[0011]在一个实施方式中,,所述分光膜层包括第一分光膜层和第二分光膜层和第三分光膜层,所述第一分光膜层和所述和第二分光膜层的折射率大于2.0。
[0012]在一个实施方式中,所述第一分光膜层的材质至少包括氧化钛、氧化铌、氧化钽、
氧化镧、氧化锆以及氧化铪中的至少一种。
[0013]在一个实施方式中,所述第二分光膜层的材质至少包括氧化硅、氟化镁、氧化铝以及氧化镁中的至少一种。
[0014]在一个实施方式中,所述第三分光膜层的材质至少包括金属铜、镉、镍、铬、银以及金中的至少一种。
[0015]在一个实施方式中,所述胶材的折射率为1.0~2.0,以及所述胶材的厚度小于0.1mm。
[0016]在一个实施方式中,所述第一光学模块和所述第二光学模块包括白板玻璃、青板玻璃以及有色玻璃中的至少一种。
[0017]在一个实施方式中,所述第一光学模块和所述第二光学模块的材质相同。
[0018]在一个实施方式中,所述光线的波长为400nm~2000nm。
[0019]在一个实施方式中,所述补偿膜层至少包括两层补偿膜层的配置。
[0020]在一个实施方式中,所述补偿膜层包括第一补偿膜层和第二补偿膜层,所述第一补偿膜层的材质至少包括金属、半导体、氧化物以及氢化物中的至少一种。
[0021]在一个实施方式中,所述第二补偿膜层的材质至少包括氧化硅、氟化镁以及冰晶石中的至少一种。
[0022]在一个实施方式中,所述氧化物至少包括氧化钛、氧化铌、氧化钽以及氧化镧中的至少一种;以及所述氢化物至少包括氢化硅。
[0023]在一个实施方式中,所述分光膜层和所述补偿膜层的透过率大于90%。
[0024]根据本申请提供的光学部件可至少具有以下其中之一的优点:
[0025]1)本申请提供的光学部件可以将400~2000nm波长的光线拆分为至少两束,同时可保证拆分后的至少两束光线的能量近似相同;
[0026]2)本申请提供的光学部件可保证拆分后的每束光的S偏振光与P偏振光的能量差小于7%;以及
[0027]3)本申请提供的光学部件通过设置补偿膜层,可减小光线经过本申请提供的光学部件后能量强度的衰减。
附图说明
[0028]结合附图,通过以下非限制性实施方式的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将变得更加明显。在附图中:
[0029]图1是根据本申请示例性实施方式的光学部件的结构示意图;
[0030]图2a和图2b分别是根据本申请示例性实施方式的第一光学模块和第二光学模块的结构示意图;
[0031]图3是根据本申请示例性实施方式的光学部件的光路图;
[0032]图4是根据本申请示例性实施方式的分光光线的光谱特性图;以及
[0033]图5是根据本申请示例性实施方式的制造光学部件的方法的流程图。
具体实施方式
[0034]为了更好地理解本申请,将参考附图对本申请的各个方面做出更详细的说明。应
理解,这些详细说明只是对本申请的示例性实施方式的描述,而非以任何方式限制本申请的范围。在说明书全文中,相同的附图标号指代相同的元件。表述“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。
[0035]应注意,在本说明书中,第一、第二、第三等的表述仅用于将一个特征与另一个特征区分开来,而不表示对特征的任何限制,尤其不表示任何的先后顺序。因此,在不背离本申请的教导的情况下,本申请中讨论的第一光学模块也可被称作第二光学模块,第一侧面也可被称作第二侧面等,反之亦然。
[0036]在附图中,为了便于说明,已稍微调整了部件的厚度、尺寸和形状。附图仅为示例而并非严格按比例绘制。如在本文中使用的,用语“大致”、“大约”以及类似的用语用作表近似的用语,而不用作表程度的用语,并且旨在说明将由本领域普通技术人员认识到的、测量值或计算值中的固有偏差。
[0037]还应理解的是,诸如“包括”、“包括有”、“具有”、“包含”和/或“包含有”等表述在本说明书中是开放性而非封闭性的表述,其表示存在所陈述的特征、元件和/或部件,但不排除一个或多个其它特征、元件、部件和/或它们的组合的存在。此外,当诸如“...中的至少一个”的表述出现在所列特征的列表之后时,其修饰整列特征,而非仅仅修饰列表中的单独元件。此外,当描述本申请的实施方式时,使用“可”表示“本申请的一个或多个实施方式”。并且,用语“示例性的”旨在指代示例或举例说明。
[0038]除非另外限定,否则本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学部件,其特征在于,包括:第一光学模块,具有第一出光侧表面并在所述第一出光侧表面设置有分光膜层;以及第二光学模块,具有第二入光侧表面,所述第二入光侧表面与所述分光膜层通过胶材粘结,其中,所述分光膜层被配置为使得经由所述第一光学模块入射的光线的第一部分被反射,而允许所述光线的第二部分从中透射通过。2.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述光线的第一部分和所述第二部分的能量相等。3.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述光线的第一部分的S偏振光与P偏振光的能量差小于7%;以及所述光线的第二部分的S偏振光与P偏振光的能量差小于7%。4.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述第一光学模块具有第一入光侧表面,以及所述第二光学模块具有第二出光侧表面,其中所述第一入光侧表面和所述第二出光侧表面设置有补偿膜层,以补偿所述光线的能量。5.根据权利要求4所述的光学部件,其特征在于,所述第一入光侧表面至少包括第一侧面和第二侧面,光线经所述第一侧面入射至所述分光膜层,其中,所述光线的第一部分从所述第二侧面射出;以及所述光线的第二部分,经所述第二入光侧表面后从所述第二出光侧表面射出。6.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述分光膜层至少包括三层分光膜层的配置。7.根据权利要求6所述的光学部件,其特征在于,所述分光膜层包括第一分光膜层、第二分光膜层和第三分光膜层,所述第一分光膜层和所述第二分光膜层的折射率大于2.0。8.根据权利要求7所述的光学部件,其特征在于,所述第一分光膜层的材质包括氧...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺倩倩,方叶庆,马科,郭景朝,霍恒,彭流洋,
申请(专利权)人:信阳舜宇光学有限公司,
类型:新型
国别省市:
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