一种非接触式吸盘夹具制造技术

本发明专利技术涉及一种非接触式吸盘夹具，包括第一夹吸机构，第一夹吸机构包括夹紧组件和非接触式吸盘；夹紧组件包括安装板、第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件和用于驱动第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件相对运动的驱动部件，所述驱动部件安装在所述安装板上，所述驱动部件连接所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件；所述非接触式吸盘固定在所述安装板下，位于第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件之间。本发明专利技术提供的机械式非接触式双工位夹具，代替人工作业，有效解决了工人被烫伤的问题；避免接触晶圆正面的同时，也避免了由于吸盘与晶圆没有直接接触，造成的没有足够的摩擦力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式吸盘夹具


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆生产
，特别是一种非接触式吸盘夹具。

技术介绍

[0002]半导体晶圆行业内，由于生产工艺需求，往往需要在晶圆的某一面进行化学蒸镀或者物理沉积，导致该面往往要求不可接触；人员取放产品时，往往需要小心的翘起产品，从背面吸取产品进行产品搬运。使用非接触式吸盘进行吸取晶圆时，由于吸盘与晶圆没有接触，所以没有足够的摩擦力来固定住晶圆，容易出现晶圆跌落损坏的情况。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本专利技术的目的是提供一种非接触式吸盘夹具，通过夹具限位，防止晶圆搬运过程中掉落。
[0004]本专利技术实施例中采用以下方案实现：提供一种非接触式吸盘夹具，包括第一夹吸机构，所述第一夹吸机构包括夹紧组件和所述非接触式吸盘；所述夹紧组件包括安装板、第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件和用于驱动第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件相对运动的驱动部件，所述驱动部件安装在所述安装板上，所述驱动部件连接所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件；所述非接触式吸盘固定在所述安装板下，位于第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件之间。
[0005]本专利技术一实施例中，所述驱动部件包括第一导轨、第二导轨、第一移动块和第二移动块；所述安装板上前部安装第一导轨，所述安装板上后部安装第二导轨，所述安装板上的两端均安装一个同步带轮，其中一个同步带轮由电机驱动，两个同步带轮之间安装同步带；所述第一导轨上安装所述第一移动块，所述第二导轨上安装所述第二移动块，所述第一移动块、所述第二移动块分别与所述同步带相连接；所述第一移动块的下端安装所述第一非刚性夹紧件，所述第二移动块的下端安装所述第二非刚性夹紧件。
[0006]本专利技术一实施例中，所述第二非刚性夹紧件包括连接块、导向轴和夹块，所述连接块内开设有与所述第一导轨平行的通孔，所述导向轴上穿设有复位弹簧；所述导向轴穿入所述通孔中，所述导向轴与所述通孔通过所述复位弹簧连接；所述导向轴远离所述非接触式吸盘的一端连接中间块，所述中间块连接所述夹块；所述第二非刚性夹紧件与所述第一非刚性夹紧件结构相同，安装方向镜像对称。
[0007]本专利技术一实施例中，所述第一夹吸机构安装在连接座的第一端；所述连接座的第二端安装第二夹吸机构；所述第二夹吸机构与所述第一夹吸机构的结构相同。
[0008]本专利技术一实施例中，所述第一夹吸机构与所述连接座通过第一升降机构连接，所述第一升降机构包括固定板和升降气缸，所述固定板固定在所述连接座的左端，所述固定板的顶部安装所述升降气缸，所述固定板的左侧面安装有升降板，所述升降气缸的伸缩杆与所述升降板连接；所述第一夹吸机构与所述升降板连接；所述第二夹吸机构与所述连接座通过第二升降机构连接，所述第二升降机构的结构与所述第一升降机构结构左右对称。
[0009]本专利技术一实施例中，所述固定板的左侧面安装有两根竖直的第三导轨，所述升降板与对应的第三导轨均通过滑块连接。
[0010]本专利技术一实施例中，所述固定板的前部和后部均安装有导向块，两块所述导向块上均开设有导向孔，所述升降板的前侧和后侧设置有导向柱，所述导向柱穿入对应的所述导向孔中。
[0011]本专利技术的有益效果：本专利技术提供一种非接触式吸盘夹具，相比现有人工取放半导体晶圆，本专利技术提供的非接触式吸盘夹具可以安装在多种多轴位移机构上，用于搬运不可接触正面的半导体晶圆，代替人工作业，有效避免工人烫伤问题的发生；同时拥有两个夹吸机构，可以实现同时夹取两片半导体晶圆大提高了生产效率；避免接触晶圆正面的同时，对称设置的两个非刚性夹紧件夹住半导体晶圆的侧面，避免由于吸盘与晶圆没有直接接触，造成的没有足够的摩擦力固定晶圆，进而导致晶圆掉落损坏的问题。
附图说明
[0012]图1是一种非接触式吸盘夹具的结构示意图。
[0013]图2是图1中在A处的局部放大示意图。
[0014]图3是一种非接触式吸盘夹具的前视图。
[0015]图4是一种非接触式吸盘夹具的仰视图。
[0016]图5是图4的B
‑
B向剖面示意图。
[0017]图6是图5中C处的局部放大示意图。
[0018]附图标记
[0019]1‑
连接座，2
‑
第一升降机构，21
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固定板，22
‑
升降气缸，23
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升降板，24
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第三导轨，25
‑
导向块，26
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导向柱；3
‑
第一夹吸机构，31
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非接触式吸盘，32
‑
夹紧组件；321
‑
安装板，322
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驱动部件，3222
‑
第一导轨，3223
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同步带轮，3224
‑
电机，3225
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第一移动块，3226
‑
同步带，3227
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位移传感器，3228
‑
第二移动块；323
‑
第一非刚性夹紧件，324
‑
第二非刚性夹紧件，3241
‑
通孔，3242
‑
复位弹簧，3243
‑
中间块，3244
‑
导向轴，3245
‑
连接块，3246
‑
夹块；4
‑
第二升降机构，5
‑
第二夹吸机构。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本专利技术做进一步说明。
[0021]请参阅图1至图6，本专利技术提供一种非接触式吸盘夹具，包括第一夹吸机构3，所述第一夹吸机构包括夹紧组件32和所述非接触式吸盘31；所述夹紧组件32包括安装板321、第一非刚性夹紧件323、第二非刚性夹紧件324和用于驱动第一非刚性夹紧件323、第二非刚性夹紧件324相对运动的驱动部件322，所述驱动部件322安装在所述安装板321上，所述驱动部件3221连接所述第一非刚性夹紧件323、所述第二非刚性夹紧件324；所述非接触式吸盘31固定在所述安装板321下，位于第一非刚性夹紧件323、第二非刚性夹紧件324之间；驱动部件322驱动第一非刚性夹紧件323、第二非刚性夹紧件324相互靠近或者相互远离，从而实现对非接触式吸盘31半导体晶圆的夹紧和松放，第一非刚性夹紧件323、第二非刚性夹紧件324只会接触到晶圆的侧面，夹紧晶圆避免吸取的晶圆摔落，并且不会接触晶圆的正面避免了晶圆正面的损坏，同时第一非刚性夹紧件323、第二非刚性夹紧件324由于不是刚性部件，
所以夹紧晶圆时接触到晶圆侧面时有一定的弹性余量自动调整夹紧力，避免夹的太紧造成晶圆变形。
[0022]请参阅图1至图6，本专利技术一实施例中，所述驱动部件322包括第一导轨3222、第二导轨(未标注，其在本专利技术的作用与第一导轨相同)、第一移动块3225和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：包括第一夹吸机构，所述第一夹吸机构包括夹紧组件和非接触式吸盘；所述夹紧组件包括安装板、第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件和用于驱动第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件相对运动的驱动部件，所述驱动部件安装在所述安装板上，所述驱动部件连接所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件；所述非接触式吸盘固定在所述安装板下，位于所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件之间。2.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述驱动部件包括第一导轨、第二导轨、第一移动块和第二移动块；所述安装板上前部安装第一导轨，所述安装板上后部安装第二导轨，所述安装板上的两端均安装一个同步带轮，其中一个同步带轮由电机驱动，两个同步带轮之间安装同步带；所述第一导轨上安装所述第一移动块，所述第二导轨上安装所述第二移动块，所述第一移动块、所述第二移动块分别与所述同步带相连接；所述第一移动块的下端安装所述第一非刚性夹紧件，所述第二移动块的下端安装所述第二非刚性夹紧件。3.根据权利要求2所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述第二非刚性夹紧件包括连接块、导向轴和夹块，所述连接块内开设有与所述第一导轨平行的通孔，所述导向轴上穿设有复位弹簧；所述导向轴穿入所述通孔中，所述导向轴与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泽斌，王世锐，林志阳，
申请(专利权)人：厦门特仪科技有限公司，
类型：发明
国别省市：