本发明专利技术公开了一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，属于真空设备技术领域，包括运输组件模块、导轨模块、偏压上电模块、动力传输模块、腔体支撑模块。本发明专利技术通过偏压上电模块和运输组件模块的设置，可以实现溅射过程中，PCB板移动时能持续稳定加持工作电压，保证孔膜层的均匀性和深度，且传动装置与真空腔室良好绝缘无短路现象；通过运输组件模块的设置，还可以适应不同厚度的PCB板，且方便拆卸更换；传动装置为立式布置，腔室其他地方的被镀物不会掉落到PCB板上，降低清理的成本，且立式布置方便实现PCB板双面镀孔，更容易实现深径比大的孔的导通。的孔的导通。的孔的导通。
【技术实现步骤摘要】
一种用于电路板孔金属化的立式传动装置
[0001]本专利技术涉及真空设备
，具体涉及一种用于电路板孔金属化的立式传动装置。
技术介绍
[0002]国内电路板的需求越来越多，目前电路板孔金属化(镀膜)的技术还依赖使用化学镀生 产线实现，化学镀生产线会造成大量的水污染，损害生态环境。
[0003]真空磁控溅射技术可以实现镀膜功能，同时又无污染，与化学镀相比，具有一定的优势。 据公开文献了解，国内真空镀膜生产线主要应用在玻璃等材质的面镀膜领域，且多处于水平 布置，容易造成导轨被镀物掉落到玻璃上，增加后期处理的成本。电路板孔镀膜采用常规的 真空镀膜生产线传动装置，导通的孔深径比值比较小，微孔(直径≤0.2mm)的效果更差。因 此，综合考虑，提出一种用于电路板孔金属化的立式传动装置。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于：针对现有真空镀膜生产线传动装置应用在电路板孔中 镀膜效果差等问题，提供了一种用于电路板孔金属化的立式传动装置。
[0005]本专利技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本专利技术包括运输组件模块、导轨模块、 偏压上电模块、动力传输模块、腔体支撑模块；所述运输组件模块包括下支撑组件、电刷组 件、基片架组件、上支撑组件，所述上支撑组件、下支撑组件分别设置在所述基片架组件的 上、下端，所述电刷组件分别设置在所述基片架组件两侧，由所述动力传输模块驱动，所述 导轨模块设置在所述腔体支撑模块的内部顶端，所述上支撑组件与所述导轨模块活动连接， 所述偏压上电模块设置在所述腔体支撑模块内部底端，与所述电刷组件电连接，所述动力传 输模块设置在所述腔体支撑模块上，并与所述下支撑组件传动连接。
[0006]更进一步地，所述腔体支撑模块包括腔室和支撑架，所述腔室设置在支撑架上。
[0007]更进一步地，所述下支撑组件包括导向轴、下夹持部、下侧护板、下端面护板、下绝缘 板、下绝缘陶瓷；所述导向轴设置在所述下夹持部上，所述下侧护板设置在所述下夹持部的 两侧，所述下端面护板设置在所述下夹持部的两端，所述基片架组件通过所述下绝缘板、下 绝缘陶瓷与所述下夹持部连接。
[0008]更进一步地，所述上支撑组件包括上夹持部、上侧护板、上端面护板、上绝缘板、上绝 缘陶瓷、导向轮组件；所述上侧护板设置在所述上夹持部的两侧，所述上端面护板设置在所 述上夹持部的两端，所述基片架组件通过所述上绝缘板、上绝缘陶瓷与所述上夹持部连接， 所述导向轮组件与所述导轨模块滚动连接。
[0009]更进一步地，所述基片架组件包括框体、挡条、上护板、下护板、挂柱、内压板、外压 板；所述框体的上下端分别与所述上夹持部、下夹持部连接，所述挡条设置在所述框体的两 侧靠近所述下夹持部的位置，待镀膜PCB板位于所述内压板、外压板之间，所述内压板、外 压板连接为一个整体，通过所述挂柱与所述框体挂接，所述上护板分别设置在所述框体的
两 侧，位于所述框体上方，所述下护板分别设置在所述框体的两侧，位于所述框体下方。
[0010]更进一步地，所述电刷组件包括电刷固定座、电刷、压块，所述电刷固定座设置在所述 框体上，所述电刷通过所述压块固定在所述电刷固定座上。
[0011]更进一步地，所述导轨模块包括导轨、至少两组连接组件，所述连接组件包括连接柱， 转动销、连接座、固定座，所述连接柱带法兰一端置于腔室外且与腔室顶部连接，另一端置 于连接座中，并通过转动销与连接座转动连接，所述连接座与固定座通过转动销连接，所述 固定座设置在所述导轨上，所述导轨与所述导向轮组件滚动连接。
[0012]更进一步地，所述偏压上电模块包括带电体组件、至少两个上电柱组件，所述上电柱组 件包括上电柱、绝缘法兰、绝缘柱，所述带电体组件包括带电体、上绝缘挡板、后绝缘挡板、 下绝缘挡板、端面绝缘挡板，所述上电柱一端和绝缘法兰连接，另一端置于下绝缘挡板的凹 槽中且和带电体连接，绝缘法兰与所述置于腔室外且和腔室的底板连接，所述绝缘柱设置在 所述上电柱的外部，所述带电体与电刷接触，所述上绝缘挡板、后绝缘挡板、下绝缘挡板和 端面绝缘挡板设置在带电体上。
[0013]更进一步地，所述动力传输模块包括动力组件、多套传动组件，所述动力组件包括电机、 减速器、减速器座、减速器支撑座，所述传动组件包括传动轴、带轮、同步带、带轮压片、转 动轮、调节轮，所述减速器支撑座、电机、减速器装配后固定在减速器座上，减速器座固定 在减速器支撑座上，通过螺栓可调节减速器的上下安装位置，所述减速器支撑座设置在腔室 支座上，所述转动轮设有凹槽，且和传动轴通过螺纹配合，一个端面和调节轮连接，调节轮 和传动轴通过键连接，且和转动轮共同作用调节转动轮离轴端的距离，带轮有两个，且置于 传动轴一端。
[0014]更进一步地，所述动力传输模块还包括张紧组件、密封组件，所述密封组件包括轴承端 盖、密封座、隔圈、油封、衬套、滚动轴承，所述张紧组件包括支撑座、张紧轴、张紧套、轴 承，密封座和腔室连接，且与轴承端盖连接后整体位于传动轴的外围，滚动轴承有两个，置 于密封座的内腔两端，且通过卡圈、轴肩共同约束传动轴轴向运动，油封有三个，置于两个 隔圈之间，支撑座固定在腔室上，张紧轴固定在支撑座上，轴承案装在张紧轴上，张紧套套 在轴承外圈。
[0015]本专利技术相比现有技术具有以下优点：该用于电路板孔金属化的立式传动装置，通过偏压 上电模块和运输组件模块的设置，可以实现溅射过程中，PCB板移动时能持续稳定加持工作 电压，保证孔膜层的均匀性和深度，且传动装置与真空腔室良好绝缘无短路现象；通过运输 组件模块的设置，还可以适应不同厚度的PCB板，且方便拆卸更换；传动装置为立式布置， 腔室其他地方的被镀物不会掉落到PCB板上，降低清理的成本，且立式布置方便实现PCB板 双面镀孔，更容易实现深径比大的孔的导通，值得被推广使用。
附图说明
[0016]图1是本专利技术实施例中立式传动装置的整体结构示意图；
[0017]图2是本专利技术实施例中运输组件模块的结构示意图；
[0018]图3是本专利技术实施例中内外压板结合的结构示意图；
[0019]图4a是本专利技术实施例中上支撑组件的结构示意图；
[0020]图4b是本专利技术实施例中下支撑组件的结构示意图；
[0021]图5是本专利技术实施例中导轨模块的结构示意图；
[0022]图6是本专利技术实施例中偏压上电模块的结构示意图；
[0023]图7是本专利技术实施例中动力传输模块的结构示意图；
[0024]图8是本专利技术实施例中密封组件的剖视结构示意图。
具体实施方式
[0025]下面对本专利技术的实施例作详细说明，本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施， 给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本专利技术的保护范围不限于下述的实施例。
[0026]如图1所示，图1为传动装置的结构示意图；本实施例所述的一种用于电路板孔金属化 的立式传动装置包括运输组件模块1、导轨模块2、偏压上电模块3、动力传输模本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，其特征在于，包括：运输组件模块、导轨模块、偏压上电模块、动力传输模块、腔体支撑模块；所述运输组件模块包括下支撑组件、电刷组件、基片架组件、上支撑组件，所述上支撑组件、下支撑组件分别设置在所述基片架组件的上、下端，所述电刷组件分别设置在所述基片架组件两侧，由所述动力传输模块驱动，所述导轨模块设置在所述腔体支撑模块的内部顶端，所述上支撑组件与所述导轨模块活动连接，所述偏压上电模块设置在所述腔体支撑模块内部底端，与所述电刷组件电连接，所述动力传输模块设置在所述腔体支撑模块上，并与所述下支撑组件传动连接。2.根据权利要求1所述的一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，其特征在于：所述腔体支撑模块包括腔室和支撑架，所述腔室设置在支撑架上。3.根据权利要求2所述的一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，其特征在于：所述下支撑组件包括导向轴、下夹持部、下侧护板、下端面护板、下绝缘板、下绝缘陶瓷；所述导向轴设置在所述下夹持部上，所述下侧护板设置在所述下夹持部的两侧，所述下端面护板设置在所述下夹持部的两端，所述基片架组件通过所述下绝缘板、下绝缘陶瓷与所述下夹持部连接。4.根据权利要求3所述的一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，其特征在于：所述上支撑组件包括上夹持部、上侧护板、上端面护板、上绝缘板、上绝缘陶瓷、导向轮组件；所述上侧护板设置在所述上夹持部的两侧，所述上端面护板设置在所述上夹持部的两端，所述基片架组件通过所述上绝缘板、上绝缘陶瓷与所述上夹持部连接，所述导向轮组件与所述导轨模块滚动连接。5.根据权利要求4所述的一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，其特征在于：所述基片架组件包括框体、挡条、上护板、下护板、挂柱、内压板、外压板；所述框体的上下端分别与所述上夹持部、下夹持部连接，所述挡条设置在所述框体的两侧靠近所述下夹持部的位置，待镀膜PCB板位于所述内压板、外压板之间，所述内压板、外压板连接为一个整体，通过所述挂柱与所述框体挂接，所述上护板分别设置在所述框体的两侧，位于所述框体上方，所述下护板分别设置在所述框体的两侧，位于所述框体下方。6.根据权利要求5所述的一种用于电路板孔金属化的立式传动装置，其特征在于：所述电刷组件包括电刷固定座、电刷、压块，所述电刷固定座设置在所述框体上，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：武斌功，肖龙，宗克诚，柳龙华，蔡若凡，满慧，范冬勤，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，
类型：发明
国别省市：
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