成像镜头性能检测系统技术方案

本发明专利技术的成像镜头性能检测系统，属于光学检测的技术领域，解决现有的测试装置没有考虑照明背景光的影响，照明均匀性或者照明与标记的对准偏差势必会引入信噪比的不一致性，致使测试精度较低的技术问题。其包括照明探测组件、测试标记板、待测成像镜头组件、成像探测组件，所述测试标记板上设置有可透光的测试标记，其中：所述照明探测组件能够生成点光源以照亮所述测试标记；所述待测成像镜头组件能够与所述测试标记标准对照，且能够对所述点光源照亮后所述测试标记进行成像；所述成像探测组件对所述测试标记所的成像进行探测，以测量标准对照后相对位置的偏差，提高检测的准确性。提高检测的准确性。提高检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】
成像镜头性能检测系统


[0001]本专利技术属于光学检测的
，尤其涉及一种成像镜头性能检测系统。

技术介绍

[0002]现有的成像镜头光学测试技术为照亮置于成像镜头物面掩模版上的标记，位于成像镜头像方的成像传感器对像面的标记像进行测量。照明透过掩模版铬层(不透光区域)的背景光会降低信噪比，从而影响测量精度，且当需要测试视场大于成像传感器的探测范围，超标记尺寸时，信噪比将较大。
[0003]现有技术中的方法，一是减小成像传感器的探测范围，但将会将增大探测难度；二是采用比单个标记稍大的点光斑照明，从而提高信噪比，但是需要照明光斑移动与视场内不同位置的标记对准，但是，会引入不同位置处信噪比不一致的问题，此类误差无法通过标定消除。
[0004]有鉴于此，特提出本专利技术。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种成像镜头性能检测系统，解决现有的测试装置没有考虑照明背景光的影响，照明均匀性或者照明与标记的对准偏差势必会引入信噪比的不一致性，致使测试精度较低的技术问题。本案的技术方案有诸多技术有益效果，见下文介绍：
[0006]提供一种一种成像镜头性能检测系统，包括照明探测组件、测试标记板、待测成像镜头组件、成像探测组件，所述测试标记板上设置有可透光的测试标记，其中：
[0007]所述照明探测组件能够生成点光源以照亮所述测试标记；
[0008]所述待测成像镜头组件能够与所述测试标记标准对照，且能够对所述点光源照亮后所述测试标记进行成像；
[0009]所述成像探测组件对所述测试标记所的成像进行探测，以测量标准对照后相对位置的偏差。
[0010]与现有技术相比，本专利技术提供的技术方案包括以下有益效果：
[0011]本案所提供装置，考虑照明背景光的影响致使检测噪声偏大，因此，通过点光源的方式，即为，采用点光斑照明用以检测照明光斑和掩膜标记之间的位置偏差，从而提高信噪比的一致性。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1为光学镜头性能检测系统结构示意图
[0014]图2为光学镜头性能检测系统原理示意图
[0015]图3为会聚光斑与测量标记对准图像
[0016]图4为会聚光斑、参考标记以及测量标记对准图像
[0017]图5为会聚光斑与测试光斑的对准图像。
[0018]其中：1、照明探测组件；2、测试标记板；3、待测成像镜头；4、成像探测组件；5、辅助移动组件；6、参考标记版；101、照明光源；102、照明标记版；103、中继镜组；104、孔径光阑；105、分光镜；106、能量监测镜组；107、能量传感器；108、成像镜组；109、图像传感器；201、测试标记；202、对准标记；110、会聚光斑；602、参考对准标记；601、参考标记。
具体实施方式
[0019]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本专利技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0021]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0022]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践方面。为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0023]现有技术测试时没有考虑照明背景光的影响，噪声偏大，影响检测的偏差，而通过点光源的方式，即为，采用点光斑照明且可检测照明光斑和掩膜标记之间的位置偏差，从而提高信噪比的一致性。
[0024]如图1所示的成像镜头性能检测系统，包括照明探测组件1、测试标记板2、待测成像镜头组件、成像探测组件4，测试标记板2上设置有可透光的测试标记201，其中：
[0025]照明探测组件1能够生成点光源以照亮测试标记，点光源形成会聚光斑能够降低照明背景光影响，提高待测成像镜头的测量精度；
[0026]待测成像镜头组件能够与测试标记201标准对照，且能够对点光源照亮后测试标记进行成像；待测成像镜头组件包括待测成像镜头3，镜头的像面可参考标记，或是该参考标记设置在参考标记板6上；
[0027]成像探测组件4对测试标记所的成像进行探测，以测量标准对照后相对位置的偏差，例如，成像探测组件4包括图像传感器，形成对比，以完成待测成像镜头的检测。
[0028]作为本案所提供的具体实施方式，还包括辅助移动组件5，辅助移动组件5为现有产品的调焦装置或组件，用于万象调整测试标记板2和/或待测成像镜头组件，待测成像镜头组件包括参考标记板6，对标准对照后相对位置的偏差进行调校。测试标记板2上的测试标记201透光，且，测试标记201的周围区域反光。
[0029]测试标记板2上的测试标记位于待测成像镜头3的物面，待测成像镜头将测试标记的成像与像面，被成像探测组件所探测。辅助移动组件5可带动照明探测组件1以及成像探测组件4在待测成像镜头3的视场内进行移动，依次与视场内的测试标记对准，能够调节测试标记板2和参考标记板6，进而可测试测成像镜头3整个视场内的性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成像镜头性能检测系统，其特征在于，包括照明探测组件(1)、测试标记(201)板(2)、待测成像镜头(3)组件、成像探测组件(4)，所述测试标记板(2)上设置有可透光的测试标记(201)，其中：所述照明探测组件(1)能够生成点光源以照亮所述测试标记(201)；所述待测成像镜头(3)组件能够与所述测试标记(201)标准对照，且能够对所述点光源照亮后所述测试标记(201)进行成像；所述成像探测组件(4)对所述测试标记(201)所的成像进行探测，以测量标准对照后相对位置的偏差。2.根据权利要求1所述的成像镜头性能检测系统，其特征在于，还包括辅助移动组件(5)，所述辅助移动组件(5)用于万象调整测试标记(201)板(2)和/或待测成像镜头(3)组件，对所述标准对照后相对位置的偏差进行调校；所述测试标记板(2)上的测试标记(201)透光，且，所述测试标记(201)的周围区域反光。3.根据权利要求2所述的成像镜头性能检测系统，其特征在于，所述照明探测组件(1)包括照明光源(101)、照明标记版(102)，监控照明组件、分光组件和成像组件，照明标记版(102)设置有透光标记，其中：所述照明光源(101)的光照亮所述照明标记版(102)，且光通过所述透光标记进入所述分光组件；所述分光组件将光分成两路，第一光路进入用于监控所述照明光源(101)光强波动的监控照明组件，第二路光会聚在所述测试标记(201)板(2)上形成会聚光斑(110)，能够照亮所述透光标记，且用于所述待测成像镜头(3)组件的检测照明；所述第二路光部分经所述测试标记板(2)形成反射光，且经所述所述分光组件的作用进入所述成像组件进行成像；和/或，所述照明光源(101)为可调整光强和/或可切换波长的光源。4.根据权利要求3所述的成像镜头性能检测系统，其特征在于，所述测试标记(201)的尺寸小于会聚光斑(110)。5.根据权利要求3所述的成像镜头性能检测系统，其特征在于，所述监控照明组件包括能量监测镜组(106)和能量传感器(107)，其中：所述第一光路经过能量监测镜组(106)进入所述能量传感器(107)，以监控照明光源(101)的光强波动。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：深圳智达星空科技集团有限公司，
类型：发明
国别省市：