BSD废砂回收循环利用装置制造方法及图纸

本发明专利技术BSD废砂回收循环利用装置，包括废液回收箱，废液回收箱的侧边的底部设置有排液口，排液口连通过滤组件，且废液回收箱内还设置有与过滤组件配合使用的感应式液位计，废液持续进入废液回收箱内，感应式液位计实时检测废液回收箱内的废液的液位，达到感应式液位计的感应高度时，触发过滤程式，过滤组件驱动，通过排液口吸取废液回收箱内的废液，并过滤废液中的砂，形成废砂回收循环利用系统。形成废砂回收循环利用系统。形成废砂回收循环利用系统。

【技术实现步骤摘要】
BSD废砂回收循环利用装置


[0001]本专利技术涉及半导体制备技术及制备设备，具体的，其展示一种BSD废砂回收循环利用装置。

技术介绍

[0002]在硅片的制备过程，包括硅片的喷淋清洗，硅片的喷淋清洗一般通过喷砂机进行，喷砂机在喷淋清洗硅片的正常工作中会产生大量的携带砂砾的废液，携带砂砾的废液一般直接进行废弃处理，但废液中携带的砂废弃导致喷砂机内的砂流失，需要频繁的采购砂以对应喷砂机的砂添加进而保证喷砂清洗硅片的有序进行。
[0003]设计一种可以进行废液中的砂回收的装置，以实现废砂的循环利用，以降低喷砂做业中的砂消耗，显得尤为重要。
[0004]因此，有必要提供一种BSD废砂回收循环利用装置来实现上述目的。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种BSD废砂回收循环利用装置。
[0006]技术方案如下：
[0007]一种BSD废砂回收循环利用装置，包括废液回收箱，废液回收箱的侧边的底部设置有排液口，排液口连通过滤组件，且废液回收箱内还设置有与过滤组件配合使用的感应式液位计，废液持续进入废液回收箱内，感应式液位计实时检测废液回收箱内的废液的液位，达到感应式液位计的感应高度时，触发过滤程式，过滤组件驱动，通过排液口吸取废液回收箱内的废液，并过滤废液中的砂，形成废砂回收循环利用系统。
[0008]进一步的，设定触发程式中的过滤组件驱动时间，一种设定方式为驱动时长为20min。
[0009]进一步的，设定触发程式中的过滤组件的砂回收时间间隔，一种设定方式为每周进行2次过滤组件中的砂回收收集。
[0010]进一步的，过滤组件包括压滤机，压滤机连通有压滤机排液管，压滤机排液管连通废液处理管道。
[0011]进一步的，压滤机通过压滤机进水管连通排液口。
[0012]进一步的，废液通过废液输送管道排入废液回收箱。
[0013]进一步的，废液回收箱还对应设置有溢流管道。
[0014]进一步的，溢流管道连通外部排液管，外部排液管汇流至废液输送管道。
[0015]与现有技术相比，本专利技术能够实现喷砂机进行硅片喷淋清洗做业中的砂的回收，减少硅片喷淋清洗做业中的砂的消耗，利于企业优化生产的有效实施。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的结构示意图。
具体实施方式
[0017]实施例：
[0018]参阅图1，本实施例展示一种BSD废砂回收循环利用装置，包括废液回收箱1，废液回收箱1的侧边的底部设置有排液口11，排液口11连通过滤组件2，且废液回收箱1内还设置有与过滤组件2配合使用的感应式液位计3，废液持续进入废液回收箱1内，感应式液位计3实时检测废液回收箱1内的废液的液位，达到感应式液位计3的感应高度时，触发过滤程式，过滤组件2驱动，通过排液口11吸取废液回收箱1内的废液，并过滤废液中的砂，形成废砂回收循环利用系统。
[0019]设定触发程式中的过滤组件2驱动时间，一种设定方式为驱动时长为20min。
[0020]设定触发程式中的过滤组件2的砂回收时间间隔，一种设定方式为每周进行2次过滤组件2中的砂回收收集。
[0021]过滤组件2包括压滤机21，压滤机21连通有压滤机排液管22，压滤机排液管22连通废液处理管道4。
[0022]压滤机21通过压滤机进水管22连通排液口11。
[0023]废液通过废液输送管道5排入废液回收箱。
[0024]废液回收箱1还对应设置有溢流管道6。
[0025]溢流管道6连通外部排液管7，外部排液管7汇流至废液输送管道5。
[0026]与现有技术相比，本专利技术能够实现喷砂机进行硅片喷淋清洗做业中的砂的回收，减少硅片喷淋清洗做业中的砂的消耗，利于企业优化生产的有效实施。
[0027]以上所述的仅是本专利技术的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种BSD废砂回收循环利用装置，其特征在于：包括废液回收箱，废液回收箱的侧边的底部设置有排液口，排液口连通过滤组件，且废液回收箱内还设置有与过滤组件配合使用的感应式液位计，废液持续进入废液回收箱内，感应式液位计实时检测废液回收箱内的废液的液位，达到感应式液位计的感应高度时，触发过滤程式，过滤组件驱动，通过排液口吸取废液回收箱内的废液，并过滤废液中的砂，形成废砂回收循环利用系统。2.根据权利要求1所述的一种BSD废砂回收循环利用装置，其特征在于：设定触发程式中的过滤组件驱动时间，一种设定方式为驱动时长为20min。3.根据权利要求1或2所述的一种BSD废砂回收循环利用装置，其特征在于：设定触发程式中的过滤组件的砂回收时间间隔，一...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯炜，蒋小庚，黄春峰，王彦君，孙晨光，曹锦伟，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：