在根据一个实施例的磁盘装置用悬架的制造方法中，将粘合剂50涂覆到悬架10的致动器搭载部15,16上，通过用光照射粘合剂50，增加粘合剂50的粘度，将压电元件31,32布置在粘度已经增加的粘合剂50上，检测布置到致动器搭载部15,16上的压电元件31,32的高度，并根据检测到的高度校正光照射条件。的高度校正光照射条件。的高度校正光照射条件。
【技术实现步骤摘要】
磁盘装置用悬架的制造方法和制造装置
[0001]本申请是基于2020年9月29日在日本提交的在先申请(日本专利申请第2020
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162865号)的在后申请，享有在先申请中记载的所有事项的优先权。
[0002]本专利技术涉及具备压电元件的磁盘装置悬架的制造方法及制造装置。
技术介绍
[0003]在个人计算机之类的信息处理设备中通常使用一种磁盘装置。所述磁盘装置包括绕主轴旋转的磁盘、绕枢轴旋转的托架等。在托架臂上设有磁盘装置用悬架。
[0004]磁盘装置用悬架包括底板、承载梁(load beam)、沿承载梁设置的挠性件(flexure)等。滑块设置于靠近挠性件前端的万向节部分上。滑块上设置有用于执行诸如读取记录于磁盘中的数据或将数据写入磁盘的访问元件。
[0005]为了应对磁盘的高密度记录需求，对磁头在磁盘记录表面的精确定位提出了更高的要求。因此，如特开2002
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50140号公报和特开2011
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216160号公报中所公开的，已经开发了设置有用作致动器的压电元件的悬架。
[0006]所述压电元件设置于悬架的致动器搭载部上。当用粘合剂将该压电远件固定到致动器搭载部时，先将粘合剂涂覆到致动器搭载部再将压电元件放置于未固化的粘合剂上。然后将悬架放置于加热装置中来加热粘合剂。通过加热固化粘合剂，使压电元件固定于致动器搭载部。
[0007]在生产悬架的过程中，将压电无件置于未固化粘合剂上可能会导致压电元件移动。一旦压电元件偏离预定位置，则作为致动器的压电元件就不能发挥预定作用。而且，如果压电元件的高度不均匀，则根据悬架的种类的不同，可能对摇摆模式(sway mode)或偏航模式(yaw mode)的共振特性产生不良影响。
[0008]日本专利申请特开2017
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191914号公报中公开了一种电子机器制造装置，其提出了通过将压电元件设置于涂覆了粘合剂的致动器搭载部上，然后用加热器吹出高温气体先暂时固化粘合剂的方案。然而，在粘合剂暂时固化之前，也会存在压电元件由于粘合剂的表面张力或振动而移动的问题。此外，如果在安装压电元件时粘合剂的粘度不稳定，则粘合剂固化后压电元件的高度也可能高低不均。
技术实现思路
[0009]本专利技术的目的之一是提供一种能够使布置在致动器搭载部上的压电元件的位置和高度稳定的磁盘装置用悬架的制造方法和制造装置。
[0010]根据一实施例的磁盘装置用悬架的制造方法，包括将粘合剂施加到致动器搭载部，通过光照射施加到致动器搭载部的粘合剂以增加粘合剂的粘度，将压电元件放置于粘度增加了的所述粘合剂上，检测放置于所述致动器搭载部上的所述压电元件的高度，根据检测到的所述压电元件的高度校正所述光的照射条件。
[0011]在所述制造方法中，也可以通过加热安装了所述压电元件的所述致动器搭载部来固化所述粘合剂来将所述压电元件固定到所述致动器塔载部上。
[0012]在所述制造方法中，所述照射条件的校正包括，当所述压电元件的高度小于第1阈值时，可以增加所述光的照射时间、照度和光量中的至少一个；当所述压电元件的高度大于所述第2阈值时，可以降低所述光的照射时间、照度和光量中的至少一个。
[0013]在所述制造方法中，所述照射条件校正中使用的高度，可以是所述压电元件的中央部的高度，也可以是所述压电元件的多处高度的平均值。此外，所述高度还可以是分别安装于多个所述磁盘装置用悬架的所述致动器搭载部上的所述压电元件的高度的平均值。
[0014]根据一实施例的磁盘装置用悬架的装置，包括用于将粘合剂涂覆于致致动器搭载部的粘合剂供给装置，通过光照射已涂覆的粘合剂来增加所述粘合剂粘度的光照射装置，将压电元件安装于粘度增加了的所述粘合剂上的元件供给装置，用于检测安装于所述致动器搭载部的所述压电元件的高度的高度检测器，以及根据所述高度检测器检测出的高度通过所述光照射装置校正所述光的照射条件的控制器。
[0015]在所述制造装置中，当所述压电元件的高度小于第1阈值时，所述控制器可以通过所述光照射装置增加所述光的照射时间、照度和光量中的至少一个，当所述高度大于第2阈值时，可以通过所述光照射装置减少所述光的照射时间、照度和光量中的至少一个。
[0016]在所述制造装置中，当连续执行通过所述光照射装置减少所述光的照射时间、照度和光量中的至少一个并达到了第1规定次数时，或者当连续执行通过所述光照射装置增加所述光的照射的时间、照度和光量中的至少一个并达到了第2规定次数时，所述控制器可以停所述制造装置的运作。
[0017]通过本专利技术，能够使安装在磁盘装置用悬架的致动器搭载部中的压电元件的位置和高度稳定。
附图说明
[0018]构成本说明书一部分的附图示出了本专利技术的当前优选实施例的同时，与上述的示意性描述和下列优选实施例的详细描述一起，以更好地解释本专利技术的本质。
[0019]图1是根据第1实施例的具有致动器搭载部的磁盘装置用悬架的平面图。
[0020]图2是磁盘装置的一例立体图。
[0021]图3是沿图1中的F3
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F3线的致动器塔载部的剖视图。
[0022]图4是压电元件安装到图1所示的磁盘装置用悬架前的工件平面图。
[0023]图5是图1所示的磁盘装置用悬架的制造工序的一例流程图。
[0024]图6是用于实现图5的制造工序的制造装置的简要结构方框图。
[0025]图7是致动器搭载部的一部分和导电材料供给装置的一部分的剖视图。
[0026]图8是传送梭和粘合剂供给装置的立体图。
[0027]图9是传送梭和光照射装置的立体图。
[0028]图10是传送梭、元件供给装置和高度检测器的立体图。
[0029]图11是加热装置的剖视图。
[0030]图12示出了压电元件的高度与摆动频率之间的关系。
[0031]图13是照射条件校正处理的一例流程图。
[0032]图14示出了照射条件校正处理的一例。
[0033]图15A和15B示出了检测出的压电元件的高度位置的一例。
[0034]图16A和16B示出了检测出的压电元件的高度位置的另一示例。
[0035]图17A和17B示出了检测出的压电元件的高度位置的又一示例。
[0036]图18是示出了照射到粘合剂的紫外线的光量与压电元件的高度之间的关系的一例曲线图。
[0037]图19是根据第2实施例的磁盘装置用悬架的一部分的立体图。
[0038]图20是图19所示的致动器搭载部的剖视图。
[0039]图21是表示图19所示的磁盘装置用悬架的制造工序的一例流程图。
具体实施方式
[0040]以下，将参考图1至图18对根据第1实施例的磁盘装置用悬架、其制造方法和制造装置进行说明。
[0041]图1是示出根据一个实施例的磁盘装置用悬架10(在本说明书中有时简称为悬架10)的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种制造磁盘装置用悬架的方法，所述盘装置具有用于搭载压电元件的致动器搭载部分，包括：在粘合剂涂覆于致动器搭载部上，通过用光照射涂覆到所述致动器搭载部的所述粘合剂来增加粘合剂的粘度。将所述压电元件放置到粘度已经增加的所述粘合剂上，检测放置在所述致动器搭载部上的所述压电元件的高度，根据所述压电元件的检测高度校正所述光照射条件，2.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架的制造方法，进一步包括通过加热放置有所述压电元件的所述致动器搭载部使所述粘合剂固化来将所述压电元件固定到所述致动器搭载部。3.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架的制造方法，所述照射条件校正包括，当所述压电元件的高度小于第1阈值时增加所述光照时间、照度和光量中的至少一个，当高度大于第2阈值时，减少所述光照时间、照度和光量中的至少一个。4.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架的制造方法，用于所述照射条件校正的高度是所述压电元件的中央部的高度。5.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架的制造方法，用于所述照射条件校正的高度是所述压电元件中多个位置的高度的平均值。6.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架的制造方法，用于照射条件校正的高度是分别布置在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：中野健一郎，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：
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